公开(公告)号：CN1677056A

公开(公告)日：2005-10-05

申请号：CN200510059704.7

申请日：2005-03-29

Applicant: 富士通媒体部品株式会社 ,  富士通株式会社

Inventor： 石川宽 ,  中村义孝 ,  德永博司 ,  永田宪治

IPC: G01C19/00 ,  G01P9/00

CPC classification number: G01P15/123 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/0235 ,  G01C19/56 ,  G01P1/023 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/0842

Abstract: 一种惯性传感器，包括：传感部分，其具有由梁支撑的配重，该配重是可运动部分；以及限制配重的可运动范围的配重止动件，该配重止动件以给定间距设置在配重的附近，并成为利用MEMS技术所加工的惯性传感器的衬底的一部分。

公开(公告)号：CN1766648A

公开(公告)日：2006-05-03

申请号：CN200510068900.0

申请日：2005-05-11

Applicant: 富士通媒体部品株式会社 ,  富士通株式会社

Inventor： 田中浩 ,  石川宽 ,  永田宪治 ,  小野正明 ,  宫下勉 ,  山田澄夫

IPC: G01P15/12 ,  H01L29/84

CPC classification number: B81B7/0048 ,  B81B3/0072 ,  B81B2201/0235 ,  G01D11/30 ,  G01P1/023 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/123 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/0842

Abstract: 加速度传感器。该加速度传感器减少了噪声，可以解决由于热膨胀系数差异而出现的应力问题。该加速度传感器检测三维坐标系统中的三个轴向的加速度，包括：具有四个侧面的框架，通过半导体基板一体形成；重物部分，位于该框架中；和四个梁部分，分别与四个侧面中的每一个相对应，所述梁部分的一端连接到重物部分上以支撑该重物部分，另一端连接到四个侧面的相应侧面的中心，在四个梁部分的每一个上形成检测元件，该检测元件检测与作用在重物部分上的加速度相对应的梁部分的挠曲；在框架的四个侧面的每一个上形成有接合部分对，在该接合部分对之间形成有间隙；在一个侧面上形成的所述接合部分对之间的间隙相对该侧面的中心对称，并具有预定的长度。

公开(公告)号：CN1773292A

公开(公告)日：2006-05-17

申请号：CN200510084468.4

申请日：2005-07-08

Applicant: 富士通媒体部品株式会社 ,  富士通株式会社

Inventor： 町田敦司 ,  山田澄夫 ,  田中浩 ,  爱泽尚德 ,  永田宪治 ,  宫下勉 ,  石川宽

IPC: G01P15/12 ,  H01L29/84

CPC classification number: G01P15/123 ,  G01P1/006 ,  G01P15/18

Abstract: 提供了一种加速度传感器，其抑制了偏移电压的波动并且具有改善的温度特性。该加速度传感器包括：形成在半导体基板中央的重物；形成在重物周边的框架；连接重物和框架的梁或隔膜；检测元件，其形成在梁或隔膜上并且检测与施加的加速度对应的梁或隔膜的弯曲；以及引线，形成在梁或隔膜上并且将所述检测元件的检测输出引导到设置在框架上的焊盘，其中，在梁或隔膜上形成包括与形成在梁或隔膜上的配线引线独立的多个点状图案的伪引线。

公开(公告)号：CN1721858A

公开(公告)日：2006-01-18

申请号：CN200510064610.9

申请日：2005-04-15

Applicant: 富士通媒体部品株式会社 ,  富士通株式会社

Inventor： 德永博司 ,  永田宪治 ,  小野正明 ,  花泽敏夫 ,  石川宽

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/12 ,  G01P15/125 ,  G01C19/00

CPC classification number: G01P15/0802 ,  G01C19/56 ,  G01P1/023 ,  G01P15/123 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/0842

Abstract: 一种惯性传感器，诸如加速度传感器或回转仪，其通过调节重物部分在上限方向上的移动而具有优良的抗冲击性。该传感器包括传感器部分，该传感器部分具有固定部件、具有小于所述固定部件的高度的预定大小的高度的重物部分、和连接所述重物部分和所述固定部件的梁部分；板状第一止挡部分，其覆盖所述重物部分且连接到所述固定部件上，并与所述重物部分相隔预定大小的间隙；和平板状第二止挡部分，其通过一预定高度的隆起部连接到所述固定部件，该隆起部位于与第一止挡部分相对的一侧。

公开(公告)号：CN1677055A

公开(公告)日：2005-10-05

申请号：CN200510058943.0

申请日：2005-03-25

Applicant: 富士通媒体部品株式会社 ,  富士通株式会社

Inventor： 石川宽 ,  中村义孝 ,  德永博司 ,  永田宪治

IPC: G01C19/00 ,  G01P9/00

CPC classification number: G01P1/023 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/123 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/0842

Abstract: 一种惯性传感器，该惯性传感器包括具有配重的传感部分，所述配重由从框架处延伸的梁悬挂并且是可运动部分。所述梁包括部分地布置于其中的变形部分，并且所述变形部分布置成避开施加在所述梁上的应力集中在其上的边缘。所述梁的根部没有形成为以直角与配重或框架相连接。所述梁的根部具有更宽的角度。因此，可分散应力集中在其上的区域，并且在不牺牲传感器的灵敏性情况下增强耐冲击性。根据本发明既可获得高传感器灵敏性又可获得耐冲击性。