具有灰度的光掩模及其制造方法

    公开(公告)号:CN101268417A

    公开(公告)日:2008-09-17

    申请号:CN200680034585.2

    申请日:2006-09-19

    CPC classification number: G03F1/46 G03F1/50

    Abstract: 本发明涉及一种具有灰度的光掩模及其制造方法,在用于减少光刻工序数的具有灰度的光掩模中,使用通用的光掩模坯料,防止遮光膜的反射率升高,且半透明膜图案形成时的对准容易,可在遮光膜图案上阶梯覆盖良好地形成半透明膜,所述具有灰度的光掩模(100),在透明基板上具有所希望的图案,且形成图案的膜由实质上不能透过曝光光的遮光膜(114)、和以所希望的透射率透过曝光光的半透明膜(113)构成,在透明基板(101)上混在按顺序层叠遮光膜(114)和半透明膜(113)而存在的遮光区域、只有半透明膜(113)存在的半透明区域、及遮光膜(114)和半透明膜(113)都不存在的透射区域,其特征在于,半透明膜(113)相对于曝光光具有防反射功能。

    装饰片材以及显示装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112424855A

    公开(公告)日:2021-02-26

    申请号:CN201980046938.8

    申请日:2019-08-21

    Abstract: 提供装饰片材的图案的可视性优异的装饰片材、带装饰片材的显示装置以及带面板的显示装置。装饰片材(50)的特征在于,具有图案部(53)与作为图案部(53)的非形成部的多个透过部(57),开口率为5%以上,50%以下,透过部(57)以相邻的透过部(57)之间的距离为40μm以上的方式形成。

    装饰片材以及显示装置
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN112424855B

    公开(公告)日:2024-09-06

    申请号:CN201980046938.8

    申请日:2019-08-21

    Abstract: 提供装饰片材的图案的可视性优异的装饰片材、带装饰片材的显示装置以及带面板的显示装置。装饰片材(50)的特征在于,具有图案部(53)与作为图案部(53)的非形成部的多个透过部(57),开口率为5%以上,50%以下,透过部(57)以相邻的透过部(57)之间的距离为40μm以上的方式形成。

    金属色调装饰片和具有其的金属色调装饰成型体

    公开(公告)号:CN115151418B

    公开(公告)日:2024-01-05

    申请号:CN202080097458.7

    申请日:2020-12-24

    Abstract: 本发明提供一种金属光泽感和电磁波透过性优异的金属色调装饰片以及具有该装饰片的金属色调装饰成型体。该金属色调装饰片在基材层上具有金属层,上述金属层具有含有金属的多个岛部和位于上述岛部之间的海部,上述岛部从截面看时为凸状的四边形,上述四边形的一边与上述基材层相对,将上述基材层侧的上述岛部的边的长度设为x[nm],并将与上述基材层为相反侧的上述岛部的边的长度设为y[nm]时,0≤x-y≤80。

    金属色调装饰片和具有其的金属色调装饰成型体

    公开(公告)号:CN115151418A

    公开(公告)日:2022-10-04

    申请号:CN202080097458.7

    申请日:2020-12-24

    Abstract: 本发明提供一种金属光泽感和电磁波透过性优异的金属色调装饰片以及具有该装饰片的金属色调装饰成型体。该金属色调装饰片在基材层上具有金属层,上述金属层具有含有金属的多个岛部和位于上述岛部之间的海部,上述岛部从截面看时为凸状的四边形,上述四边形的一边与上述基材层相对,将上述基材层侧的上述岛部的边的长度设为x[nm],并将与上述基材层为相反侧的上述岛部的边的长度设为y[nm]时,0≤x-y≤80。

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