Patent search ap:("JSR株式会社") AND inv:"富田卓弥" Page 1

1.

发明公开
感光性树脂组合物、抗蚀剂图案膜的制造方法及镀敷造形物的制造方法审中-公开转让

公开(公告)号：CN117784520A

公开(公告)日：2024-03-29

申请号：CN202311208593.6

申请日：2023-09-19

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 佐藤庆一 , 石井亮 , 香村和彦 , 富田卓弥

IPC: G03F7/004 , G03F7/027

Abstract: 本发明的课题在于提供一种可抑制未曝光部分的白化、且可形成显影性及分辨率优异的抗蚀剂图案膜的感光性树脂组合物、可形成所述抗蚀剂图案膜的抗蚀剂图案膜的制造方法、及使用所述抗蚀剂图案膜的镀敷造形物的制造方法。一种感光性树脂组合物，含有：(A)碱可溶性树脂；(B1)在一分子中分别具有至少两个(甲基)丙烯酰基与羟基、且具有环结构的聚合性化合物；(C)光自由基聚合引发剂；(D)选自由包含两个以上的氮原子的含氮杂环化合物(d1)、硫醇化合物(d2)、及聚合抑制剂(d3)所组成的群组中的至少一种化合物；以及(F)溶剂。

Patent Agency Ranking