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公开(公告)号：CN113913877B
公开(公告)日：2022-08-09
申请号：CN202111193036.2
申请日：2021-10-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 大尺寸薄壁X射线聚焦镜复制方法，属于X射线聚焦镜加工技术领域。该复制方法；用于保证大批量复制工艺的一致性，提高生产效率。包括以下步骤：S1.调试脱模装置；安装带有镜壳的芯轴模具，并调试脱模装置；S2.注入高纯氮气；向脱模装置的密封罩内注入氮气；S3.注入液氮；向芯轴模具内部注入液氮；S4.监测传感器示数；此过程中注意监测力传感器、热电偶仪表、环境温度、湿度的显示值，并做好记录；S5.开始脱模；通过脱模装置将镜片从芯轴模具上脱离下来；S6.吊取镜片；通过升调装置吊取镜片；S7.卸芯轴。本发明只需要垂直轴的运动即可满足复制过程的需求，避免了复杂的运动控制，可实现自动化控制，节省人力，提高整体复制效率，实现批量复制。
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公开(公告)号：CN113936839B
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202111194438.4
申请日：2021-10-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G21K1/06 , G01N23/2273
Abstract: 多层嵌套X射线聚焦镜主动力控制快速装调方法，属于X射线聚焦镜加工技术领域。该装调方法用于保证多层嵌套镜片装配工艺的一致性，确保大尺寸超薄镜片低变形的同时提高装调效率。包括以下步骤：S1.取来待装调的镜筒；S2.悬吊镜筒；通过装调装置的吊装盘组件悬吊镜筒；S3.调整镜筒位姿：由装调装置的吊装盘组件实现；S4.调整轮毂位姿：由装调装置的轮毂调节组件实现；S5.安装调准遮光光阑；S6.镜筒入槽；S7.调整相机位置，测试焦前焦后光斑，确认聚焦镜片指向对齐；S8.计算聚焦镜焦距，调整镜筒入槽深度；S9.点胶固化镜筒；S10.装调下一个镜筒。本发明可实现自动化控制，同时避免了人为操作引入的不规范性。
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公开(公告)号：CN113832505A
公开(公告)日：2021-12-24
申请号：CN202111193072.9
申请日：2021-10-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 大尺寸薄壁X射线聚焦镜自动化复制装置，属于X射线聚焦镜加工技术领域。该复制装置，极大程度的保证了复制过程工艺的一致性和可控性，大大缩短聚焦镜片的生产周期，提高复制的效率，节省人力成本，同时可根据不同尺寸聚焦镜片的复制需求，进行灵活的调整，具备高适应性。分离机构、夹持机构和密封罩均安装在基座上，芯轴模具安装在夹持机构上，分离机构用于分离芯轴模具上的镜片，密封罩罩设在芯轴模具、分离机构、夹持机构上使三者处于密封环境，并由液氮循环装置向芯轴模具注入液氮以及向密封罩内注入氮气，方便镜壳的脱离。应用本发明专利，只需要垂直轴的运动即可满足复制过程的需求，避免了复杂的运动控制，实现批量复制。
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公开(公告)号：CN113884023B
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202111194457.7
申请日：2021-10-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24 , G01B9/02 , G01B9/02055
Abstract: WolterI型X射线聚焦镜内壁高精度检测装置，属于X射线聚焦镜内壁非接触检测技术领域。该检测装置用于保证大批量镜片内壁的检测精度，确保大尺寸超薄镜片低变形的同时提高检测效率。所述主动吊装装置通过支架支撑，用于吊起镜筒，所述测量装置用于测量镜筒的圆度误差和轮廓误差，测量装置安装在高精度气浮主轴上，由高精度气浮主轴带动其旋转测量，所述高精度气浮主轴安装在XY平移台上，所述XY平移台安装在支架上。本发明针对现有的通用测量仪器无法对WolterI型X射线聚焦镜内壁的面形精度进行直接检测，可实现镜片内壁轴向和圆周方向的轮廓测量，保证了检测过程中镜片的低变形、高精度，提高了检测效率，达到了降本增效的效果。
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公开(公告)号：CN113832505B
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202111193072.9
申请日：2021-10-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 大尺寸薄壁X射线聚焦镜自动化复制装置，属于X射线聚焦镜加工技术领域。该复制装置，极大程度的保证了复制过程工艺的一致性和可控性，大大缩短聚焦镜片的生产周期，提高复制的效率，节省人力成本，同时可根据不同尺寸聚焦镜片的复制需求，进行灵活的调整，具备高适应性。分离机构、夹持机构和密封罩均安装在基座上，芯轴模具安装在夹持机构上，分离机构用于分离芯轴模具上的镜片，密封罩罩设在芯轴模具、分离机构、夹持机构上使三者处于密封环境，并由液氮循环装置向芯轴模具注入液氮以及向密封罩内注入氮气，方便镜壳的脱离。应用本发明专利，只需要垂直轴的运动即可满足复制过程的需求，避免了复杂的运动控制，实现批量复制。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113936839A
公开(公告)日：2022-01-14
申请号：CN202111194438.4
申请日：2021-10-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G21K1/06 , G01N23/2273
Abstract: 多层嵌套X射线聚焦镜主动力控制快速装调方法，属于X射线聚焦镜加工技术领域。该装调方法用于保证多层嵌套镜片装配工艺的一致性，确保大尺寸超薄镜片低变形的同时提高装调效率。包括以下步骤：S1.取来待装调的镜筒；S2.悬吊镜筒；通过装调装置的吊装盘组件悬吊镜筒；S3.调整镜筒位姿：由装调装置的吊装盘组件实现；S4.调整轮毂位姿：由装调装置的轮毂调节组件实现；S5.安装调准遮光光阑；S6.镜筒入槽；S7.调整相机位置，测试焦前焦后光斑，确认聚焦镜片指向对齐；S8.计算聚焦镜焦距，调整镜筒入槽深度；S9.点胶固化镜筒；S10.装调下一个镜筒。本发明可实现自动化控制，同时避免了人为操作引入的不规范性。
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公开(公告)号：CN113884023A
公开(公告)日：2022-01-04
申请号：CN202111194457.7
申请日：2021-10-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: WolterI型X射线聚焦镜内壁高精度检测装置，属于X射线聚焦镜内壁非接触检测技术领域。该检测装置用于保证大批量镜片内壁的检测精度，确保大尺寸超薄镜片低变形的同时提高检测效率。所述主动吊装装置通过支架支撑，用于吊起镜筒，所述测量装置用于侧面镜筒的圆度误差和轮廓误差，测量装置安装在高精度气浮主轴上，由高精度气浮主轴带动其旋转测量，所述高精度气浮主轴安装在XY平移台上，所述XY平移台安装在支架上。本发明针对现有的通用测量仪器无法对WolterI型X射线聚焦镜内壁的面形精度进行直接检测，可实现镜片内壁轴向和圆周方向的轮廓测量，保证了检测过程中镜片的低变形、高精度，提高了检测效率，达到了降本增效的效果。
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公开(公告)号：CN113878537B
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN202111194455.8
申请日：2021-10-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 多层嵌套X射线聚焦镜主动力控制装调装置，属于X射线聚焦镜加工技术领域。该装调装置用于保证大批量装配的一致性，确保大尺寸超薄镜片低变形的同时提高装调效率。吊装盘组件、轮毂调节组件和光源组件从上到下依次安装在支架上，相机调节组件设置在吊装盘组件的正上方，吊装盘组件用于将镜筒吊装在相机调节组件和轮毂调节组件之间，光源组件发出的平行光经轮毂调节组件筛选后，经镜筒反射后聚焦于相机调节组件的相机成像平面上，根据相机所形成的光斑位置调节镜筒或者轮毂调节组件的轮毂。本发明避免了人为操作引入的不规范性，实现了装调的一致性和可靠性，保证了装配过程中镜片的低变形，节省人力，提高整体装调效率。
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公开(公告)号：CN113847886B
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN202111193022.0
申请日：2021-10-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24 , G01B9/02015
Abstract: WolterI型X射线聚焦镜内壁高精度检测方法，属于X射线聚焦镜内壁非接触检测技术领域。包括以下步骤：S5.用激光自准直仪确定镜筒主轴回转和垂直轴的偏心量、记录；S6.调整X位移台、长距离干涉测头和聚焦型短距离干涉测头到合适的位置，使其处于有效工作范围内；S7.控制高精度气浮主轴带动长距离干涉测头和聚焦型短距离干涉测头旋转一周，测量此处截面圆度；S8.移动升降导轨，根据需要测量多个截面圆度；S9.实时调整X位移台位置，通过控制升降导轨测量母线精度；S10.控制高精度气浮主轴旋转到一定角度，测量多条母线精度；S11.分析测量数据，得到镜筒内壁的面形精度。本发明可实现镜片内壁轴向和圆周方向的轮廓测量。
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公开(公告)号：CN113913877A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111193036.2
申请日：2021-10-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 大尺寸薄壁X射线聚焦镜复制方法，属于X射线聚焦镜加工技术领域。该复制方法；用于保证大批量复制工艺的一致性，提高生产效率。包括以下步骤：S1.调试脱模装置；安装带有镜壳的芯轴模具，并调试脱模装置；S2.注入高纯氮气；向脱模装置的密封罩内注入氮气；S3.注入液氮；向芯轴模具内部注入液氮；S4.监测传感器示数；此过程中注意监测力传感器、热电偶仪表、环境温度、湿度的显示值，并做好记录；S5.开始脱模；通过脱模装置将镜片从芯轴模具上脱离下来；S6.吊取镜片；通过升调装置吊取镜片；S7.卸芯轴。本发明只需要垂直轴的运动即可满足复制过程的需求，避免了复杂的运动控制，可实现自动化控制，节省人力，提高整体复制效率，实现批量复制。
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