制备全彩化Micro-LED显示器件的多色量子点电泳沉积系统及应用

    公开(公告)号:CN117210907A

    公开(公告)日:2023-12-12

    申请号:CN202311157655.5

    申请日:2023-09-08

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 本发明公开了一种制备全彩化Micro‑LED显示器件的多色量子点电泳沉积系统,包括溶液池,量子点溶液存储单元、气压控制单元、干燥气体单元、废液收集单元、电压集成分配控制单元和清洗喷淋单元;量子点溶液存储单元包括多个量子点溶液存储装置,电压集成分配控制单元包括位于正负电极之间的若干控制开关,各控制开关分别连接不同的待沉积区域线路,并通过控制开关切换待沉积区域线路的正负电压连接关系实现不同待沉积区域的量子点沉积。本发明还公开了基于上述多色量子点电泳沉积系统的全彩化Micro‑LED显示器件制备方法,颜色转换效率高、制备速度快、可实现大面积的量子点的沉积同时节约了时间成本,适合于大规模工业化生产,加快全彩化显示的进程。

    一种基于电泳沉积量子点制备全彩器件色转换层的方法

    公开(公告)号:CN116741897A

    公开(公告)日:2023-09-12

    申请号:CN202310717239.X

    申请日:2023-06-16

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于电泳沉积量子点制备全彩器件色转换层的方法,于透明基板上形成透明电极层,透明电极包括电极总条和若干间隔排列的电极指条,电极指条的末端与电极总条相连;于透明电极层上形成图案化绝缘层来于电极指条形成分隔的量子点待沉积区域,在量子点待沉积区域之间形成不透光导电金属层,然后通过电泳工艺使带电量子点选择性沉积于量子点待沉积区域中。本发明可实现快速大面积量子点的均匀选择性沉积,且通过电极连接吸附相反电性量子点沉积到预设图案化阵列区域,避免了表面残留,量子点图案可控,可靠性高,显示性能更佳。

    基于微流控和量子点光刻的Micro-LED全彩化显示器件制作方法

    公开(公告)号:CN115986036A

    公开(公告)日:2023-04-18

    申请号:CN202211441087.7

    申请日:2022-11-17

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于微流控技术和量子点配体工程光刻技术的Micro‑LED全彩化显示器件结构与制备方法,是通过将量子点溶液在衬底上的微通道中通入并沉积后,通过光刻技术实现基于量子点配体工程的色转换层的阵列化,再将其与下面的Micro‑LED芯片阵列,Micro‑LED驱动层和上面相应的彩色滤光片阵列一一对应,实现Micro‑LED全彩化发光器件的制备,突破了传统量子点光刻技术制备色转换层方法造成的原料利用率低和成本高、基于微流控技术的色转换层图案化设计方案中的制备过程复杂等问题。本发明制备工艺简单、原材料利用率高,提高色转换效率的同时保留了传统光刻技术高分辨率的特点。

    一种基于立体微腔阵列的量子点Micro-LED色转换层的制作方法

    公开(公告)号:CN117613170A

    公开(公告)日:2024-02-27

    申请号:CN202311599605.2

    申请日:2023-11-28

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 本发明公开了一种基于立体微腔阵列的量子点Micro‑LED色转换层的制作方法,在透明衬底上形成凹槽阵列,并在其上键合微流控盖板时,使得微流控通道和凹槽阵列错开一定比例对准键合实现了立体微腔阵列的构筑,通过微流体行为调控实现可控的量子点微液滴阵列,进一步制造不同量子点的独立阵列化沉积形成量子点色转换层,最终制备Micro‑LED全彩显示器件。本发明利用微通道内的立体微腔来捕获量子点溶液,使其在用非互溶流体吹出时较开口的微结构能够更稳定地保留更大体积的微液滴,待量子点溶剂挥发即可在立体微腔阵列结构内形成的量子点色转换层的阵列图案。本发明的方法可以适用于多种不同类型量子点的沉积,具有低成本、高通量、普适性的特点。

    一种厚度可控的量子点色转换层制备方法及其应用

    公开(公告)号:CN116364834A

    公开(公告)日:2023-06-30

    申请号:CN202310332573.3

    申请日:2023-03-31

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 本发明公开了一种厚度可控的量子点色转换层及Micro‑LED全彩化显示器件与制备方法,通过微流控芯片与带有阵列形貌结构的基底相结合,在微流控芯片的微通道内引入量子点溶液并沉积在微结构中后,去除沉积在阵列结构外部的多余量子点从而实现RGB量子点色转换层的制备,进而与Micro‑LED芯片键合后实现Micro‑LED全彩化显示器件的制备。本发明解决了当前微流控工艺制备量子点色转换层中易出现的气体油相等吹出量子点不可控现象且操作简单,成本低廉。改善了目前关于微流控制备量子点色转换层方法中相同浓度下沉积厚度有限的问题,在相同条件下有效增加了量子点沉积厚度,可以提高对光源的吸收,增加了色纯度,增强了转化效率,提升了Micro‑LED全彩显示器件的性能。

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