大尺寸薄壁X射线聚焦镜复制方法

    公开(公告)号:CN113913877A

    公开(公告)日:2022-01-11

    申请号:CN202111193036.2

    申请日:2021-10-13

    Abstract: 大尺寸薄壁X射线聚焦镜复制方法,属于X射线聚焦镜加工技术领域。该复制方法;用于保证大批量复制工艺的一致性,提高生产效率。包括以下步骤:S1.调试脱模装置;安装带有镜壳的芯轴模具,并调试脱模装置;S2.注入高纯氮气;向脱模装置的密封罩内注入氮气;S3.注入液氮;向芯轴模具内部注入液氮;S4.监测传感器示数;此过程中注意监测力传感器、热电偶仪表、环境温度、湿度的显示值,并做好记录;S5.开始脱模;通过脱模装置将镜片从芯轴模具上脱离下来;S6.吊取镜片;通过升调装置吊取镜片;S7.卸芯轴。本发明只需要垂直轴的运动即可满足复制过程的需求,避免了复杂的运动控制,可实现自动化控制,节省人力,提高整体复制效率,实现批量复制。

    大尺寸薄壁X射线聚焦镜复制方法

    公开(公告)号:CN113913877B

    公开(公告)日:2022-08-09

    申请号:CN202111193036.2

    申请日:2021-10-13

    Abstract: 大尺寸薄壁X射线聚焦镜复制方法,属于X射线聚焦镜加工技术领域。该复制方法;用于保证大批量复制工艺的一致性,提高生产效率。包括以下步骤:S1.调试脱模装置;安装带有镜壳的芯轴模具,并调试脱模装置;S2.注入高纯氮气;向脱模装置的密封罩内注入氮气;S3.注入液氮;向芯轴模具内部注入液氮;S4.监测传感器示数;此过程中注意监测力传感器、热电偶仪表、环境温度、湿度的显示值,并做好记录;S5.开始脱模;通过脱模装置将镜片从芯轴模具上脱离下来;S6.吊取镜片;通过升调装置吊取镜片;S7.卸芯轴。本发明只需要垂直轴的运动即可满足复制过程的需求,避免了复杂的运动控制,可实现自动化控制,节省人力,提高整体复制效率,实现批量复制。

    大尺寸薄壁X射线聚焦镜自动化复制装置

    公开(公告)号:CN113832505B

    公开(公告)日:2022-04-08

    申请号:CN202111193072.9

    申请日:2021-10-13

    Abstract: 大尺寸薄壁X射线聚焦镜自动化复制装置,属于X射线聚焦镜加工技术领域。该复制装置,极大程度的保证了复制过程工艺的一致性和可控性,大大缩短聚焦镜片的生产周期,提高复制的效率,节省人力成本,同时可根据不同尺寸聚焦镜片的复制需求,进行灵活的调整,具备高适应性。分离机构、夹持机构和密封罩均安装在基座上,芯轴模具安装在夹持机构上,分离机构用于分离芯轴模具上的镜片,密封罩罩设在芯轴模具、分离机构、夹持机构上使三者处于密封环境,并由液氮循环装置向芯轴模具注入液氮以及向密封罩内注入氮气,方便镜壳的脱离。应用本发明专利,只需要垂直轴的运动即可满足复制过程的需求,避免了复杂的运动控制,实现批量复制。

    一种减小辊筒模具超精密机床加工微结构闭合误差的方法

    公开(公告)号:CN108334027A

    公开(公告)日:2018-07-27

    申请号:CN201810074312.5

    申请日:2018-01-25

    Abstract: 本发明公开了一种减小辊筒模具超精密机床加工微结构闭合误差的方法,所述方法步骤如下:一、分析超精密机床加工过程中温度变化造成的影响,当温度变化引起辊筒尺寸变化的范围在微米量级,同时要求的辊筒模具微结构闭合节距误差非常小时,则通过对加工程序进行优化以减小微结构闭合节距误差;二、根据加工的辊筒模具直径尺寸与微结构数目及温度变化范围选定多分法需要分区的数目;三、根据步骤二选定的分割次数计算有/无余数时各微结构的角度位置,写出其通项公式并对余数进行处理;四、根据步骤三中计算得到的微结构空间角度分布编写加工程序,实现多分法加工。本发明对提高微结构辊筒模具加工质量、制造超大尺寸光学转印膜片等具有重要意义。

    大尺寸薄壁X射线聚焦镜自动化复制装置

    公开(公告)号:CN113832505A

    公开(公告)日:2021-12-24

    申请号:CN202111193072.9

    申请日:2021-10-13

    Abstract: 大尺寸薄壁X射线聚焦镜自动化复制装置,属于X射线聚焦镜加工技术领域。该复制装置,极大程度的保证了复制过程工艺的一致性和可控性,大大缩短聚焦镜片的生产周期,提高复制的效率,节省人力成本,同时可根据不同尺寸聚焦镜片的复制需求,进行灵活的调整,具备高适应性。分离机构、夹持机构和密封罩均安装在基座上,芯轴模具安装在夹持机构上,分离机构用于分离芯轴模具上的镜片,密封罩罩设在芯轴模具、分离机构、夹持机构上使三者处于密封环境,并由液氮循环装置向芯轴模具注入液氮以及向密封罩内注入氮气,方便镜壳的脱离。应用本发明专利,只需要垂直轴的运动即可满足复制过程的需求,避免了复杂的运动控制,实现批量复制。

    一种减小辊筒模具超精密机床加工微结构闭合误差的方法

    公开(公告)号:CN108334027B

    公开(公告)日:2020-11-24

    申请号:CN201810074312.5

    申请日:2018-01-25

    Abstract: 本发明公开了一种减小辊筒模具超精密机床加工微结构闭合误差的方法,所述方法步骤如下:一、分析超精密机床加工过程中温度变化造成的影响,当温度变化引起辊筒尺寸变化的范围在微米量级,同时要求的辊筒模具微结构闭合节距误差非常小时,则通过对加工程序进行优化以减小微结构闭合节距误差;二、根据加工的辊筒模具直径尺寸与微结构数目及温度变化范围选定多分法需要分区的数目;三、根据步骤二选定的分割次数计算有/无余数时各微结构的角度位置,写出其通项公式并对余数进行处理;四、根据步骤三中计算得到的微结构空间角度分布编写加工程序,实现多分法加工。本发明对提高微结构辊筒模具加工质量、制造超大尺寸光学转印膜片等具有重要意义。

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