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公开(公告)号:CN111670177A
公开(公告)日:2020-09-15
申请号:CN201980010872.7
申请日:2019-10-11
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: C07C309/23 , C07C321/10 , G03F7/004 , G03F7/032 , G03F7/26
Abstract: 本说明书提供了化合物、包含其的光致抗蚀剂组合物、包含其的光致抗蚀剂图案和用于制备光致抗蚀剂图案的方法。
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公开(公告)号:CN111670177B
公开(公告)日:2022-08-23
申请号:CN201980010872.7
申请日:2019-10-11
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: C07C309/23 , C07C321/10 , G03F7/004 , G03F7/032 , G03F7/26
Abstract: 本说明书提供了化合物、包含其的光致抗蚀剂组合物、包含其的光致抗蚀剂图案和用于制备光致抗蚀剂图案的方法。
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公开(公告)号:CN110325910A
公开(公告)日:2019-10-11
申请号:CN201880013367.3
申请日:2018-08-24
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: G03F7/004 , G03F7/039 , C07D221/14
Abstract: 本发明涉及光致产酸剂和包含其的用于厚膜的化学增幅型光致抗蚀剂组合物,其中光致产酸剂具有优异的溶解度和感光度,并且除了作为光致产酸剂的效果之外,还具有抗腐蚀效果。因此,包含所述光致产酸剂的用于厚膜的化学增幅型光致抗蚀剂组合物减少了在显影之后在曝光部分处的浮渣和/或基脚。
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公开(公告)号:CN110325910B
公开(公告)日:2022-07-29
申请号:CN201880013367.3
申请日:2018-08-24
Applicant: 株式会社LG化学
IPC: G03F7/004 , G03F7/039 , C07D221/14
Abstract: 本发明涉及光致产酸剂和包含其的用于厚膜的化学增幅型光致抗蚀剂组合物,其中光致产酸剂具有优异的溶解度和感光度,并且除了作为光致产酸剂的效果之外,还具有抗腐蚀效果。因此,包含所述光致产酸剂的用于厚膜的化学增幅型光致抗蚀剂组合物减少了在显影之后在曝光部分处的浮渣和/或基脚。光致产酸剂由以下化学式1表示。在化学式1中,各取代基的限定与说明书的详细描述相同。[化学式1]
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公开(公告)号:CN114222947B
公开(公告)日:2024-05-28
申请号:CN202080057734.7
申请日:2020-11-04
Applicant: 株式会社LG化学
Abstract: 本申请涉及包含由式1‑1表示的化合物和由式1‑2表示的化合物的粘结剂树脂、负型光敏树脂组合物、以及包括通过使用其形成的黑堤的显示装置。
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公开(公告)号:CN114222947A
公开(公告)日:2022-03-22
申请号:CN202080057734.7
申请日:2020-11-04
Applicant: 株式会社LG化学
Abstract: 本申请涉及包含由式1‑1表示的化合物和由式1‑2表示的化合物的粘结剂树脂、负型光敏树脂组合物、以及包括通过使用其形成的黑堤的显示装置。
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