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公开(公告)号：CN102057479B
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：CN200980122000.6
申请日：2009-05-22
Applicant: 应用材料公司
Inventor： D·W·何 , S·A·亨德里克森 , J·C·罗查-阿尔瓦雷斯 , S·巴录佳 , T·诺瓦克
IPC: H01L21/76
CPC classification number: H01L21/76224 , H01L21/02164 , H01L21/3105
Abstract: 本发明实施例一般涉及一种固化介电材料以产生不具空隙与缝隙的特征的方法与设备，所述介电材料沉积于基材表面中的沟槽或间隙内。一个实施例中，介电材料在暴露于紫外光辐射时经蒸汽退火。一个实施例中，介电材料进一步于氮环境中经热退火。
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公开(公告)号：CN103337274A
公开(公告)日：2013-10-02
申请号：CN201310190387.7
申请日：2009-10-20
Applicant: 应用材料公司
CPC classification number: G21K1/062 , B82Y10/00 , G21K2201/064 , G21K2201/065 , G21K2201/067
Abstract: 一种用于紫外线灯的反射器，该紫外线灯可在基材处理设备中使用。该反射器包含在该紫外线灯长度上延伸的纵向带。该纵向带具有一弯曲反射表面并且包含多个通孔以将冷却剂气体导向该紫外线灯。在此亦描述使用具有反射器的紫外线灯模块的腔室以及紫外线处理的方法。
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公开(公告)号：CN102187441B
公开(公告)日：2013-09-11
申请号：CN200980142397.5
申请日：2009-10-20
Applicant: 应用材料公司
IPC: H01L21/324 , H01L21/205
CPC classification number: G21K1/062 , B82Y10/00 , G21K2201/064 , G21K2201/065 , G21K2201/067
Abstract: 一种用于紫外线灯的反射器，该紫外线灯可在基材处理设备中使用。该反射器包含在该紫外线灯长度上延伸的纵向带。该纵向带具有一弯曲反射表面并且包含数个通孔以将冷却剂气体导向该紫外线灯。在此亦描述使用具有反射器的紫外线灯模块的腔室以及紫外线处理的方法。
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公开(公告)号：CN103400627A
公开(公告)日：2013-11-20
申请号：CN201310386155.9
申请日：2009-10-20
Applicant: 应用材料公司
CPC classification number: G21K1/062 , B82Y10/00 , G21K2201/064 , G21K2201/065 , G21K2201/067
Abstract: 一种用于紫外线灯的反射器，该紫外线灯可在基材处理设备中使用。该反射器包含在该紫外线灯长度上延伸的纵向带。该纵向带具有一弯曲反射表面并且包含数个通孔以将冷却剂气体导向该紫外线灯。在此亦描述使用具有反射器的紫外线灯模块的腔室以及紫外线处理的方法。
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