公开(公告)号：CN118401814A

公开(公告)日：2024-07-26

申请号：CN202280082827.4

申请日：2022-07-15

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 川合一希 ,  小林觉 ,  加藤义则 ,  关根尊史 ,  森田宇亮 ,  池谷有贵 ,  井口琢斗

IPC: G01J9/00

Abstract: 本发明的波前测量装置(1)具备：相位调制部(2)，其具有入射有入射光(L0)的空间光调制器(7)；图案生成部(3)，其生成输入空间光调制器(7)的相位图案(11)；拍摄部(4)，其具有将由空间光调制器(7)调制的入射光(L0)的一部分作为测量光(L1)进行拍摄的拍摄区域(14)；以及解析部(5)，其基于由拍摄部(4)的拍摄结果来解析入射光(L0)的波前，图案生成部(3)，以由空间光调制器(7)调制的测量光(L1)的聚光光斑(16)随时间偏移至拍摄区域(14)的不同位置的方式，生成测量用虚拟图案(12)偏移至彼此不同的位置的多个相位图案(11)。

公开(公告)号：CN119032314A

公开(公告)日：2024-11-26

申请号：CN202380030782.0

申请日：2023-02-06

Applicant: 浜松光子学株式会社

Inventor： 酒井浩一 ,  小林觉 ,  川合一希 ,  关根尊史 ,  加藤义则

IPC: G02F1/01 ,  B23K26/064

Abstract: 在空间光调制装置(10)中，检测部(7)检测在空间光调制部(3)调制后的光。推定部(35)基于检测部(7)的检测结果，推定光相对于空间光调制部(3)的入射位置(P2)。由图案设定部(31)设定的相位图案(P1)包含以由在该相位图案(P1)调制后的光在检测部(7)形成多个聚光点的方式构成的相位图案。检测部(7)检测上述聚光点的强度信息。推定部(35)基于在检测部(7)检测到的多个聚光点的强度信息的比较结果，推定光相对于空间光调制部(3)的入射位置(P2)。