公开(公告)号：CN117393582A

公开(公告)日：2024-01-12

申请号：CN202311421209.0

申请日：2023-10-30

Applicant: 厦门大学

Inventor： 龙浩 ,  王凯凯 ,  陈书涛 ,  杜嵩

IPC: H01L29/06 ,  H01L29/872 ,  H01L21/34 ,  H01L29/24

Abstract: 本发明公开了一种具有TiO2插入层的β‑Ga2O3肖特基二极管及其制备方法。所述肖特基二极管包括设置于外延层与阳极金属电极之间经过热氧化Ti金属形成的TiO2层，该TiO2层的电子亲和势小于Ga2O3的电子亲和势，且介电常数为50‑100。本申请在外延层上生长Ti薄层后，热氧化该薄层以形成TiO2层，使得在金属和半导体之间引入一个TiO2层导致势垒高度降低。本申请在外延层上生长Ti薄层后，热氧化该薄层以形成TiO2层，使得在金属和半导体之间引入一个TiO2层，TiO2层具有合适的电子亲和势、较大的介电常数，可以显著提高肖特基二极管的击穿电压，使器件能够承受更高的反向电压，从而提高了器件的耐压特性。同时，TiO2层还维持了低导通电阻，使器件在导通状态下能够有效地传输电流。

公开(公告)号：CN213816077U

公开(公告)日：2021-07-27

申请号：CN202022758315.6

申请日：2020-11-25

Applicant: 厦门大学

Inventor： 王亚军 ,  王煜辉 ,  董继娅 ,  王凯凯 ,  符瑞 ,  梅家郡 ,  汤怡贺 ,  周贤 ,  范安琪 ,  林燕如 ,  周诗睿 ,  韩超 ,  赵春 ,  林英淼 ,  张静 ,  李宇宁 ,  李子辉 ,  詹璐瑞 ,  郭梓晔 ,  陈祥钧

IPC: H01L21/67 ,  H01L33/00

Abstract: 本实用新型提供了一种键合治具，包括底座和定位装置，所述底座上开设有凹槽，所述定位装置嵌设在所述凹槽内部，所述凹槽在所述底座表面上呈圆周分布，所述底座表面中心处放置有待键合的晶圆基底，若干所述凹槽内部的所述定位装置将晶圆基底固定，所述定位装置上与所述晶圆基底边缘接触的压板能够沿所述凹槽的中心线方向前后伸缩。本实用新型所述的一种键合治具是透过改善键合治具的挡边设计,来释放受键合的两基板在高温时承受挤压的状态,使得键合后片源的破片或破损情况。同时挡边的设计满足不同尺寸晶圆的键合，避免更换键合治具，结构设计合理，适用性较强。

公开(公告)号：CN214016820U

公开(公告)日：2021-08-24

申请号：CN202022758376.2

申请日：2020-11-25

Applicant: 厦门大学

Inventor： 王亚军 ,  梅家郡 ,  董继娅 ,  符瑞 ,  王煜辉 ,  王凯凯 ,  陈佳鸿 ,  王唯旭 ,  孙超彦 ,  杨淳婷 ,  刘雅茹贵 ,  钟艺雯 ,  雷巧 ,  蔡佳宁 ,  杨子欣 ,  李姝颖 ,  周婧 ,  魏丁洁 ,  蔡元方 ,  陈德馨

IPC: A47C19/12

Abstract: 本实用新型提供了一个便携且可折叠的床。通过在旋转杆支撑腿和连接杆之间安装一个三角形支撑板，增强了旋转支撑腿的力量；在有固定支撑腿的床架侧，装有一个宽度为床架两倍的固定板；在底部水平横杆和床架的外框之间，配有一个可折叠的弹簧。本实用新型结构简单，设计人性化，使用者可以很容易地在任何地方对床进行折叠操作。