公开(公告)号：CN1607628A

公开(公告)日：2005-04-20

申请号：CN200410080898.4

申请日：2004-10-11

Applicant: 横河电机株式会社

Inventor： 渡边哲也 ,  野吕诚 ,  娜洋浦普磊卜塔戈巴

IPC: H01H53/08 ,  H01L29/06

CPC classification number: H01H29/28 ,  H01H2029/008

Abstract: 本发明是关于一种继电器，是实现了一种可靠性高且使用寿命长的继电器，其未有移动部件和不充分接触，其结构包括形成于一绝缘件上的流道、一个或多个形成于该流道一端或两端的腔室、沿上述流道分布的多个电极、封闭在上述一个或多个腔室内受热膨胀遇冷收缩的气体、设置于上述一个或多个腔室内的加热或冷却装置、以及封闭于上述流道内的导电液；这种设计使上述至少两个电极的一端与封闭于上述流道内的导电液金属接触并且其他电极的一端根据上述加热冷却装置的导通或关断使上述气体膨胀或收缩从而与流动在上述流道内的导电液接触或不接触。此外，利用微机电系统(MEMS)技术形成流道、电极和腔室以及同时制造多个继电器晶片以期成本的降低。