公开(公告)号：CN105388323A

公开(公告)日：2016-03-09

申请号：CN201510531246.6

申请日：2015-08-26

Applicant: 横河电机株式会社

Inventor： 吉田勇作 ,  吉田隆司 ,  汤本淳志

IPC: G01P15/10

Abstract: 一种振动式传感器装置，具备：可动部，其移动方向被设定为第1方向；支撑部，其沿与所述第1方向相交叉的第2方向延伸而与所述可动部以及固定部连接，将所述可动部支撑为，能够相对于所述固定部在所述第1方向上相对地进行移动；以及振子，其至少一部分组装于所述支撑部上，在所述第2方向上被赋予拉伸应力。

公开(公告)号：CN116698232A

公开(公告)日：2023-09-05

申请号：CN202310681339.1

申请日：2021-01-08

Applicant: 横河电机株式会社

Inventor： 岩井滋人 ,  汤本淳志 ,  野吕诚 ,  吉田隆司

IPC: G01L1/10

Abstract: 本公开提供了一种谐振压力传感器，包括：壳体；固定于壳体的壳体固定部；基底，其包括固定于壳体固定部的基底固定部以及与壳体固定部分离并从基底固定部延伸的基底分离部；第一谐振器，其被布置在基底分离部中，并基于由压力接收流体施加的静压导致的在基底中的应变来检测谐振频率的变化；以及处理器。压力接收流体夹在壳体固定部与基底之间的间隙中并包围基底。处理器基于检测到的谐振频率的变化来测量静压。

公开(公告)号：CN104422547B

公开(公告)日：2018-11-30

申请号：CN201410407237.1

申请日：2014-08-18

Applicant: 横河电机株式会社

Inventor： 吉田隆司 ,  吉田勇作 ,  汤本淳志 ,  铃木良孝

IPC: G01L1/10 ,  G01L9/00

CPC classification number: G01L7/082 ,  G01L7/022 ,  G01L7/08 ,  G01L9/0008 ,  G01L9/0047 ,  Y10T29/4913

Abstract: 本发明公开了一种谐振式压力传感器，该谐振式压力传感器包括：第一基底，其包括隔膜和布置在该隔膜上的至少一个凸部；以及至少一个谐振器，其布置在所述第一基底中，在所述凸部中包括该谐振器的至少一部分，并且该谐振器布置在所述凸部的顶部与所述第一基底的中间层之间。

公开(公告)号：CN113188690A

公开(公告)日：2021-07-30

申请号：CN202110024926.4

申请日：2021-01-08

Applicant: 横河电机株式会社

Inventor： 岩井滋人 ,  汤本淳志 ,  野吕诚 ,  吉田隆司

IPC: G01L1/10

Abstract: 本公开提供了一种谐振压力传感器，包括：壳体；固定于壳体的壳体固定部；基底，其包括固定于壳体固定部的基底固定部以及与壳体固定部分离并从基底固定部延伸的基底分离部；第一谐振器，其被布置在基底分离部中，并基于由压力接收流体施加的静压导致的在基底中的应变来检测谐振频率的变化；以及处理器。压力接收流体夹在壳体固定部与基底之间的间隙中并包围基底。处理器基于检测到的谐振频率的变化来测量静压。

公开(公告)号：CN113188690B

公开(公告)日：2023-07-04

申请号：CN202110024926.4

申请日：2021-01-08

Applicant: 横河电机株式会社

Inventor： 岩井滋人 ,  汤本淳志 ,  野吕诚 ,  吉田隆司

IPC: G01L1/10

Abstract: 本公开提供了一种谐振压力传感器，包括：壳体；固定于壳体的壳体固定部；基底，其包括固定于壳体固定部的基底固定部以及与壳体固定部分离并从基底固定部延伸的基底分离部；第一谐振器，其被布置在基底分离部中，并基于由压力接收流体施加的静压导致的在基底中的应变来检测谐振频率的变化；以及处理器。压力接收流体夹在壳体固定部与基底之间的间隙中并包围基底。处理器基于检测到的谐振频率的变化来测量静压。

公开(公告)号：CN108088474B

公开(公告)日：2022-03-22

申请号：CN201711143961.8

申请日：2017-11-17

Applicant: 横河电机株式会社

Inventor： 吉田隆司 ,  吉田勇作 ,  野吕诚 ,  汤本淳志 ,  吉田周平

IPC: G01D5/02 ,  G01D5/12

Abstract: 一种振动式转换器，其具有：振动梁，其形成于半导体基板；支撑梁，其一端以规定的角度与该振动梁的一部分连接；第一电极，其经由所述支撑梁与所述振动梁连接；第二电极，其与所述振动梁的一侧面的中央相邻而配置；以及导体，其配置于所述支撑梁和所述第二电极之间，与所述第一电极连接。

公开(公告)号：CN108088474A

公开(公告)日：2018-05-29

申请号：CN201711143961.8

申请日：2017-11-17

Applicant: 横河电机株式会社

Inventor： 吉田隆司 ,  吉田勇作 ,  野吕诚 ,  汤本淳志 ,  吉田周平

IPC: G01D5/02 ,  G01D5/12

CPC classification number: H03H9/2447 ,  H03H9/02338 ,  H03H2009/02291 ,  G01D5/02 ,  G01D5/12

Abstract: 一种振动式转换器，其具有：振动梁，其形成于半导体基板；支撑梁，其一端以规定的角度与该振动梁的一部分连接；第一电极，其经由所述支撑梁与所述振动梁连接；第二电极，其与所述振动梁的一侧面的中央相邻而配置；以及导体，其配置于所述支撑梁和所述第二电极之间，与所述第一电极连接。

公开(公告)号：CN109425459B

公开(公告)日：2021-12-28

申请号：CN201810947922.1

申请日：2018-08-20

Applicant: 横河电机株式会社

Inventor： 平山彻 ,  吉田勇作 ,  汤本淳志 ,  宫内龙彦

IPC: G01L7/18 ,  G01K5/02

Abstract: 一种传感器，其具有：压力容器，其封入有封入液；隔膜，其将所述压力容器闭塞；传感器主体，其收容于所述压力容器内；电气配线部件，其具有与所述传感器主体电连接的配线；固定部件，其将所述电气配线部件固定于所述压力容器；第1焊脚，其形成于所述电气配线部件和所述固定部件的接合部，与所述封入液接触；以及第2焊脚，其形成于所述固定部件和所述压力容器的接合部，与所述封入液接触。

公开(公告)号：CN105388323B

公开(公告)日：2019-12-24

申请号：CN201510531246.6

申请日：2015-08-26

Applicant: 横河电机株式会社

Inventor： 吉田勇作 ,  吉田隆司 ,  汤本淳志

IPC: G01P15/10

Abstract: 一种振动式传感器装置，具备：可动部，其移动方向被设定为第1方向；支撑部，其沿与所述第1方向相交叉的第2方向延伸而与所述可动部以及固定部连接，将所述可动部支撑为，能够相对于所述固定部在所述第1方向上相对地进行移动；以及振子，其至少一部分组装于所述支撑部上，在所述第2方向上被赋予拉伸应力。

公开(公告)号：CN109425459A

公开(公告)日：2019-03-05

申请号：CN201810947922.1

申请日：2018-08-20

Applicant: 横河电机株式会社

Inventor： 平山彻 ,  吉田勇作 ,  汤本淳志 ,  宫内龙彦

IPC: G01L7/18 ,  G01K5/02

Abstract: 一种传感器，其具有：压力容器，其封入有封入液；隔膜，其将所述压力容器闭塞；传感器主体，其收容于所述压力容器内；电气配线部件，其具有与所述传感器主体电连接的配线；固定部件，其将所述电气配线部件固定于所述压力容器；第1焊脚，其形成于所述电气配线部件和所述固定部件的接合部，与所述封入液接触；以及第2焊脚，其形成于所述固定部件和所述压力容器的接合部，与所述封入液接触。