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公开(公告)号：CN105874365A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201580003710.2
申请日：2015-01-14
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: G02B5/30 , G02F1/1335 , G02F1/1337
CPC classification number: G02B5/3058 , G02F2001/133548
Abstract: 本发明主要目的在于提供一种偏振元件，能消除将并列配置有多条细线的偏振元件配置于光取向装置时，连锁性引发细线破损的不良情况、以及从已破损细线部分产生异物的不良情况，且消光比优异。本发明通过在对紫外光具有透射性的透明基板上并列配置多条细线的偏振元件中，在配置有上述细线的偏振区域的外侧，形成将上述紫外光予以遮光的遮光膜，而解决上述课题。
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公开(公告)号：CN101268417A
公开(公告)日：2008-09-17
申请号：CN200680034585.2
申请日：2006-09-19
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: G03F1/08
Abstract: 本发明涉及一种具有灰度的光掩模及其制造方法，在用于减少光刻工序数的具有灰度的光掩模中，使用通用的光掩模坯料，防止遮光膜的反射率升高，且半透明膜图案形成时的对准容易，可在遮光膜图案上阶梯覆盖良好地形成半透明膜，所述具有灰度的光掩模(100)，在透明基板上具有所希望的图案，且形成图案的膜由实质上不能透过曝光光的遮光膜(114)、和以所希望的透射率透过曝光光的半透明膜(113)构成，在透明基板(101)上混在按顺序层叠遮光膜(114)和半透明膜(113)而存在的遮光区域、只有半透明膜(113)存在的半透明区域、及遮光膜(114)和半透明膜(113)都不存在的透射区域，其特征在于，半透明膜(113)相对于曝光光具有防反射功能。
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公开(公告)号：CN109477915B
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN201780044486.0
申请日：2017-07-21
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: G02B5/18
Abstract: 提供一种光的利用效率高，且即使在光的入射角偏离的情况下，对衍射光的影响也小并能够稳定地获得希望的衍射光，进而衍射光的不均匀性少的衍射光学元件、光照射装置。衍射光学元件(10)是一种对光进行整形的衍射光学元件，具备衍射层(15)，所述衍射层(15)具有：高折射率部(11)，在剖面形状中多个凸部(11a)排列配置；和低折射率部(14)，折射率比高折射率部(11)低，且至少包括在凸部(11a)之间形成的凹部(12)，凸部(11a)在其侧面形状的至少一侧具有具备高度不同的多个台阶部(11a‑1、11a‑2、11a‑3、11a‑4)的多阶段形状，凸部11a的侧面形状至少在一部分具备向包括衍射层(15)的平面倾斜的倾斜部(11b、11c、11d)。
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公开(公告)号：CN110352367B
公开(公告)日：2021-08-17
申请号：CN201880015085.7
申请日：2018-03-20
Applicant: 大日本印刷株式会社
Inventor： 登山伸人
IPC: G02B5/18
Abstract: 提供一种可配置间距大的衍射光栅且可配置多个衍射光栅的衍射光学元件。一种衍射光学元件(10)，其并列配置有多个单元，按照每个单元，凸部(11a)的并列间距和面内的旋转方向的配置中的至少一方是不同的，在相同单元内凸部(11a)的间距和面内的旋转方向的配置是相同的，通过作为单元的集合体的结构对光进行整形，多个单元中包括：外形形状为相同形状的多个基本单元(10a)；及合成单元(10b)，其外形形状与基本单元(10a)不同，并具备特定的方向的长度比基本单元的长度长且至少包括凸部(11a)的1个间距量的衍射光栅。
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公开(公告)号：CN110418986A
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201880018480.0
申请日：2018-03-19
Applicant: 大日本印刷株式会社
Inventor： 登山伸人
IPC: G02B5/18
Abstract: 提供一种能够进一步减少0次衍射光的衍射光学元件。衍射光学元件(10)包括衍射层(15)，该衍射层(15)具备：高折射率部(11)，其在截面形状中并排地配置多个凸部(11a)而成；低折射率部(14)，其折射率低于高折射率部(11)，且至少包括形成于凸部(11a)之间的凹部(12)，凸部(11a)为锯齿形状或由多台阶的轮廓形状模拟锯齿形状而成的形状，锯齿形状或由多台阶的轮廓形状模拟而成的锯齿形状的相对于衍射光学元件(10)的座面倾斜的斜面具有朝向凸部(11a)凹陷的凹状曲面。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105659119A
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201480055919.9
申请日：2014-11-12
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: G02B5/30 , G02F1/1335 , G02F1/1337
Abstract: 本发明的主要目的在于提供一种容易对光取向膜赋予取向约束力的偏振片。本发明藉由提供一种偏振片而达成上述目的，该偏振片的特征在于：具有多条呈直线状并列配置的细线，上述细线具有含有偏振材料的偏振材料层，且波长250nm的光的消光比为40以上。
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公开(公告)号：CN110352367A
公开(公告)日：2019-10-18
申请号：CN201880015085.7
申请日：2018-03-20
Applicant: 大日本印刷株式会社
Inventor： 登山伸人
IPC: G02B5/18
Abstract: 提供一种可配置间距大的衍射光栅且可配置多个衍射光栅的衍射光学元件。一种衍射光学元件(10)，其并列配置有多个单元，按照每个单元，凸部(11a)的并列间距和面内的旋转方向的配置中的至少一方是不同的，在相同单元内凸部(11a)的间距和面内的旋转方向的配置是相同的，通过作为单元的集合体的结构对光进行整形，多个单元中包括：外形形状为相同形状的多个基本单元(10a)；及合成单元(10b)，其外形形状与基本单元(10a)不同，并具备特定的方向的长度比基本单元的长度长且至少包括凸部(11a)的1个间距量的衍射光栅。
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公开(公告)号：CN105874365B
公开(公告)日：2019-08-09
申请号：CN201580003710.2
申请日：2015-01-14
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: G02B5/30 , G02F1/1335 , G02F1/1337
CPC classification number: G02B5/3058 , G02F2001/133548
Abstract: 本发明主要目的在于提供一种偏振元件，能消除将并列配置有多条细线的偏振元件配置于光取向装置时，连锁性引发细线破损的不良情况、以及从已破损细线部分产生异物的不良情况，且消光比优异。本发明通过在对紫外光具有透射性的透明基板上并列配置多条细线的偏振元件中，在配置有上述细线的偏振区域的外侧，形成将上述紫外光予以遮光的遮光膜，而解决上述课题。
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公开(公告)号：CN109477915A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201780044486.0
申请日：2017-07-21
Applicant: 大日本印刷株式会社
IPC: G02B5/18
CPC classification number: G02B5/18
Abstract: 提供一种光的利用效率高，且即使在光的入射角偏离的情况下，对衍射光的影响也小并能够稳定地获得希望的衍射光，进而衍射光的不均匀性少的衍射光学元件、光照射装置。衍射光学元件(10)是一种对光进行整形的衍射光学元件，具备衍射层(15)，所述衍射层(15)具有：高折射率部(11)，在剖面形状中多个凸部(11a)排列配置；和低折射率部(14)，折射率比高折射率部(11)低，且至少包括在凸部(11a)之间形成的凹部(12)，凸部(11a)在其侧面形状的至少一侧具有具备高度不同的多个台阶部(11a-1、11a-2、11a-3、11a-4)的多阶段形状，凸部11a的侧面形状至少在一部分具备向包括衍射层(15)的平面倾斜的倾斜部(11b、11c、11d)。
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