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公开(公告)号：CN117792317A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311266441.1
申请日：2023-09-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 振动元件的制造方法，能够容易地形成深度不同的第一槽和第二槽。振动元件的制造方法包含：准备工序，准备具有处于正反关系的第一面和第二面的石英基板；第一保护膜形成工序，在将石英基板的形成振动元件的区域作为元件形成区域、将形成第一槽的区域作为第一槽形成区域、将形成第二槽的区域作为第二槽形成区域时，在元件形成区域的除了第一槽形成区域和第二槽形成区域以外的区域上形成第一保护膜；第一干式蚀刻工序，隔着第一保护膜从第一面侧对石英基板进行干式蚀刻；第二保护膜形成工序，在第一槽形成区域上形成第二保护膜；以及第二干式蚀刻工序，隔着第一保护膜和第二保护膜从第一面侧对石英基板进行干式蚀刻。
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公开(公告)号：CN117629166A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311092613.8
申请日：2023-08-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5642
Abstract: 本发明提供角速度检测元件以及角速度传感器。角速度检测元件具有：驱动振动臂，其与被施加的驱动信号相应地进行弯曲振动；以及检测振动臂，其与被施加的角速度相应地进行弯曲振动，所述驱动振动臂以及所述检测振动臂分别具有沿着延伸方向的有底的槽部，在设所述驱动振动臂的厚度为t1、所述驱动振动臂的所述槽部的深度为d1、所述检测振动臂的厚度为t2、所述检测振动臂的所述槽部的深度为d2时，d2/t2＞d1/t1。
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公开(公告)号：CN117176082A
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN202311307787.1
申请日：2020-03-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供振动器件、电子设备以及移动体，能够抑制大型化并且能够搭载更大的振动元件。振动器件具有：基座；中继基板，其被支承于所述基座；以及振动元件，其被支承于所述中继基板，所述中继基板具有：固定部，其直接或间接地固定于所述基座；载置部，其载置有所述振动元件；以及梁部，其连接所述固定部和所述载置部，所述载置部的与所述振动元件连接的部分在俯视观察以之间夹着所述固定部夹的方式位于所述固定部的两侧。
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公开(公告)号：CN112688654B
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202011107392.3
申请日：2020-10-16
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供振动元件以及振荡器，该振动元件以及振荡器的温度检测精度高。振动元件具有：石英基板，其具有第1振动部和第2振动部；一对第1激励电极，它们在第1振动部处形成在石英基板的两个主面上；以及一对第2激励电极，它们在第2振动部处形成为在石英基板的厚度方向上夹着第2振动部，一对第2激励电极中的至少一个第2激励电极形成在相对于两个主面中的至少一个主面倾斜的倾斜面上。
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公开(公告)号：CN116232277A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202211540132.4
申请日：2022-11-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 振动元件的制造方法。能够一并形成外形和槽。振动元件的制造方法包括：第1保护膜形成工序，在石英基板的第1基板面形成第1保护膜；第1干蚀刻工序，从第1基板面侧进行干蚀刻，形成第1槽以及第1振动臂和第2振动臂的外形；第2保护膜形成工序，在石英基板的第2基板面形成第2保护膜；以及第2干蚀刻工序，从第2基板面侧进行干蚀刻，形成第2槽以及第1振动臂和第2振动臂的外形，在第1干蚀刻工序中，将第1振动臂和第2振动臂的外形形成到比形成第2槽的底面的位置更靠近第2基板面侧。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116054767A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202211315911.4
申请日：2022-10-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03H3/02
Abstract: 振动元件的制造方法。能够一并形成外形和槽。在振动元件的制造方法中，该振动元件具有第1振动臂和第2振动臂，第1振动臂和第2振动臂分别具有处于正反关系的第1面和第2面以及在第1面开口的带底的槽，制造方法包括：第1保护膜形成工序，形成第1保护膜；第1干蚀刻工序，隔着第1保护膜进行干蚀刻而形成槽以及第1振动臂和第2振动臂的外形；以及第2保护膜形成工序，在槽中形成第2保护膜；第2干蚀刻工序，隔着第2保护膜进行干蚀刻，形成第1面以及第1振动臂和第2振动臂的外形。
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公开(公告)号：CN112448690A
公开(公告)日：2021-03-05
申请号：CN202010875381.3
申请日：2020-08-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供振动器件，该振动器件中的振动元件不易损坏。振动器件具有：振动元件，其具有振动基板和电极，该振动基板具有振动臂，该电极配置于振动基板；基体；支承基板，其具有固定于基体的基体固定部、支承振动元件的元件支承部和将基体固定部与元件支承部连接起来的梁部，该支承基板相对于基体支承振动元件；布线图案，其配置于支承基板，与振动元件电连接；以及缓冲部件，其配置于支承基板的布线图案上，硬度比支承基板低。此外，缓冲部件配置于支承基板的与振动元件相对的面侧，在俯视支承基板时，该缓冲部件与振动臂重叠。
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公开(公告)号：CN111740702A
公开(公告)日：2020-10-02
申请号：CN202010205984.2
申请日：2020-03-23
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 提供振动器件、电子设备以及移动体，能够降低不必要振动。振动器件具有振动结构体，在将彼此垂直的三个轴设为A轴、B轴以及C轴时，该振动结构体具有：振动元件，其具有沿与A轴和B轴平行的平面且沿A轴弯曲振动的第一振动臂和第二振动臂；以及支承基板，其与所述振动元件沿所述C轴排列配置，所述支承基板具有：基部，其支承所述振动元件；支承部，其支承所述基部；以及梁部，其连接所述基部与所述支承部，在设所述振动结构体沿所述B轴振动的共振频率为f0，设所述振动元件的驱动频率为f1时，f0＜f1。
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公开(公告)号：CN110319821A
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201910242939.1
申请日：2019-03-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5656
Abstract: 本发明提供一种物理量传感器及其制造方法、电子设备和移动体，其特征在于，该物理量传感器具有：支承部件；以及传感器元件，其被支承于所述支承部件，所述传感器元件具有：振动片；驱动信号布线，其配置在所述振动片上；以及第1检测信号端子和第2检测信号端子，它们配置在所述振动片上，所述支承部件具有：基板，其与所述传感器元件接合；以及第1检测信号布线和第2检测信号布线，它们配置在所述基板上，在从所述传感器元件与所述基板重叠的方向进行平面观察时，所述第1检测信号布线和所述第2检测信号布线分别具有沿着与所述第1轴交叉的第2轴延伸并且与所述驱动信号布线交叉的区域。
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