一种等离子体侵蚀痕量产物在线监测装置及方法

    公开(公告)号:CN117420083B

    公开(公告)日:2024-04-09

    申请号:CN202311743392.6

    申请日:2023-12-19

    Abstract: 一种等离子体侵蚀痕量产物在线监测装置及方法,涉及等离子体光谱测试技术领域,解决的技术问题为“如何进行等离子体推进器工部件侵蚀痕量产物监测”,该装置包括金属屏蔽罩,以及设置于所述金属屏蔽罩内部的第一凸透镜、第一反射镜、分光棱镜、第二凸透镜、光栅以及第二反射镜,以及设置于所述金属屏蔽罩外部的光电倍增管和分析处理设备;所述金属屏蔽罩侧壁上固定有入射光狭缝和出射光狭缝,所述出射光狭缝与所述光电倍增管连接,所述光电倍增管与所述分析处理设备连接;该装置及方法设计了光谱仪设备对痕量产物谱线光强进行监测,建立痕量物质辐射谱线强度和光强信号波动关系,以获得痕量产物绝对密度,可靠性高,监测灵敏。

    一种针对固支边界条件的分步模型修正方法

    公开(公告)号:CN110956001B

    公开(公告)日:2022-06-10

    申请号:CN201911235514.4

    申请日:2019-12-05

    Abstract: 一种针对固支边界条件的分步模型修正方法,涉及模型修正技术领域。本发明是为了解决目前基于模态的参数型模型修正方法在修正过程中会遇到欠定问题,进而导致修正结果差的问题。本发明添加了对自由边界条件下试验件的模型修正,增加了可用于模型修正的试验响应数量。由于自由边界条件对于试验件没有附加的影响,引入自由边界这一步并不会引入新的待修正参数。因此,在自由边界条件下进行模型修正之后,在固支边界条件下的待修正参数就减少了,从而使欠定问题变成适定或者超定问题,令模型修正的结果更加精确。

    一种用于制备复合材料褶皱夹芯结构的组装模具

    公开(公告)号:CN104708837A

    公开(公告)日:2015-06-17

    申请号:CN201510154891.0

    申请日:2015-04-02

    CPC classification number: B29C33/00

    Abstract: 一种用于制备复合材料褶皱夹芯结构的组装模具,它涉及一种组装模具。本发明目的是为解决现有使用的模具中由于模块位置活动易变使其制备复合材料褶皱夹芯结构误差大,同时由于模具结构不能拆分使其易将预浸布撕裂造成浪费,成品率低的问题。本发明包括下桥和多个上桥,下桥包括支座板和多个下嵌条体,多个下嵌条体均位于支座板的上方,多个下嵌条体沿支座板的宽度方向依次排列与支座板固接制为一体,每个下嵌条体与支座板的长度方向垂直设置,每两个下嵌条体之间形成嵌入槽,每个嵌入槽内设有一个上桥。本发明操作方便且可实现预浸布分段放置,使制备出的复合材料褶皱夹芯结构中单胞统一,尺寸精准。本发明用于制备复合材料褶皱夹芯结构。

    沉积反应基团的多光谱综合监测装置及方法

    公开(公告)号:CN118130375A

    公开(公告)日:2024-06-04

    申请号:CN202410220231.7

    申请日:2024-02-28

    Abstract: 本发明属于等离子体光谱诊断测试领域,具体涉及沉积反应基团的多光谱综合监测装置及方法。将光谱监测装置进行组装与调试;开启机械泵,对PECVD腔室进行抽真空处理;通过气路向PECVD腔室内供入沉积气体SiH4/He,并开启射频电源,电子获得能量,与沉积气体发生碰撞产生活性粒子,沉积到硅基样片表面完镀膜;关闭射频电源;硅基样片在等离子体作用下已经在PECVD腔室完成镀膜沉积后,将其转移至成分监测腔室,以进行薄膜成分分析;空心阴极发射电子轰击已沉积的硅基样片,使用光纤探头监测硅基样品表面发光区域;将监测到的进入光谱仪分光后由探测器成像,由工控机读出数据。实现光谱监测方法对等离子增强化学气相沉积工艺中非晶氢化硅薄膜组分的监测。

    等离子体推进器在轨状态的近场羽流成像监测方法

    公开(公告)号:CN118067399A

    公开(公告)日:2024-05-24

    申请号:CN202410471353.3

    申请日:2024-04-19

    Abstract: 本发明属于航天等离子体推进技术领域,提供一种等离子体推进器在轨状态的近场羽流成像监测方法。S1:在地面和在轨条件分别为同一型号的等离子体推进器搭建近场羽流的成像监测装置;S2:在地面条件下启动等离子体推进器,根据不同的工况调节各项参数,拍摄近场羽流的成像照片;S3:基于S2中的不同工况参数和近场羽流的成像照片进行拟合,建立二者映射的数据库;S4:当在轨的等离子体推进器运行时,在近场羽流稳定时拍摄近场羽流的成像照片;S5:将在轨拍摄的近场羽流的成像照片与地面拍摄的近场羽流的成像照片进行比对,判断在轨的等离子体推进器所处状况。本发明监测近场羽流能够帮助预测并解决等离子体推进器可能出现的故障。

    一种氟碳化合物等离子体基团空间分布监测装置及方法

    公开(公告)号:CN117423600B

    公开(公告)日:2024-04-23

    申请号:CN202311743393.0

    申请日:2023-12-19

    Abstract: 一种氟碳化合物等离子体基团空间分布监测装置及方法,涉及半导体工业等离子体光谱诊断测试技术领域,装置包括:包括真空腔室、光纤阵列、凸透镜、凹透镜、分光棱镜、两个反应镜、三个滤波片以及三个工业相机;所述光纤阵列、凸透镜、凹透镜以及分光棱镜同轴设置,所述光纤阵列的探测方向垂直于所述真空腔室内的等离子区域;两个所述反应镜分别设置于所述分光棱镜的两侧,第一反应镜、第一滤波片、第一工业相机同轴设置,所述分光棱镜、第二滤波片、第二工业相机同轴设置,第二反应镜、第三滤波片、第三工业相机同轴设置;该装置及方法可以同时获得氟碳化合物等离子体基团在等离子体区域空间位置的绝对浓度,具有原位、同时性、无侵扰的特点。

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