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公开(公告)号：CN116698232A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310681339.1
申请日：2021-01-08
Applicant: 横河电机株式会社
IPC: G01L1/10
Abstract: 本公开提供了一种谐振压力传感器，包括：壳体；固定于壳体的壳体固定部；基底，其包括固定于壳体固定部的基底固定部以及与壳体固定部分离并从基底固定部延伸的基底分离部；第一谐振器，其被布置在基底分离部中，并基于由压力接收流体施加的静压导致的在基底中的应变来检测谐振频率的变化；以及处理器。压力接收流体夹在壳体固定部与基底之间的间隙中并包围基底。处理器基于检测到的谐振频率的变化来测量静压。
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公开(公告)号：CN113188690A
公开(公告)日：2021-07-30
申请号：CN202110024926.4
申请日：2021-01-08
Applicant: 横河电机株式会社
IPC: G01L1/10
Abstract: 本公开提供了一种谐振压力传感器，包括：壳体；固定于壳体的壳体固定部；基底，其包括固定于壳体固定部的基底固定部以及与壳体固定部分离并从基底固定部延伸的基底分离部；第一谐振器，其被布置在基底分离部中，并基于由压力接收流体施加的静压导致的在基底中的应变来检测谐振频率的变化；以及处理器。压力接收流体夹在壳体固定部与基底之间的间隙中并包围基底。处理器基于检测到的谐振频率的变化来测量静压。
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公开(公告)号：CN111239439B
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN201911171213.X
申请日：2019-11-26
Applicant: 横河电机株式会社
IPC: G01P15/10
Abstract: 振动式传感器装置具备基座和检测基板。所述检测基板具有：可动部，在第1方向上移动；支承机构，由一个或多个支承部构成，一个或多个该支承部在沿着与所述第1方向相交的相交面的方向上延伸；中间固定部，经由所述支承机构与所述可动部连接；连接部，在作为沿着所述相交面的一方向的第2方向上，将固定于所述基座的安装部和所述中间固定部连接；及振子，至少一部分安装于一个或多个所述支承部。在所述相交面内与所述第2方向正交的第3方向上的所述连接部的最大尺寸比在所述第3方向上的所述支承机构的最大尺寸小。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111239439A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN201911171213.X
申请日：2019-11-26
Applicant: 横河电机株式会社
IPC: G01P15/10
Abstract: 振动式传感器装置具备基座和检测基板。所述检测基板具有：可动部，在第1方向上移动；支承机构，由一个或多个支承部构成，一个或多个该支承部在沿着与所述第1方向相交的相交面的方向上延伸；中间固定部，经由所述支承机构与所述可动部连接；连接部，在作为沿着所述相交面的一方向的第2方向上，将固定于所述基座的安装部和所述中间固定部连接；及振子，至少一部分安装于一个或多个所述支承部。在所述相交面内与所述第2方向正交的第3方向上的所述连接部的最大尺寸比在所述第3方向上的所述支承机构的最大尺寸小。
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公开(公告)号：CN1607628A
公开(公告)日：2005-04-20
申请号：CN200410080898.4
申请日：2004-10-11
Applicant: 横河电机株式会社
CPC classification number: H01H29/28 , H01H2029/008
Abstract: 本发明是关于一种继电器，是实现了一种可靠性高且使用寿命长的继电器，其未有移动部件和不充分接触，其结构包括形成于一绝缘件上的流道、一个或多个形成于该流道一端或两端的腔室、沿上述流道分布的多个电极、封闭在上述一个或多个腔室内受热膨胀遇冷收缩的气体、设置于上述一个或多个腔室内的加热或冷却装置、以及封闭于上述流道内的导电液；这种设计使上述至少两个电极的一端与封闭于上述流道内的导电液金属接触并且其他电极的一端根据上述加热冷却装置的导通或关断使上述气体膨胀或收缩从而与流动在上述流道内的导电液接触或不接触。此外，利用微机电系统(MEMS)技术形成流道、电极和腔室以及同时制造多个继电器晶片以期成本的降低。
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公开(公告)号：CN113188690B
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202110024926.4
申请日：2021-01-08
Applicant: 横河电机株式会社
IPC: G01L1/10
Abstract: 本公开提供了一种谐振压力传感器，包括：壳体；固定于壳体的壳体固定部；基底，其包括固定于壳体固定部的基底固定部以及与壳体固定部分离并从基底固定部延伸的基底分离部；第一谐振器，其被布置在基底分离部中，并基于由压力接收流体施加的静压导致的在基底中的应变来检测谐振频率的变化；以及处理器。压力接收流体夹在壳体固定部与基底之间的间隙中并包围基底。处理器基于检测到的谐振频率的变化来测量静压。
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公开(公告)号：CN108088474B
公开(公告)日：2022-03-22
申请号：CN201711143961.8
申请日：2017-11-17
Applicant: 横河电机株式会社
Abstract: 一种振动式转换器，其具有：振动梁，其形成于半导体基板；支撑梁，其一端以规定的角度与该振动梁的一部分连接；第一电极，其经由所述支撑梁与所述振动梁连接；第二电极，其与所述振动梁的一侧面的中央相邻而配置；以及导体，其配置于所述支撑梁和所述第二电极之间，与所述第一电极连接。
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公开(公告)号：CN108088474A
公开(公告)日：2018-05-29
申请号：CN201711143961.8
申请日：2017-11-17
Applicant: 横河电机株式会社
CPC classification number: H03H9/2447 , H03H9/02338 , H03H2009/02291 , G01D5/02 , G01D5/12
Abstract: 一种振动式转换器，其具有：振动梁，其形成于半导体基板；支撑梁，其一端以规定的角度与该振动梁的一部分连接；第一电极，其经由所述支撑梁与所述振动梁连接；第二电极，其与所述振动梁的一侧面的中央相邻而配置；以及导体，其配置于所述支撑梁和所述第二电极之间，与所述第一电极连接。
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