保护带粘贴方法
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102422409B

    公开(公告)日:2014-07-09

    申请号:CN201080020311.4

    申请日:2010-07-26

    CPC classification number: H01L21/67132 Y10T428/2848

    Abstract: 本发明提供保护带粘贴方法及用于该保护带粘贴方法的保护带。本发明的目的在于通过改进保护带的粘贴方法来抑制在经过了背磨工序的半导体晶圆中产生的翘曲。向吸附保持在卡盘台上的半导体晶圆(W)供给保护带(T),并且沿着该保护带(T)的上侧供给中间片(TS),在使中间片(TS)能够沿着保护带(T)的基材正面移动地介于粘贴构件与保护带(T)之间的状态下,使粘贴构件与半导体晶圆相对水平移动,从而将保护带(T)粘贴在半导体晶圆(W)的正面上。

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