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公开(公告)号:CN1291626C
公开(公告)日:2006-12-20
申请号:CN03101918.8
申请日:2003-01-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 林高之
CPC classification number: B41M3/006 , B41J2/145 , B41J2202/09 , H01L27/3211 , H01L27/3244 , H01L27/3295 , H01L51/0005 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供一种在通过喷出功能材料而形成功能膜的过程中,可以有效防止其变质的有机EL装置的制造方法及其制造装置、以及有机EL装置、电子机器、液滴喷出装置。在使导入了发光功能材料的功能液滴喷头7相对于基板W进行扫描、选择性地喷出发光功能材料,在基板W上的多个像素区域中分别形成有机EL功能层的有机EL元件的制造方法中,喷出发光功能材料的喷出工艺在惰性气体环境中进行。
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公开(公告)号:CN1438824A
公开(公告)日:2003-08-27
申请号:CN03102540.4
申请日:2003-02-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 林高之
CPC classification number: H05B33/10 , H01L51/0004
Abstract: 本发明提供一种可以在短时间内对处理室内的惰性气体和大气进行有效置换的处理室装置的大气置换方法、处理室装置、包括该处理室装置的电光学装置以及有机EL装置。是将构成处理室(11)内的惰性气体环境和大气进行置换的处理室装置(3)的大气置换方法,开放处理室(11)的排气通道(102),同时关闭惰性气体的气体供给通道(138),强制向处理室(11)内送入外部气体,将处理室(11)内的惰性气体和外部气体置换。
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公开(公告)号:CN1636746A
公开(公告)日:2005-07-13
申请号:CN200510004034.9
申请日:2005-01-10
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/175 , G02B5/20 , G02F1/1335 , G09F9/00
CPC classification number: B41J2/17523 , B41J2/175 , B41J2/17509 , B41J2/17596
Abstract: 本发明提供一种功能液供给装置,是向搭载于滑架(63)上的功能液滴喷头(41)供给功能液的功能液供给装置(4),具备:功能液罐(91);将从功能液罐(91)导入1次室(172)的功能液通过2次室(173)向功能液滴喷头(41)供给、并且将构成2次室(173)的1个面且朝向大气的圆形的隔膜(175)所受到的大气压作为基准调整压力,对连通1次室(172)和2次室(173)的连通流路进行开闭的压力调整阀(161);和借助压力调整阀(161)而连接功能液罐(91)及功能液滴喷头(41)的连接管道(72),其中功能液罐(41)及压力调整阀(161)被搭载在滑架(63)上。其结果,可以确保功能液罐(91)的设置自由度,并且可以缩短功能液流路。
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公开(公告)号:CN1271890C
公开(公告)日:2006-08-23
申请号:CN03102540.4
申请日:2003-02-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 林高之
CPC classification number: H05B33/10 , H01L51/0004
Abstract: 本发明提供一种可以在短时间内对处理室内的惰性气体和大气进行有效置换的处理室装置的大气置换方法、处理室装置、包括该处理室装置的制造光电器件的设备以及有机EL装置。是将构成处理室(11)内的惰性气体环境和大气进行置换的处理室装置(3)的大气置换方法,开放处理室(11)的排气通道(102),同时关闭惰性气体的气体供给通道(138),强制向处理室(11)内送入外部气体,将处理室(11)内的惰性气体和外部气体置换。
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公开(公告)号:CN107877545A
公开(公告)日:2018-04-06
申请号:CN201710806850.4
申请日:2017-09-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor: 林高之
CPC classification number: B25J13/085 , B25J9/02 , B25J9/102 , B25J9/1694 , B25J19/028 , G01L1/16 , G01L5/167 , G01L5/226 , B25J19/00 , G01L5/00
Abstract: 本发明提供能够实现具有力检测装置和驱动装置的单元的小型化的力检测装置,并提供具备该力检测装置的驱动单元和机器人。一种力检测装置,具备:第一部件,构成驱动装置的一部分,所述驱动装置进行驱动力的产生和传递中的至少一者;第二部件;以及压电元件,配置于所述第一部件和所述第二部件之间,并根据外力输出信号。
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