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公开(公告)号：CN115229647A
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202210853059.X
申请日：2022-07-20
Applicant: 华侨大学
IPC: B24B29/02 , B24B27/033 , B24B19/22 , B24B51/00 , B24B49/00 , B24B1/00 , B23K26/362
Abstract: 本发明公开了一种飞秒激光辅助抛光金刚石的装置及其抛光方法，它包括第一机台、第二机台和控制装置，第一机台能沿水平X轴移动，第二机台能沿形成正交体系的X、Y、Z轴移动并能绕Z轴转动，第一机台上设有用于装接金刚石工件的加装装置，第二机台上装接有测距传感器和飞秒激光烧蚀装置，第二机台上还装接有用于磨抛金刚石工件的磨抛砂轮，控制装置与该第一机台、第二机台、测距传感器及飞秒激光烧蚀装置信号连接并能控制该第一机台、第二机台在相应的自由度内动作以及与该测距传感器和飞秒激光烧蚀装置形成数据交互。该抛光方法包括金刚石表面平坦化过程和去石墨化过程。它具有如下优点：提高加工效率，提高加工质量。
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公开(公告)号：CN112692729A
公开(公告)日：2021-04-23
申请号：CN202011581818.9
申请日：2020-12-28
Applicant: 华侨大学
IPC: B24B41/06
Abstract: 本发明公开了用于自旋转磨抛机的单晶金刚石夹具及其装夹方法，夹具包括一本体、两滑块和两调节件；该本体顶壁具有基壁和相对基壁凸出设置的凸台，该凸台具有两朝向基壁且竖直布置的定位壁；该本体的基壁凹设有两通至本体侧壁的滑槽且两滑槽分别沿两定位壁布置；该滑块顶部水平凸伸有伸出部，该两滑块分别滑接在两滑槽且伸出部位于基壁上，该伸出部端面构成锁接壁，该两滑块的锁接壁和两定位壁分别面对布置；该两调节件分别连接两滑块和本体以通过调节件调节滑块沿滑槽滑动调节，通过两锁接壁和两定位壁夹紧粘接在基壁上的单晶金刚石。它具有如下优点：能夹紧小厚度之金刚石，能适配不同尺寸的金刚石，解决了金刚石衬底片难以装夹的问题。
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公开(公告)号：CN112676999A
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：CN202011609699.3
申请日：2020-12-30
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了金刚石磨抛一体化的加工设备及其加工方法，加工设备包括机架、基座装置和磨抛装置；该基座装置包括能沿Y轴进给的滑座和能绕Z轴转接在滑座上的基座，该基座上装设有能夹紧金刚石的夹具；该磨抛装置包括沿Z轴布置的主轴，该主轴上套装有内圈磨削砂轮和外圈抛光砂轮，该外圈抛光砂轮包围内圈磨削砂轮，通过主轴转动带动内圈磨削砂轮和外圈抛光砂轮一起转动，能调节内圈磨削砂轮和外圈抛光砂轮沿Z轴上下位置关系；通过内圈磨削砂轮和外圈抛光砂轮的转动、滑座的进给及基座的转动以磨抛夹具上的金刚石。它具有如下优点：将金刚石磨削抛光整合到一道工序中加工，金刚石表面划痕损伤少、表面质量均匀。
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公开(公告)号：CN115101455A
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN202210856973.X
申请日：2022-07-20
Applicant: 华侨大学
IPC: H01L21/67 , H01L21/683
Abstract: 本发明公开了一种金刚石晶片的贴片装置，他包括装接底座以及均装接在该装接底座上的带控制器的控制模块、旋转底座、第一垂直驱动机构、第二垂直驱动机构、衬底吸取机构、点胶机构、装膜机构及切膜机构；该旋转底座能相对装接底座水平转动，并用于放置至少一金刚石晶片；该衬底吸取机构用于吸取装接衬底；该点胶机构用于给金刚石晶片点胶；该装膜机构用于薄膜的缠绕安装；该切膜机构用于薄膜的切断。他具有如下优点：设计巧妙、操作方便，自动化程度高，可以实现多片金刚石晶片在一块衬底的贴合作业。
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公开(公告)号：CN115229647B
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202210853059.X
申请日：2022-07-20
Applicant: 华侨大学
IPC: B24B29/02 , B24B27/033 , B24B19/22 , B24B51/00 , B24B49/00 , B24B1/00 , B23K26/362
Abstract: 本发明公开了一种飞秒激光辅助抛光金刚石的装置及其抛光方法，它包括第一机台、第二机台和控制装置，第一机台能沿水平X轴移动，第二机台能沿形成正交体系的X、Y、Z轴移动并能绕Z轴转动，第一机台上设有用于装接金刚石工件的加装装置，第二机台上装接有测距传感器和飞秒激光烧蚀装置，第二机台上还装接有用于磨抛金刚石工件的磨抛砂轮，控制装置与该第一机台、第二机台、测距传感器及飞秒激光烧蚀装置信号连接并能控制该第一机台、第二机台在相应的自由度内动作以及与该测距传感器和飞秒激光烧蚀装置形成数据交互。该抛光方法包括金刚石表面平坦化过程和去石墨化过程。它具有如下优点：提高加工效率，提高加工质量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116000807A
公开(公告)日：2023-04-25
申请号：CN202211670628.3
申请日：2022-12-26
Applicant: 华侨大学
IPC: B24B41/06
Abstract: 本发明提供了一种用于自旋转磨抛机的多晶金刚石夹具，包括本体，所述本体上设置有具有螺纹孔的凸台，还包括：夹紧组件和调节组件，其中，所述夹紧组件包括第一夹板、第二夹板以及固定在所述本体上的固定板，所述第一夹板、第二夹板以及所述固定板围成用于放置多晶金刚石晶圆衬底片的装夹位；调节组件包括螺纹滑杆、调节件以及固定件；通过在本体上设置具有定位壁，边缘处有凸台，U形滑块与螺纹滑杆连接成一整体，通过螺纹滑杆带动U形滑块运动，来实现第一夹板和第二夹板的相对运动，进而夹紧多晶金刚石晶圆衬底片。本发明还提供了一种装夹方法。通过本发明方案，提高了夹具的装夹效果，简化了结构，且能实现精准控制。
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公开(公告)号：CN115101455B
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN202210856973.X
申请日：2022-07-20
Applicant: 华侨大学
IPC: H01L21/67 , H01L21/683
Abstract: 本发明公开了一种金刚石晶片的贴片装置，他包括装接底座以及均装接在该装接底座上的带控制器的控制模块、旋转底座、第一垂直驱动机构、第二垂直驱动机构、衬底吸取机构、点胶机构、装膜机构及切膜机构；该旋转底座能相对装接底座水平转动，并用于放置至少一金刚石晶片；该衬底吸取机构用于吸取装接衬底；该点胶机构用于给金刚石晶片点胶；该装膜机构用于薄膜的缠绕安装；该切膜机构用于薄膜的切断。他具有如下优点：设计巧妙、操作方便，自动化程度高，可以实现多片金刚石晶片在一块衬底的贴合作业。
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公开(公告)号：CN115266726A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202210794297.8
申请日：2022-07-07
Applicant: 华侨大学
IPC: G01N21/88 , G01N21/952 , G01N21/01 , G01B11/06 , G09F9/30
Abstract: 本发明公开了基于图像识别的多片金刚石衬底检测装置及检测方法，衬底容纳腔用于放置贴有多片金刚石片的衬底；第一相机和第二相机分别位于衬底容纳腔的正上方和正下方，第一相机对所述衬底进行拍摄以确定需要测厚的位置，第二相机对所述衬底进行拍摄以识别所述衬底的缺陷及气泡；第一激光位移传感器和第二激光位移传感器均安装在位移传动机构上且分别位于衬底容纳腔的上方和下方，位移传动机构可带动第一激光位移传感器和第二激光位移传感器同步移动，以对衬底容纳腔内的衬底进行定位测量，进而得到多片金刚石片处的厚度信息。本装置操作方便，实现多片金刚石衬底贴片后的自动化检测并且具有很高的精度以及可重复性，极大降低人工以及学习成本。
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公开(公告)号：CN113134788A
公开(公告)日：2021-07-20
申请号：CN202110510680.1
申请日：2021-05-11
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本发明公开了抛光金刚石的夹紧夹具及金刚石抛光机，夹紧夹具包括底座和能螺接在底座的旋盖；底座上端面设有金刚石置放位和正多边形槽，正多边形槽具有多个边槽，正多边形槽中心和置放位都位于螺接轴线上；正多边形槽的每个边槽都配设有滑块，滑块上下端面分别凸设有上凸起和下凸起，滑块下凸起适配滑接在边槽；旋盖设有对应置放位的贯穿孔和多个绕螺接轴线环形阵列布置的滑槽，滑槽沿径向布置，滑槽内设有能相对滑槽滑动的挡块及顶抵挡块的弹性体，滑块上凸起适配滑接在滑槽内且挡块顶抵上凸起；通过旋盖螺接底座控制滑块夹紧位于置放位上的金刚石或释放夹紧。它具有如下优点：能夹紧薄片状金刚石，结构简单易操作。
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公开(公告)号：CN214559846U
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN202023287353.4
申请日：2020-12-30
Applicant: 华侨大学
Abstract: 本实用新型公开了脆硬性材料磨抛加工设备，包括机架、基座装置和磨抛装置；该基座装置包括基座，该基座上装设有能夹紧脆硬性材料的夹具；该磨抛装置包括一第一滑座、一第二滑座、一主轴和一装接在主轴上的调节结构，该主轴上套装有内圈磨削砂轮和外圈抛光砂轮，该外圈抛光砂轮包围内圈磨削砂轮，通过主轴转动带动内圈磨削砂轮和外圈抛光砂轮一起转动，该调节结构传动连接内圈磨削砂轮且能调节内圈磨削砂轮轴向位置以调节内圈磨削砂轮和外圈抛光砂轮沿Z轴上下位置关系。它具有如下优点：将脆硬性材料磨削抛光整合到一道工序中加工，磨削抛光一次装夹，避免因多次装夹出现误差，提高成品率，磨削抛光时间短、效率高。
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