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公开(公告)号：CN115516635A
公开(公告)日：2022-12-23
申请号：CN202180033470.6
申请日：2021-03-17
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L27/146 , H04N5/369 , H04N5/374
Abstract: 本发明的光检测装置具备光传感器和控制部。光传感器具有电荷产生区域、电荷蓄积区域、电荷传送区域、配置在电荷蓄积区域上的电荷收集电极和配置在电荷蓄积区域与电荷传送区域之间的区域上的传送栅极电极。控制部以在第1期间以电荷收集电极的正下方的区域的电势成为第1电平，且传送栅极电极的正下方的区域的电势高于电荷收集电极的正下方的区域的电势的方式，在第1期间之后的第2期间以使电荷收集电极的正下方的区域的电势成为高于第1电平的第2电平，且传送栅极电极的正下方的区域的电势低于电荷收集电极的正下方的区域的电势的方式，控制电荷收集电极和传送栅极电极的电位。
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公开(公告)号：CN109690777A
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201780052894.0
申请日：2017-05-30
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L27/144 , H04N5/369 , H04N5/374 , G01S7/481 , G01S17/89 , H01L27/146
CPC classification number: G01S7/481 , G01S17/89 , H01L27/144 , H01L27/146 , H04N5/369 , H04N5/374
Abstract: 距离传感器具备硅基板和传送电极。硅基板具备相互相对的第一主面和第二主面。在硅基板的第一主面侧设置有根据入射光产生电荷的电荷产生区域和收集来自电荷产生区域的电荷的电荷收集区域。传送电极在第一主面上配置于电荷产生区域和电荷收集区域之间。传送电极根据输入的信号使电荷从电荷产生区域流入电荷收集区域。在第二主面的至少与电荷产生区域对应的区域形成有多个凸部。多个凸部具有相对于硅基板的厚度方向倾斜的斜面。在凸部中硅基板的(111)面作为斜面露出。凸部的高度为200nm以上。
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公开(公告)号：CN109073734A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201780027269.0
申请日：2017-04-19
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明涉及一种距离传感器，其向蓄积节点注入等量的电流，并且基于各个蓄积节点的电荷量的差分信息求取至对象物的距离，其中，蓄积节点与光敏区域的电荷因第一和第二传送电极(11，12)的驱动而分开的电荷收集区域(9b，9c)分别结合，该距离传感器通过向各个蓄积节点注入等量的电流而避免各蓄积节点的起因于干扰光的饱和，另一方面，由于按分别表示电极驱动图案的多个帧使第一和第二传送电极(11，12)驱动而不易受到电流注入的影响，获得各个蓄积节点的电荷量的差分信息。
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公开(公告)号：CN107533128A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201680024207.X
申请日：2016-04-08
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明所涉及的距离测定装置的处理部控制重置开关并在从将蓄积区域连接于重置电位直至下一次将该蓄积区域连接于重置电位为止的帧期间(Tf)内的多个电荷传送循环中，在一个以上的放出期间使光源部放出调制光并且在一个帧期间(Tf)内使电荷传送循环(Cy)每一次的放出期间的数目增加。处理部控制在与一个以上的放出期间同步的一个以上的传送期间赋予传送电极的电压并使在光感应区域产生的电荷蓄积于蓄积区域，在分别对应于多个电荷传送循环(Cy)的多个读出循环中，从传感器部取得对应于在与多个电荷传送循环(Cy)相交替的时间点被蓄积于蓄积区域的电荷量的多个读出值，根据所取得多个读出值计算距离。
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公开(公告)号：CN115516636A
公开(公告)日：2022-12-23
申请号：CN202180033487.1
申请日：2021-01-12
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L27/146 , H01L31/107 , H01L27/144
Abstract: 光传感器包括：具有分别呈层状形成的第1导电型的第1倍增区域和第2导电型的第2倍增区域的雪崩倍增区域；当将在第1倍增区域和第2倍增区域的厚度方向上第2倍增区域相对于第1倍增区域所在的一侧作为第1侧时，相对于第2倍增区域配置在第1侧的第2导电型的电荷收集区域；和相对于第2倍增区域配置在第1侧的第1导电型的第1导电型区域。第2倍增区域具有在厚度方向上与电荷收集区域重叠的第1部分和在厚度方向上与第1导电型区域重叠的第2部分。第1部分的杂质的浓度高于第2部分的杂质的浓度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109073734B
公开(公告)日：2022-10-28
申请号：CN201780027269.0
申请日：2017-04-19
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明涉及一种距离传感器，其向蓄积节点注入等量的电流，并且基于各个蓄积节点的电荷量的差分信息求取至对象物的距离，其中，蓄积节点与光敏区域的电荷因第一和第二传送电极(11，12)的驱动而分开的电荷收集区域(9b，9c)分别结合，该距离传感器通过向各个蓄积节点注入等量的电流而避免各蓄积节点的起因于干扰光的饱和，另一方面，由于按分别表示电极驱动图案的多个帧使第一和第二传送电极(11，12)驱动而不易受到电流注入的影响，获得各个蓄积节点的电荷量的差分信息。
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公开(公告)号：CN107533128B
公开(公告)日：2021-02-12
申请号：CN201680024207.X
申请日：2016-04-08
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01S7/4865 , G01C3/06 , G01S17/10
Abstract: 本发明所涉及的距离测定装置的处理部控制重置开关并在从将蓄积区域连接于重置电位直至下一次将该蓄积区域连接于重置电位为止的帧期间(Tf)内的多个电荷传送循环中，在一个以上的放出期间使光源部放出调制光并且在一个帧期间(Tf)内使电荷传送循环(Cy)每一次的放出期间的数目增加。处理部控制在与一个以上的放出期间同步的一个以上的传送期间赋予传送电极的电压并使在光感应区域产生的电荷蓄积于蓄积区域，在分别对应于多个电荷传送循环(Cy)的多个读出循环中，从传感器部取得对应于在与多个电荷传送循环(Cy)相交替的时间点被蓄积于蓄积区域的电荷量的多个读出值，根据所取得多个读出值计算距离。
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公开(公告)号：CN106471391B
公开(公告)日：2020-04-03
申请号：CN201580023874.1
申请日：2015-04-07
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01S17/10 , G01C3/06 , H01L27/146 , H01L31/12 , H04N5/335
Abstract: 测距装置(10)中，控制部(CONT)按每个帧周期(TF)交替地更换第一脉冲传输信号(S1)与第二脉冲传输信号(S2)的时间序列上的顺序并输出第一以及第二脉冲传输信号(S1,S2)，并且运算部(ART)基于对应于按时间序列连续的2个帧周期(TF)中的相位成为相同的第一以及第二脉冲传输信号(S1,S2)而被存储于第一电荷存储区域(FD1)和第二电荷存储区域(FD2)的信号电荷的总电荷量(Q1,Q2)，运算到对象物(OJ)的距离(d)。
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公开(公告)号：CN109073735A
公开(公告)日：2018-12-21
申请号：CN201780027298.7
申请日：2017-04-19
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01S7/486 , G01S17/10 , G01S17/89 , H01L27/146 , H04N5/357 , H04N5/369 , H04N5/374 , H04N5/3745
Abstract: 本实施方式涉及一种距离传感器，其为了避免起因于干扰光的饱和而降低向在1个光敏区域准备的多个电荷收集区域分别注入的电流量之差。分别向各电荷收集区域注入电流的电流注入电路包括生成用于调节注入电流量的控制电压的电压生成电路，该电压生成电路生成对应于分别与各电荷收集区域结合的蓄积节点的电荷量中大的电荷量的控制电压，另一方面，在通过控制电压调节电流量的晶体管与蓄积节点之间配置有共源共栅器件，晶体管的电流输出端的电位与蓄积节点的电位分离。
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公开(公告)号：CN112868108B
公开(公告)日：2024-12-20
申请号：CN201980068249.7
申请日：2019-07-10
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 一种光检测元件，具备：半导体基板、形成于半导体基板上的第一导电型的光吸收层、形成于光吸收层上的第一导电型的盖层，以及形成于盖层内，与盖层形成pn结的第二导电型的半导体区域。形成于半导体区域的周围的耗尽层，在不向pn结施加反方向偏置的情况下，未达到光吸收层，在向pn结施加20V的反方向偏置的情况下，从盖层侧超过光吸收层的厚度的50％的位置。
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