公开(公告)号：CN103201307B

公开(公告)日：2015-05-13

申请号：CN201180052900.5

申请日：2011-11-30

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 多田罗了嗣 ,  木村优 ,  糸见健 ,  神谷育代 ,  海津充孝 ,  丸山洋一郎 ,  铃木义信 ,  中村和洋 ,  柴田拓 ,  金山泰三 ,  菅原哲德

IPC: C08G61/08 ,  C07C13/64 ,  C08L65/00

CPC classification number: C07C13/64 ,  C08G61/08 ,  C08G2261/3324 ,  C08G2261/418

Abstract: 本发明提供折射率和阿贝值高、具有对溶剂的溶解性、在光学材料用途中有用的环状烯烃开环聚合物及其氢化物、以及可分散以橡胶质聚合物为代表的配合剂的其氢化物组合物，该环状烯烃开环聚合物是使含有环戊二烯的三～五聚体的环状烯烃单体混合物开环共聚而得到的，环戊二烯的三～五聚体含有55%以上的n＝1～3各自情况下的化合物作为几何异构体（2）。

公开(公告)号：CN112585535A

公开(公告)日：2021-03-30

申请号：CN201980052361.1

申请日：2019-09-11

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 木村优 ,  石川弘树 ,  松本朋之 ,  佐藤庆一

IPC: G03F7/004 ,  C08F2/44 ,  G03F7/031 ,  G03F7/20 ,  G03F7/40

Abstract: 本发明是一种感光性树脂组合物，其特征在于含有聚合性化合物(A)、光自由基聚合引发剂(B)、硫醇化合物(C)、以及聚合抑制剂(D)，且所述硫醇化合物(C)的含量相对于所述聚合性化合物(A)100质量份而为5质量份～50质量份，所述聚合抑制剂(D)的含量相对于所述聚合性化合物(A)100质量份而为1质量份～10质量份。本发明可提供一种在明视场与暗视场两者中曝光量宽容度(EL)宽的感光性树脂组合物。可提供一种使用所述感光性树脂组合物能够在明视场与暗视场两者中精度佳地形成微细抗蚀剂图案的抗蚀剂图案的形成方法。可提供一种使用通过所述抗蚀剂图案的形成方法所形成的抗蚀剂图案能够制造精度佳、微细的镀覆造形物的镀覆造形物的制造方法。

公开(公告)号：CN103201307A

公开(公告)日：2013-07-10

申请号：CN201180052900.5

申请日：2011-11-30

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 多田罗了嗣 ,  木村优 ,  糸见健 ,  神谷育代 ,  海津充孝 ,  丸山洋一郎 ,  铃木义信 ,  中村和洋 ,  柴田拓 ,  金山泰三 ,  菅原哲德

IPC: C08G61/08 ,  C07C13/64 ,  C08L65/00

CPC classification number: C07C13/64 ,  C08G61/08 ,  C08G2261/3324 ,  C08G2261/418

Abstract: 本发明提供折射率和阿贝值高、具有对溶剂的溶解性、在光学材料用途中有用的环状烯烃开环聚合物及其氢化物、以及可分散以橡胶质聚合物为代表的配合剂的其氢化物组合物，该环状烯烃开环聚合物是使含有环戊二烯的三～五聚体的环状烯烃单体混合物开环共聚而得到的，环戊二烯的三～五聚体含有55%以上的n＝1～3各自情况下的化合物作为几何异构体（2）。

公开(公告)号：CN112585535B

公开(公告)日：2024-07-30

申请号：CN201980052361.1

申请日：2019-09-11

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 木村优 ,  石川弘树 ,  松本朋之 ,  佐藤庆一

IPC: G03F7/004 ,  C08F2/44 ,  G03F7/031 ,  G03F7/20 ,  G03F7/40

Abstract: 本发明是一种感光性树脂组合物，含有聚合性化合物(A)、光自由基聚合引发剂(B)、硫醇化合物(C)、以及聚合抑制剂(D)，且硫醇化合物(C)的含量相对于聚合性化合物(A)100质量份而为5质量份～50质量份，聚合抑制剂(D)的含量相对于聚合性化合物(A)100质量份而为1质量份～10质量份。本发明可提供一种在明视场与暗视场两者中曝光量宽容度(EL)宽的感光性树脂组合物。可提供一种使用感光性树脂组合物能够在明视场与暗视场两者中精度佳地形成微细抗蚀剂图案的抗蚀剂图案的形成方法。可提供一种使用通过抗蚀剂图案的形成方法所形成的抗蚀剂图案能够制造精度佳、微细的镀覆造形物的镀覆造形物的制造方法。