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公开(公告)号：CN102564409A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201210043146.5
申请日：2012-02-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 电磁驱动框架结构的转子式微机械陀螺，包括径向充磁的微陀螺金属圆盘转子和微陀螺定子，微陀螺金属圆盘转子位于微陀螺金属圆盘转子内部中心位置，还包括上十字支撑框架、下十字支撑框架，多个线圈、八个压电结构、第一轴、第二轴、第一轴承和第二轴承，微陀螺金属圆盘转子位于上、下十字框架的中心位置，第一轴和第二轴分别位于微陀螺金属圆盘转子上下面的圆心位置处，第一轴与上十字支撑框架的中心位置一体化连接，第二轴与下十字支撑框架的中心位置一体化连接，第一轴、第一轴承和微陀螺金属圆盘转子的圆心为同心。本发明具有结构简单、易于装配和可靠性高的特点，同时本发明体积小、成本低、灵敏度高和易于实现。
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公开(公告)号：CN100425993C
公开(公告)日：2008-10-15
申请号：CN200610009668.8
申请日：2006-01-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明提供的是一种框架结构差分电容式加速度传感器。在硅片的背面刻蚀有键合所需的台面，玻璃基片与键合所需的台面键合形成键合块，硅片的正面刻蚀有传感器的弹性梁、质量块、固定电极图形和活动电极图形，质量块是框架形状，键合块包括上、下、左、右和中间5个键合块，上下键合块上连接弹性梁，框架形状质量块连在两弹性梁之间，左右键合块的内侧和中间键合块的两侧带有固定电极，框架形状质量块上带有与固定电极相配合的活动电极。上下键合块以及与固定电极连接的各键合块通过静电键合被固定在玻璃基片上。本发明的优点在于传感器尺寸小、静态电容大，质量轻，无横向即非敏感方向干扰，结构简单，易于加工等。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1804636A
公开(公告)日：2006-07-19
申请号：CN200610009668.8
申请日：2006-01-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01P15/125
Abstract: 本发明提供的是一种框架结构差分电容式加速度传感器。一种框架结构差分电容式加速度传感器，在硅片的背面刻蚀有键合所需的台面，玻璃基片与键合所需的台面键合形成固定块，硅的正面刻蚀有传感器的弹性梁、质量块、固定和活动电极图形，质量块是框架形状，键合块包括上、下、左、右和内部5个键合块，上下键合块上连接弹性梁，框架形状质量块连在两弹性梁之间，左右键合块的内侧和中间键合块的两侧带有固定电极，框架形状质量块上带有与固定电极相配合的活动电极。上下键合块以及与固定电极连接的各键合块通过静电键合被固定在玻璃基片上。本发明的优点在于传感器尺寸小、静态电容大，质量轻，无横向即非敏感方向干扰，结构简单，易于加工等。
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公开(公告)号：CN102564408A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201110416965.5
申请日：2011-11-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于纳米超疏油效应的液浮转子式微陀螺，包括上盖片、下盖片、内壁采用超亲油材料的密封腔体，能够牢固的吸附在密封腔腔体内壁上的汽化温度在120℃以上的油，由永磁性材料制成并且表面经过纳米超疏油处理过的转子和4个缠绕有驱动线圈的电磁驱动定子，4个定子上缠绕的驱动线圈匝数完全相同，转子位于密封腔体内部，腔体与转子之间充满油，转子表面由于纳米超疏油效应吸附有气体薄膜，转子为中空圆柱形结构，转子悬浮于液体油中，电磁驱动定子采用硅钢片卡在密封腔体的外侧，密封腔体采用非磁性材料，上下盖片与腔体通过键合或者粘接密封。本发明的优点在于制备工艺简单，转子的运动速度快，稳定性高，相对于振动式陀螺具有较高的精度。
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公开(公告)号：CN101788293A
公开(公告)日：2010-07-28
申请号：CN201010100370.4
申请日：2010-01-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供的是一种基于超疏水效应的液浮转子式微陀螺。它包括内壁表面具有超亲水效应的密封腔，腔内充满高纯去离子水，高纯去离子水中间悬浮着表面具有疏水效应的圆形磁性转子，在密封腔外部安装定子和检测电极，定子产生磁驱动信号驱动磁性转子在密封腔内高速旋转，检测电极可以检测出转子高速旋转时由外加角速度所产生的偏转角。由于超疏水效应使得转子表面形成一层气膜在高纯去离子水中悬浮，大大降低转子高速旋转时的阻力，提高微陀螺的灵敏度及精度。本发明的优点在于传感器转子旋转阻力小、稳定性高、灵敏度高、易于加工等。
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公开(公告)号：CN102564409B
公开(公告)日：2014-10-22
申请号：CN201210043146.5
申请日：2012-02-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 电磁驱动框架结构的转子式微机械陀螺，包括径向充磁的微陀螺金属圆盘转子和微陀螺定子，微陀螺金属圆盘转子位于微陀螺金属圆盘转子内部中心位置，还包括上十字支撑框架、下十字支撑框架，多个线圈、八个压电结构、第一轴、第二轴、第一轴承和第二轴承，微陀螺金属圆盘转子位于上、下十字框架的中心位置，第一轴和第二轴分别位于微陀螺金属圆盘转子上下面的圆心位置处，第一轴与上十字支撑框架的中心位置一体化连接，第二轴与下十字支撑框架的中心位置一体化连接，第一轴、第一轴承和微陀螺金属圆盘转子的圆心为同心。本发明具有结构简单、易于装配和可靠性高的特点，同时本发明体积小、成本低、灵敏度高和易于实现。
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公开(公告)号：CN101788293B
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN201010100370.4
申请日：2010-01-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供的是一种基于超疏水效应的液浮转子式微陀螺。它包括内壁表面具有超亲水效应的密封腔，腔内充满高纯去离子水，高纯去离子水中间悬浮着表面具有疏水效应的圆形磁性转子，在密封腔外部安装定子和检测电极，定子产生磁驱动信号驱动磁性转子在密封腔内高速旋转，检测电极可以检测出转子高速旋转时由外加角速度所产生的偏转角。由于超疏水效应使得转子表面形成一层气膜在高纯去离子水中悬浮，大大降低转子高速旋转时的阻力，提高微陀螺的灵敏度及精度。本发明的优点在于传感器转子旋转阻力小、稳定性高、灵敏度高、易于加工等。
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