一种彩色共焦三维形貌测量方法与系统

    公开(公告)号:CN109373927A

    公开(公告)日:2019-02-22

    申请号:CN201811141205.6

    申请日:2018-09-28

    Applicant: 华侨大学

    Abstract: 本发明涉及彩色共焦三维形貌测量方法与系统,采用的是复色光源,通过轴向色散来获得波长颜色和位移的关系,可以避免轴向扫描带来的耗时问题,提高了测量速度;通过小孔滤除非焦平面的杂散信号,获取位于焦平面的锐利信号,具有很高的轴向分辨率;采用彩色相机作为数据接收端,一次拍照即可获取视场内被测物表面全部的高度信息,提高了测量速度,尤其适用于彩色共焦并行扫描系统。本发明的实施,仅需一次成像即可完成对被测物点的高度信息提取,结合二维位移系统提供的二维信息,获取被测物面的三维形貌特征。本发明将为物体表面三维形貌检测提供新的途径。

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