公开(公告)号：CN108431943B

公开(公告)日：2022-07-26

申请号：CN201680075687.2

申请日：2016-11-28

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 杰克·罗皮可罗 ,  保罗·E·佩敢堵

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/68

Abstract: 一种自阻尼末端执行器，包括：基座；指状件，自所述基座延伸且用以支撑衬底；以及阻尼器，与所述指状件相关联，所述阻尼器具有固有频率，所述固有频率处于所述指状件的固有频率的预定公差以内。

公开(公告)号：CN108431943A

公开(公告)日：2018-08-21

申请号：CN201680075687.2

申请日：2016-11-28

Applicant: 瓦里安半导体设备公司

Inventor： 杰克·罗皮可罗 ,  保罗·E·佩敢堵

IPC: H01L21/677 ,  H01L21/68

CPC classification number: B25J15/0014 ,  B25J11/0095 ,  B25J19/0091 ,  H01L21/68707 ,  H01L21/68735 ,  H01L21/68785 ,  H01L21/68792

Abstract: 一种自阻尼末端执行器，包括：基座；指状件，自所述基座延伸且用以支撑衬底；以及阻尼器，与所述指状件相关联，所述阻尼器具有固有频率，所述固有频率处于所述指状件的固有频率的预定公差以内。