Cu合金靶用材料、Cu合金靶、Cu合金膜及触摸面板

    公开(公告)号:CN104375694B

    公开(公告)日:2018-11-20

    申请号:CN201410397798.8

    申请日:2014-08-13

    Abstract: 本发明涉及Cu合金靶用材料、Cu合金靶、Cu合金膜及触摸面板。涉及具备以下的特征的Cu合金靶用材料:(1)前述Cu合金靶用材料含有0.1~10.0at%的Zn,进而含有总含量为0.1~6.0at%的选自由Mg、Cr、Ca、Ti、Al、Sn、Ni和B组成的组中的至少一种元素,剩余部分由Cu和不可避免的杂质组成;以及(2)前述Cu合金靶用材料被用于靶,该靶用于将触摸面板的传感器电极和/或布线中使用的Cu合金膜形成于基板上。

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