一种基于氮化铜薄膜的集成电路板制造方法

    公开(公告)号:CN103596373A

    公开(公告)日:2014-02-19

    申请号:CN201310546250.0

    申请日:2013-11-07

    Abstract: 本发明是一种基于氮化铜薄膜的集成电路板制造方法,利用磁控溅射镀膜方法在基板上渡一层氮化铜薄膜,使用氮化铜薄膜充当刻蚀电路的介质层,在激光作用下氮化铜发生分解生成铜附着在基板上,使用溶剂清除基板上的氮化铜薄膜,即完成集成电路板的制作。本发明将氮化铜的这种低温热分解特性运用到集成电路板中,并且对集成电路板的制作工艺进行改良,制作出全新且无毒的基于氮化铜的集成电路板。

    一种基于掺杂铁酸铋的阻变存储器及其制备方法

    公开(公告)号:CN104078564A

    公开(公告)日:2014-10-01

    申请号:CN201410316306.8

    申请日:2014-07-04

    Abstract: 本发明属于信息存储技术领域,具体公开了一种基于掺杂铁酸铋的阻变存储器及其制备方法。所述存储器由衬底、底电极、阻变存储层和顶电极组成,器件单元为三明治结构,阻变存储层位于底电极和顶电极之间,阻变存储层采用掺杂铁酸铋。具体制备方法为,首先在衬底上用磁控溅射的方法沉积金属层作为底电极,然后在金属层上生长掺杂的铁酸铋薄膜,选用自制的掺杂铁酸铋的靶材,最后用磁控溅射的方法沉积形成顶电极,这样得到基于掺杂铁酸铋的阻变存储器。该阻变存储器性能稳定,制作成本低,结构简单,制造过程简单,对设备要求不高,易于大规模制造。

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