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公开(公告)号：CN107852559B
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201780002680.2
申请日：2017-01-31
Applicant: 欧姆龙株式会社
Abstract: 本发明提供在过大的压力作用在声音传感器的情况下，即使振动电极膜朝任意方向变形，都能够抑制振动电极膜的过度变形并避免振动电极膜破损的技术。静电电容式换能器具备背板(37)和以与背板(37)之间隔着空隙与背板(37)对置的方式配设的振动电极膜(35)，还具备：压力释放孔(35b)，其设置于振动电极膜(35)；凸部(37b)，其采用与背板(37)相同的部件与背板(37)一体设置，在振动电极膜(35)变形前的状态下进入压力释放孔(35b)；压力释放流路，其是通过压力释放孔(35b)和凸部(37b)的间隙形成的空气流路，凸部(37b)在背板(37)侧的规定区域具有截面积减小部，与凸状(37b)的比上述规定区域靠前端侧的区域相比，截面积减小部的截面积小。
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公开(公告)号：CN105472515B
公开(公告)日：2018-12-07
申请号：CN201510557903.4
申请日：2015-09-02
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: H04R19/04
Abstract: 本发明提供一种声换能器及麦克风，该声换能器的狭缝的穿透阻抗较之于现有技术更大，在振动电极板产生翘曲等的情况下，狭缝的穿透阻抗的下降率较之于现有技术更低。该声换能器具有固定电极板和振动电极板。该振动电极板与固定电极隔着空隙相向，具有用于使声音通过的狭缝(17)。该振动电极板具有阻抗增大部(20)，该阻抗增大部(20)以当从狭缝(17)的宽度方向观察时彼此重合的方式具有一对以上的高阻抗表面，该高阻抗表面是构成狭缝(17)的宽度方向的侧表面的表面，并且该高阻抗表面的厚度超过振动电极板(17)的中央部分的厚度。
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公开(公告)号：CN104025622B
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201280065518.2
申请日：2012-11-14
Applicant: 欧姆龙株式会社
CPC classification number: G01R27/2605 , B81B2201/0257 , B81B2201/0264 , B81C1/00873 , G01H11/06 , H04R19/005 , H04R19/04
Abstract: 振动膜(33)被设置在硅基板(32)的顶面上，板部(39)被固定到硅基板(32)的顶面以便具有间隙地覆盖活动电极膜。板部(39)由绝缘材料制成。固定电极膜(40)形成在板部(39)的底面上，并且振动膜(33)和固定电极膜(40)构成电容器。在板部(39)周围的区域中，硅基板(32)的顶面的整个外周缘从板部(39)暴露。在基板(32)的顶面上，由绝缘材料制成的绝缘片(47)形成在从板部(39)暴露的区域的一部分中，并且电连接到振动膜(33)的电极垫(48)和电连接到固定电极膜(40)的电极垫(49)设置在绝缘片(47)的顶面上。
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公开(公告)号：CN103329575B
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201180064105.8
申请日：2011-12-22
IPC: H04R19/04
CPC classification number: H04R19/04 , B81B3/0021 , H04R1/023 , H04R1/086 , H04R3/00 , H04R3/005 , H04R19/005 , H04R19/016 , H04R31/00 , H04R2201/003 , H04R2499/11
Abstract: 一种音响转换器及使用该音响转换器的麦克风。音响传感器（11）在半导体基板（21）的上面形成有振动膜（22）及固定膜（23），根据振动膜（22）的振动电极（220）与固定膜（23）的固定电极（230）之间的静电容量的变化，将声波转换成电信号进行输出。音响传感器（11）对振动电极（220）及固定电极（230）中的至少一方进行分割，从被分割后的多个电极分别输出多个电信号。
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公开(公告)号：CN105472515A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201510557903.4
申请日：2015-09-02
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: H04R19/04
CPC classification number: H04R19/005 , H04R19/013 , H04R19/016 , H04R2201/003
Abstract: 本发明提供一种声换能器及麦克风，该声换能器的狭缝的穿透阻抗较之于现有技术更大，在振动电极板产生翘曲等的情况下，狭缝的穿透阻抗的下降率较之于现有技术更低。该声换能器具有固定电极板和振动电极板。该振动电极板与固定电极隔着空隙相向，具有用于使声音通过的狭缝(17)。该振动电极板具有阻抗增大部(20)，该阻抗增大部(20)以当从狭缝(17)的宽度方向观察时彼此重合的方式具有一对以上的高阻抗表面，该高阻抗表面是构成狭缝(17)的宽度方向的侧表面的表面，并且该高阻抗表面的厚度超过振动电极板(17)的中央部分的厚度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105144750A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201380074450.9
申请日：2013-09-09
Applicant: 欧姆龙株式会社
Inventor： 笠井隆
IPC: H04R19/04
CPC classification number: H04R19/00 , H01L2224/48091 , H01L2224/48137 , H01L2924/15151 , H01L2924/16152 , H04R19/005 , H04R19/04 , H04R31/00 , H04R2410/07 , H01L2924/00014
Abstract: 硅基板具有上下贯通的腔室。在硅基板的上表面以覆盖腔室的上表面的方式形成有膜片(23)。另外，在硅基板的上方以覆盖膜片(23)的方式设置有背板(28)，在背板(28)的下表面设置有固定电极板(29)且该固定电极板(29)与膜片(23)相对。在背板(28)以及固定电极板(29)上开口形成有用于使声音振动通过的上下贯通的多个声孔(31)。在膜片(23)的位移大的区域形成有开口面积比声孔(31)的开口面积小的多个通孔(27)。
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公开(公告)号：CN102918874B
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201180026170.1
申请日：2011-05-10
Applicant: 欧姆龙株式会社 , 意法半导体股份有限公司
IPC: H04R19/04
CPC classification number: H04R3/00 , H04R19/016
Abstract: 本发明的音响传感器(11)在半导体基板的上表面形成有振动膜(22)及固定膜(23)，根据振动膜(22)中的振动电极(22a)和固定膜(23)中的固定电极(23a)间的静电电容的变化，来检测声波。为了使声波从外部到达振动膜(22)，在固定膜(23)上形成有多个音孔部(32)，固定电极(23a)是以缘部(40)的边界不和音孔部(32)相交的方式形成的。
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公开(公告)号：CN102771143A
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：CN201180001987.3
申请日：2011-03-16
Applicant: 欧姆龙株式会社
Inventor： 笠井隆
IPC: H04R19/04
CPC classification number: H04R19/005 , H01L2224/48137 , H01L2924/15151 , H01L2924/16152 , H04R1/04 , H04R7/06 , H04R19/04 , H04R2410/03
Abstract: 本发明提供了一个能够提高传感器信噪比而不妨碍缩小其尺寸的声音传感器。一后室(45)在硅质基板(42)上垂直开口。被作为可移动电极板的一薄膜状的隔膜(43)形成在硅质基板(42)的顶表面上以盖住后室(45)。后挡板(48)被固定在硅质基板(42)的顶表面上以盖住隔膜(43)，固定电极板(49)被置于在后挡板(48)的下表面上。另外，隔膜(43)被裂缝(47)分割成多个区域，被分割的各个隔膜(43a、43b)与固定电极板(49)构成多个并联的电容(声音传感部分(60a、60b))。
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公开(公告)号：CN101422053B
公开(公告)日：2012-09-26
申请号：CN200780013260.0
申请日：2007-02-23
Applicant: 欧姆龙株式会社
IPC: H04R31/00 , H01L21/306
CPC classification number: H04R31/00 , H04R19/005 , H04R19/04 , Y10T29/49002 , Y10T29/49005 , Y10T29/4908
Abstract: 本发明涉及一种麦克风的制造方法。使牺牲层(36)从药液投入口(31)露出，利用从药液投入口(31)导入的蚀刻剂将牺牲层(36)和牺牲层(35)蚀刻除去。由于在除去了牺牲层(35)后的痕迹的蚀刻窗口(34)使Si衬底(22)的表面露出，因此，在蚀刻窗口(34)的下方对Si衬底(22)进行结晶各向异性蚀刻并产生空腔(23)。与此相对，由于在蚀刻除去了牺牲层(36)的空间，Si衬底(22)的表面由保护膜(32)覆盖，因此，Si衬底(22)未被蚀刻而在此形成通风孔(26)。可通过来自表面侧的蚀刻在半导体衬底形成空腔。另外，能够很容易制造声阻大的通风孔。
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公开(公告)号：CN107925827B
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201780002686.X
申请日：2017-01-31
Applicant: 欧姆龙株式会社
Abstract: 本发明提供一种在对音响传感器作用过大的压力的情况下，即使振动电极膜向任意方向发生变形，也能够抑制振动电极膜的过度变形，避免振动电极膜的破损的技术。本发明的电容式转换器具备：背板(37)，其以与基板的开口相对的方式配设；振动电极膜(35)，其在与背板(37)之间经由空隙而与背板(37)相对地配设，还具备：压力释放孔(35b)，其为设于振动电极膜(35)的贯通孔；凸部(37b)，其利用与背板(37)相同的部件与背板(37)一体设置，在振动电极膜(35)变形前的状态下侵入压力释放孔(35b)；压力释放流路，其为通过压力释放孔(35b)与凸部(37b)的间隙而形成的空气的流路，凸部(37b)具有将其前端侧和背板(37)上的凸部(37b)的相反侧连通的凸部孔(37c)。
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