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发明公开
具有电感耦合等离子体源的反应器审中-实审

公开(公告)号：CN117769754A

公开(公告)日：2024-03-26

申请号：CN202280052666.4

申请日：2022-07-25

Applicant: 应用材料公司

Inventor： K·C·保罗 , T·V·恩古耶 , D·凯德拉亚 , M·阿瓦米 , V·帕蒂尔 , S·沙尔玛

IPC: H01J37/32

Abstract: 示例性半导体处理系统可包括电感耦合等离子体源。所述系统可包括RF功率源，所述RF功率源与电感耦合等离子体源电耦合。所述系统可包括第一气体源，所述第一气体源与电感耦合等离子体源流体耦合。所述系统可包括第二气体源。所述系统可包括双通道喷头组件，所述双通道喷头组件界定第一多个孔和第二多个孔。所述第一多个孔可与电感耦合等离子体源流体耦合。所述第二多个孔与所述第二气体源流体耦合。

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