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公开(公告)号：CN119609968A
公开(公告)日：2025-03-14
申请号：CN202411629017.3
申请日：2024-11-14
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: B25B11/00
Abstract: 本发明公开了一种自适应异形零件的无应力工装，属于先进制造与检测工装夹具技术领域。本发明通过固定装置、链接装置、支撑滑杆、锁紧装置和气腔等部件的协同作用，实现对异形零件的无应力支撑，避免了传统工装方法导致的零件应力集中、变形或位移问题，降低了零件损伤风险，提高了零件在极端场景中应用时的装夹稳定性。同时，工装具有灵活的响应能力，能够在高速运动或环境变化的场景中自适应调节支撑结构，保证对异形零件的无应力支撑状态。
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公开(公告)号：CN118348751B
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202410774633.1
申请日：2024-06-17
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种光刻环形光瞳照明系统装调方法，优化了全息版图中的主全息相位分布。本发明光刻环形光瞳照明系统装调方法，能够实现纳米级位移、秒级角度的圆锥透镜的光轴定心装调。圆锥透镜的光轴定心误差精度由标准干涉仪的测量精度、标准自准直反射镜的平整度和全息图精度三项保证。本发明的精度误差来源更少，误差更小。
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公开(公告)号：CN105572091A
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201610042179.6
申请日：2016-01-21
Applicant: 浙江大学
Abstract: 本发明公开了一种叶绿素荧光探测装置，包括激发植物的激发光源，采集植物图像的摄像单元，控制单元以及用于容纳植物、激发光源和摄像单元的避光空间，所述控制单元通过调节激发光源的驱动电路控制信号的占空比使激发光源发出不同光强的测量光和作用光，所述激发光源发出作用光时的控制信号的间歇区间内插入测量光脉冲的控制信号，所述摄像单元的采集图像的控制信号与测量光脉冲的控制信号保持一致；本发明还公开了一种叶绿素荧光探测方法；本发明的装置和方法，通过同一光源实现探测和激发待测植物，实现叶绿素荧光图像的实时动态显示，提高叶绿素探测的效率和准确性。
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公开(公告)号：CN119642744B
公开(公告)日：2025-05-09
申请号：CN202510163756.6
申请日：2025-02-14
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: G01B11/27 , G06T7/73 , G06V10/774 , G06V10/82 , G01B9/02055
Abstract: 本发明公开了一种同轴光学组件光学轴位姿测量及装调方法，采用基于干涉测量与亚波长结构的计算全息片结合的测量方式，分离各个光学组件的光学轴空间位姿，并将各个光学轴的空间位姿信息反映到干涉图中；结合基于深度学习的失调量参数解算方法，可以快速迭代、反馈光学组件的失调量，进而完成同轴光学组件的快速装调。本发明的优点在于采用基于干涉测量与亚波长结构的计算全息片结合的测量方式，在保证测量精度的同时，可以分离出各个光学组件的光学轴空间位姿信息；通过深度学习神经网络模型分析光学轴空间位姿与失调量之间的映射关系，提高空间位姿解算、迭代效率。
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公开(公告)号：CN117369222A
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202311672579.1
申请日：2023-12-07
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种极紫外物镜装调全息图的制备系统和制备方法。本发明极紫外物镜装调全息图的制备系统通过光纤阵列结构的设计可以实现高通量，同一时间由于光纤阵列中有多根光纤，所以通量是常规刻写的多倍。本发明通过光纤阵列的设计，可以实现高通量刻写，提高刻写效率，同时能够生产出亚波长纳米结构的大面积计算全息片（CGH），进一步降低了计算全息片的特征线宽，线宽可以达到nm级别，采用亚波长纳米结构的大面积计算全息片，解决了现有极紫外光刻物镜系统中，非球面面形高精度检测需求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105181594A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201510223486.X
申请日：2015-05-05
Applicant: 浙江大学
IPC: G01N21/01
Abstract: 本发明提供了一种便携式智能多光谱成像检测装置和方法，其装置包括滤光单元、摄像单元、以及用于接收摄像单元图像数据的数据收发模块，所述滤光单元包括若干同轴且可独立转动的滤光片转盘，每个滤光片转盘上设有若干安装有滤光片的安装孔和至少一个避让孔，安装孔、避让孔和摄像单元的镜头的中心轴距离滤光片转盘中心轴的距离相等。本发明的便携式智能多光谱成像检测装置，以高度集成化的滤光片转盘和集成化的变焦距摄像方式，实现了装置的便携化、小型化；以白光LED作为主动照明光源，实现了光谱仪的低功耗化；脱离了传统的笔记本，以移动终端的通讯方式获取高光谱图像，并利用远程云共享服务器分析、处理高光谱的数据。
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公开(公告)号：CN103777455A
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：CN201410064010.1
申请日：2014-02-25
Abstract: 本发明公开了一种基于光场拼接的球形沉浸式三维显示系统，包括图像生成和控制模块、投影仪阵列和球幕散射屏，图像生成和控制模块将所需要显示的三维显示场景解析成一系列沿半径指向球心方向投影的所需的图像元，并编码压缩，由图像分屏控制模块将编码压包后的各子图像传输分配给每一台投影仪，投影仪将图像投影到球幕二向散射屏上，光线经过二向散射后，位于球幕内的观察者便可观察到具有双目视差的细腻的立体三维场景。本发明还提供了一种基于光场拼接的球形沉浸式三维显示方法。本发明的基于光场拼接的球体沉浸式的系统结构可实现三维场景环绕观察者的效果，增强了三维场景的真实感。
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公开(公告)号：CN119642744A
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202510163756.6
申请日：2025-02-14
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: G01B11/27 , G06T7/73 , G06V10/774 , G06V10/82 , G01B9/02055
Abstract: 本发明公开了一种同轴光学组件光学轴位姿测量及装调方法，采用基于干涉测量与亚波长结构的计算全息片结合的测量方式，分离各个光学组件的光学轴空间位姿，并将各个光学轴的空间位姿信息反映到干涉图中；结合基于深度学习的失调量参数解算方法，可以快速迭代、反馈光学组件的失调量，进而完成同轴光学组件的快速装调。本发明的优点在于采用基于干涉测量与亚波长结构的计算全息片结合的测量方式，在保证测量精度的同时，可以分离出各个光学组件的光学轴空间位姿信息；通过深度学习神经网络模型分析光学轴空间位姿与失调量之间的映射关系，提高空间位姿解算、迭代效率。
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公开(公告)号：CN119085479A
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202411596601.3
申请日：2024-11-11
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
Inventor： 卞殷旭
IPC: G01B9/02001 , G01B9/02055 , G01B11/24
Abstract: 本申请涉及干涉测量技术领域，公开了一种反射式点衍射干涉仪以及面型测量方法，其中，衍射板上设有截面为椭圆形的针孔，其中：第一偏振光入射至针孔的第一主光轴，第二偏振光入射至针孔的第二主光轴，且第一偏振光和第二偏振光的偏振方向相互垂直；针孔在第一主光轴和第二主光轴方向上的投影均为圆形；第一偏振光透过针孔发生衍射形成第一球面波，作为干涉测量的参考光；第二偏振光透过针孔发生衍射形成第二球面波并照向待测镜，经待测镜反射，在紧靠针孔处聚焦并反射后，作为干涉测量的测试光，测试光与参考光经偏振移相生成瞬态移相干涉图，解决了相关技术中无法满足大数值孔径光学元件的高精度面型检测的技术问题。
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公开(公告)号：CN117369222B
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN202311672579.1
申请日：2023-12-07
Applicant: 浙江大学杭州国际科创中心
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种极紫外物镜装调全息图的制备系统和制备方法。本发明极紫外物镜装调全息图的制备系统通过光纤阵列结构的设计可以实现高通量，同一时间由于光纤阵列中有多根光纤，所以通量是常规刻写的多倍。本发明通过光纤阵列的设计，可以实现高通量刻写，提高刻写效率，同时能够生产出亚波长纳米结构的大面积计算全息片（CGH），进一步降低了计算全息片的特征线宽，线宽可以达到nm级别，采用亚波长纳米结构的大面积计算全息片，解决了现有极紫外光刻物镜系统中，非球面面形高精度检测需求。
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