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公开(公告)号：CN108648833B
公开(公告)日：2019-05-17
申请号：CN201810448702.4
申请日：2018-05-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种可实现微球任意角度翻转的装置及操作方法，所述装置包括基座以及位于基座上的可转动二维滑台系统、一维滑台系统、主CCD图像传感器系统和副CCD图像传感器系统，所述可转动二维滑台系统由Y方向滑台A、Z方向滑台、六自由度快速安装夹具A、定位片A、气筒A、转台、转台电机组成；所述一维滑台系统由Y方向滑台B、安装板、六自由度快速安装夹具B、定位片B、气筒B组成；所述主CCD图像传感器系统由CCD图像传感器A和安装支架A组成；所述副CCD图像传感器系统由CCD图像传感器B和安装支架B组成。本发明在对微球进行全表面加工和检测时能实现微球精确翻转任意角度，并确保微球的空间重复定位精度及效率。
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公开(公告)号：CN105758343B
公开(公告)日：2018-06-26
申请号：CN201610145389.8
申请日：2016-03-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/27
Abstract: 基于双标准球的主轴回转中心标定装置及方法。机床上有X轴导轨和Z轴导轨，C轴有安有3R夹具的矩形支撑座和吸有标准球一的真空吸盘，过渡件与3R夹具和标准球二连接；测量传感器固定件在Y轴升降台前且安有白光共焦位移传感器。调节标准球一位置，驱动C轴和白光共焦位移传感器，对准标准球一球冠位置，记录位置PR(x,y)，设为标准球一回转中心位置；将3R夹具和标准球二安在支撑座上，执行标准球二球冠顶点扫描，调整白光共焦位移传感器位置，使得白光共焦位移传感器对准标准球二的球冠位置，记录位置PS(x,y)，设为标准球二参考中心位置；做差得到ΔP。本发明保障了在位检测装置的使用寿命并避免了加工过程中的机械部件干涉问题。
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公开(公告)号：CN102353691A
公开(公告)日：2012-02-15
申请号：CN201110171726.8
申请日：2011-06-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于半球型前置反射器的多光谱发射率在线测量装置及方法，涉及一种光谱发射率在线测量装置及方法。它解决了现有光谱发射率在线测量方法的检测精度较低、易对被测材料造成破坏的问题。本发明的半球型前置反射器的侧壁底部与导轨滑动连接；光学瞄准探头悬挂在待测试件的正上方，且其探测面面向待测试件的上表面；多光谱仪的信号输入端通过光纤与光学瞄准探头的信号输出端连接。本发明的通过半球型前置反射器和光纤式多光谱仪实现发射率在线测量，无需破坏待测试件表面而实现了非接触在线测量，测量结果精度高。本发明适用于测量物体的发射率。
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公开(公告)号：CN108648833A
公开(公告)日：2018-10-12
申请号：CN201810448702.4
申请日：2018-05-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种可实现微球任意角度翻转的装置及操作方法，所述装置包括基座以及位于基座上的可转动二维滑台系统、一维滑台系统、主CCD图像传感器系统和副CCD图像传感器系统，所述可转动二维滑台系统由Y方向滑台A、Z方向滑台、六自由度快速安装夹具A、定位片A、气筒A、转台、转台电机组成；所述一维滑台系统由Y方向滑台B、安装板、六自由度快速安装夹具B、定位片B、气筒B组成；所述主CCD图像传感器系统由CCD图像传感器A和安装支架A组成；所述副CCD图像传感器系统由CCD图像传感器B和安装支架B组成。本发明在对微球进行全表面加工和检测时能实现微球精确翻转任意角度，并确保微球的空间重复定位精度及效率。
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公开(公告)号：CN108253893B
公开(公告)日：2018-10-12
申请号：CN201810064688.8
申请日：2018-01-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 一种大量程高精度微接触力位移测量装置及其控制方法，涉及一种高精度位移检测装置及控制方法。音圈电机的动子与气浮导轨移动部件一端连接，音圈电机的定子与气浮导轨基座连接，气浮导轨基座右上端设有中空腔，气浮导轨移动部件滑动设置在气浮导轨基座的中空腔内，光栅尺与气浮导轨移动部件连接，读数头与气浮导轨基座连接；压电陶瓷执行器首端与气浮导轨移动部件另一端连接，压电陶瓷执行器末端与微力传感探针连接，辅助监控显微镜与压电陶瓷执行器的固定基座连接。本发明用于大量程高精度微接触力位移测量，可对毫米尺度精密零件及装配体的尺寸及形状精度等几何量进行纳米精度的无损测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108253893A
公开(公告)日：2018-07-06
申请号：CN201810064688.8
申请日：2018-01-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/02
Abstract: 一种大量程高精度微接触力位移测量装置及其控制方法，涉及一种高精度位移检测装置及控制方法。音圈电机的动子与气浮导轨移动部件一端连接，音圈电机的定子与气浮导轨基座连接，气浮导轨基座右上端设有中空腔，气浮导轨移动部件滑动设置在气浮导轨基座的中空腔内，光栅尺与气浮导轨移动部件连接，读数头与气浮导轨基座连接；压电陶瓷执行器首端与气浮导轨移动部件另一端连接，压电陶瓷执行器末端与微力传感探针连接，辅助监控显微镜与压电陶瓷执行器的固定基座连接。本发明用于大量程高精度微接触力位移测量，可对毫米尺度精密零件及装配体的尺寸及形状精度等几何量进行纳米精度的无损测量。
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公开(公告)号：CN108534674B
公开(公告)日：2019-05-24
申请号：CN201810349361.5
申请日：2018-04-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种ICF靶装配参数测量多自由度精密运动平台装置，所述装置包括ICF靶参数测量三维平动系统、ICF靶参数三维监控系统、ICF靶姿态双回转精密调整系统以及承载上述三个系统的隔振平台四部分，其中：所述ICF靶参数测量三维平动系统、ICF靶参数三维监控系统、ICF靶姿态双回转精密调整系统以品字形布局安装在隔振平台上面。本发明通过与高精度气浮导轨、气浮轴系相结合，结构优化集成，实现ICF靶空间姿态高精度调整，设计的具有输出靶坐标参数能力的运动平台，配合其他项目完成整体上的靶空间姿态的精密调整与控制，能够实现对微球、微圆柱、ICF靶装配参数的尺寸和形状精度等几何量的测量。
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公开(公告)号：CN108534674A
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201810349361.5
申请日：2018-04-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种ICF靶装配参数测量多自由度精密运动平台装置，所述装置包括ICF靶参数测量三维平动系统、ICF靶参数三维监控系统、ICF靶姿态双回转精密调整系统以及承载上述三个系统的隔振平台四部分，其中：所述ICF靶参数测量三维平动系统、ICF靶参数三维监控系统、ICF靶姿态双回转精密调整系统以品字形布局安装在隔振平台上面。本发明通过与高精度气浮导轨、气浮轴系相结合，结构优化集成，实现ICF靶空间姿态高精度调整，设计的具有输出靶坐标参数能力的运动平台，配合其他项目完成整体上的靶空间姿态的精密调整与控制，能够实现对微球、微圆柱、ICF靶装配参数的尺寸和形状精度等几何量的测量。
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公开(公告)号：CN102252755A
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN201110171762.4
申请日：2011-06-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01J3/28
Abstract: 基于圆筒型前置反射器的多光谱发射率在线测量装置及方法，涉及一种光谱发射率在线测量装置及方法。它解决了现有光谱发射率在线测量方法的检测精度较低、易对被测材料造成破坏的问题。本发明的圆筒型前置反射器的侧壁底部与导轨滑动连接；光学瞄准探头悬挂在待测试件的正上方，且其探测面面向待测试件的上表面；多光谱仪的信号输入端通过光纤与光学瞄准探头的信号输出端连接。本发明的通过圆筒型前置反射器和光纤式多光谱仪实现发射率在线测量，无需破坏待测试件表面而实现了非接触在线测量，测量结果精度高。本发明适用于测量物体的发射率。
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公开(公告)号：CN105698679B
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201610145388.3
申请日：2016-03-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 适用于超精密机床加工零件的非接触在位检测装置及方法。机床上有与主轴连接的X轴导轨和与Y轴升降台连接的Z轴导轨，主轴有安有3R快换夹具的支撑座和吸有标准球一的真空吸盘，过渡件与3R快换夹具和标准球二连接；测量传感器固定件设在Y轴升降台前且有测量传感器。主轴上固定有工件，将在位检测机构安在Z轴导轨上，将3R快速夹具固定于主轴上；驱动主轴及Y轴升降台，对标准球二执行球冠顶点扫描操作，找到标准球二的位置P2(x,y)；驱动主轴和Y轴升降台，找出ΔP进行二维截面或三维模式检测，系统处理后得到测量结果。本发明可实现位移传感器在高度方向上的精密调节，具备实现多种球面典型的特征结构的三维表面重构的能力。
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