图案光照射装置、三维形状计测装置以及图案光照射方法

    公开(公告)号:CN1936496B

    公开(公告)日:2010-05-12

    申请号:CN200610138937.0

    申请日:2006-09-21

    CPC classification number: G01B11/2527

    Abstract: 本发明提供图案光照射装置、三维形状计测装置以及图案光照射方法。一种图案光照射装置,该图案光照射装置用于向对象物照射具有图案的光,其特征在于,该图案光照射装置具备:图案形成板,其设置有多个开口部;光照射单元,其用于向上述图案形成板照射光;以及投影镜头,其用于将由上述光照射单元照射的、通过了上述图案形成板的开口部的光一体地聚光,将聚光后的光引导到上述对象物,上述投影镜头配置成,不使上述图案形成板的像成像于对象物上,而把其作为正弦波图案来投影。

    图案光照射装置、三维形状计测装置以及图案光照射方法

    公开(公告)号:CN1936496A

    公开(公告)日:2007-03-28

    申请号:CN200610138937.0

    申请日:2006-09-21

    CPC classification number: G01B11/2527

    Abstract: 本发明提供图案光照射装置、三维形状计测装置以及图案光照射方法。一种图案光照射装置,该图案光照射装置用于向对象物照射具有图案的光,其特征在于,该图案光照射装置具备:图案形成板,其设置有多个开口部;光照射单元,其用于向上述图案形成板照射光;以及投影镜头,其用于将由上述光照射单元照射的、通过了上述图案形成板的开口部的光一体地聚光,将聚光后的光引导到上述对象物,上述投影镜头配置成,不使上述图案形成板的像成像于对象物上,而把其作为正弦波图案来投影。

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