净化处理方法
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110467285A

    公开(公告)日:2019-11-19

    申请号:CN201910246953.9

    申请日:2019-03-29

    Inventor: 饭岛胜之

    Abstract: 提供一种可以有效率地除去污染水或污染土壤中包含的镉和氟的净化处理方法。净化处理方法是从污染水或污染土壤中除去镉和氟的方法。该净化处理方法具备如下工序:使由铁或铁合金所形成的金属粉与污染水或污染土壤的溶出液接触,由此从污染水或溶出液中除去氟第一工序;将由铁或铁合金所形成的金属粉与经由第一工序处理之后的污染水或溶出液接触,由此从污染水或溶出液中除去镉的第二工序。在第一工序中,与金属粉的接触开始时的污染水或溶出液的pH值为2以上6.5以下,且调整得比第二工序时低。在第二工序中,与金属粉的接触开始时的污染水或溶出液的pH值为4.5以上8.5以下,且调整得比第一工序时高。

    净化处理剂及净化处理方法

    公开(公告)号:CN107176644A

    公开(公告)日:2017-09-19

    申请号:CN201710123141.6

    申请日:2017-03-03

    CPC classification number: C02F1/281 B09C1/08 C02F1/70 C02F2101/20

    Abstract: 本发明的目的在于提供除去以镉为主的重金属的性能优异的净化处理剂及净化处理方法。本发明的净化处理剂是从污染水或污染土壤中除去镉的净化处理剂,其特征在于,含有铁或其合金制的金属粉和非金属系还原剂。上述非金属系还原剂的原材料可以为硫代硫酸钠、抗坏血酸、脲、苯甲醚或它们的组合。上述金属粉可以为雾化粉。上述金属粉可以含有硫。作为上述金属粉的硫含量,优选为0.05质量%以上且5质量%以下。作为非金属系还原剂的含量相对于上述金属粉的质量比,优选为0.01以上且4以下。本发明的净化处理方法是从污染水或污染土壤中除去镉的净化处理方法,其特征在于,具有使上述净化处理剂与上述污染水或上述污染土壤接触的工序。

    净化处理方法和净化处理剂

    公开(公告)号:CN106517570A

    公开(公告)日:2017-03-22

    申请号:CN201610467262.8

    申请日:2016-06-24

    Abstract: 本发明提供一种以简便的步骤从含氟的污染水或污染土壤中有效地除去氟,且可以同时除去规定的重金属的净化处理方法和净化处理剂。本发明的净化处理方法,其特征在于,是从污染水或污染土壤中除去氟的净化处理方法,具备:在从上述污染水或上述污染土壤溶出的溶出液中,以使pH值达到6.5以下的方式添加pH值调节剂的工序;使含有包含硫、磷或其组合的合金钢粉的净化处理剂与上述污染水或上述污染土壤接触的工序。在添加上述pH值调节剂的工序中,使从污染水或污染土壤溶出的溶出液的pH值为3以上且5以下即可。本发明的净化处理剂的特征在于,含有包含硫、磷或其组合的合金钢粉,使之与pH值调整到6.5以下的从上述污染水或上述污染土壤溶出的溶出液接触使用。

    清洗微结构的方法
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1711628A

    公开(公告)日:2005-12-21

    申请号:CN200380102846.6

    申请日:2003-11-04

    CPC classification number: H01L21/0206 H01L21/02101

    Abstract: 本发明提供一种用于清洗微结构的方法,它能够有效除去污染物如抗蚀剂残余而不损害半导体晶片所需要的物质如低-k膜。该清洗方法包括流化主要包括高压下的二氧化碳和清洗组分的清洗剂组合物以及使清洗剂组合物与微结构接触以除去粘附在微结构中的物质,其中氟化氢用作清洗组分。

    微细结构体的干燥方法及通过该方法得到的微细结构体

    公开(公告)号:CN1204603C

    公开(公告)日:2005-06-01

    申请号:CN02118458.5

    申请日:2002-04-24

    CPC classification number: G03F7/32 G03F7/40

    Abstract: 本发明是一种在用碳氟化合物系溶剂覆盖微细结构体表面的状态下,使该微细结构体与液态二氧化碳或超临界二氧化碳接触进行干燥的方法。采用本发明的干燥方法,在用液态/超临界二氧化碳处理前,在用碳氟化合物系溶剂覆盖微细结构体表面的状态下使之与二氧化碳接触,从而能够尽可能地抑制光致抗蚀剂图案的倒塌或膨润。另外,包括使用含水溶剂的洗涤工序的情况下,由于其构成为用排水液置换水,再用碳氟化合物系溶剂置换该排水液,因此能够迅速进行采用液态/超临界二氧化碳的干燥之前的工序,也可以抑制光致抗蚀剂图案的倒塌或膨润。

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