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公开(公告)号：CN114295262A
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202111479343.7
申请日：2021-12-07
Applicant: 华东光电集成器件研究所
Abstract: 本发明提供一种岛膜结构硅压阻传感器装置，包括衬底（1），在衬底（1）上设有压力敏感层（2），在衬底（1）上设有第一槽体（3），在压力敏感层（2）底部设有与第一槽体（3）连通的第二槽体（4），在第二槽体（4）内设有岛状结构（5），在压力敏感层（2）上设有氧化层（6），在压力敏感层（2）设有一组向上穿透氧化层（6）的盲孔（7），在盲孔（7）内设有压敏电阻（8），在氧化层（6）均布有一组焊盘（10），在氧化层（6）上设有连通焊盘（10）和压敏电阻（8）引线（9）。本发明基于小尺寸敏感层和E型岛膜结构结合，很好的兼顾芯片高灵敏度和线性度性能，实现传感器对敏感芯片小尺寸、高灵敏度,高精度、高可靠的要求。
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公开(公告)号：CN114136511A
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN202111479804.0
申请日：2021-12-07
Applicant: 华东光电集成器件研究所
IPC: G01L1/18
Abstract: 本发明涉及一种电缆线系SOI压阻压力传感器，衬底硅（10）微腔中设有感压膜片（4），衬底硅背面制有围堰（1），感压膜片区域制有敏感桥阻和互连线（2），感压膜片区域内制有互连线（6）与对应的敏感桥阻连接，围堰上的背封玻璃（50）中设有微凹腔（51）构成压力参考腔，衬底硅正面连接封接玻璃（60）及测量接口（61），金属接嘴（62）与封接玻璃连为一体,金属空心插管（54）与金属焊盘（3）形成电连接，金属空心插管中嵌压焊接电缆线（55）。本发明具有如下优点：传感器线性压阻灵敏度正/反向对称一致性,无管座使传感器与芯片固有频率接近，尤其是适用高频的动态压力测量。
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公开(公告)号：CN114136510A
公开(公告)日：2022-03-04
申请号：CN202111479212.9
申请日：2021-12-07
Applicant: 华东光电集成器件研究所
Abstract: 一种基于SOI敏感芯片的小型压力传感器，衬底硅（10）微腔中设有感压膜片（4），衬底硅背面制有围堰（1），感压膜片区域制有敏感桥阻R1—R4和互连线（2），其两端分别与敏感桥阻的连接，感压膜片区域内分别制有互连线（6）与对应的敏感桥阻另一端连接，围堰上连接的背封玻璃（50）中设有微凹腔（51）构成压力参考腔，电极插针伸入到对应的敏感芯片中的通孔（52）中，电极插针（53）与焊盘（3）电学连接。本发明具有如下优点：具有较高的线性压阻灵敏度正/反向对称一致性、高压力量程的宽泛覆盖和高过载能力；传感器为最小型化和轻量化，无管座封装使传感器固有频率接近芯片固有频率，兼容静/动两态、尤其是适用高频的动态压力测量。
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公开(公告)号：CN114124074A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202111479225.6
申请日：2021-12-07
Applicant: 华东光电集成器件研究所
IPC: H03K19/003 , H03C3/02 , H03D3/00
Abstract: 本发明涉及一种霍尔元件失调电压的消除装置及方法，包括：1）霍尔元件，输出电压信号；2）信号调制电路，对输入的霍尔电压信号进行调制；3）斩波运放，对调制的霍尔信号进行斩波；4）时钟电路，与信号调制电路与斩波运放相连；5）滤波电路，对斩波运放输出的高频失调信号进行滤波，输出精确的霍尔电压信号。通过调制电路，将霍尔元件产生的不需要的失调信号在频域中与磁场电压分离，随后的解调将磁场电压恢复至基带；同时，直流失调被调制成为高频信号，磁场电压可以通过后续的低通滤波器，而经调制的失调电压则被抑制，最终保证有用信号精确输出。本发明有益效果：利用斩波技术调制霍尔信号，有效降低霍尔传感器的输入噪声、失效电压，提升霍尔传感器的性能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114136511B
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202111479804.0
申请日：2021-12-07
Applicant: 华东光电集成器件研究所
IPC: G01L1/18
Abstract: 本发明涉及一种电缆线系SOI压阻压力传感器，衬底硅（10）微腔中设有感压膜片（4），衬底硅背面制有围堰（1），感压膜片区域制有敏感桥阻和互连线（2），感压膜片区域内制有互连线（6）与对应的敏感桥阻连接，围堰上的背封玻璃（50）中设有微凹腔（51）构成压力参考腔，衬底硅正面连接封接玻璃（60）及测量接口（61），金属接嘴（62）与封接玻璃连为一体,金属空心插管（54）与金属焊盘（3）形成电连接，金属空心插管中嵌压焊接电缆线（55）。本发明具有如下优点：传感器线性压阻灵敏度正/反向对称一致性,无管座使传感器与芯片固有频率接近，尤其是适用高频的动态压力测量。
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公开(公告)号：CN113804940B
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202111113443.8
申请日：2021-09-23
Applicant: 华东光电集成器件研究所
Abstract: 本发明涉及一种高精度闭环霍尔电流传感器电路，其特征在于：包括双路闭环式差分电流处理电路和静磁干扰判断电路；全气隙磁芯和半气隙磁芯中的有霍尔传感器分别连接一个闭环式差分电流处理电路；静磁干扰判断电路包括差分电路，差分电路的输入端分别连接全气隙磁芯相连的闭环式差分处理电路和半气隙磁芯相连的闭环式差分处理电路，差分电路一个输出端连接比较器，比较器输出端连接锁存器，锁存器输出端分别连接第一继电器线圈和第二继电器线圈，差分电路的另外两个输出端分别连接第一继电器触点开关和第二继电器触点开关；锁存器还连接按键及相连的伪线圈。本发明的有益效果是，能够自动判断工作环境有无静磁干扰，并自动获取对应工作模式下的实测电流，提高电流采集精度。
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公开(公告)号：CN113804940A
公开(公告)日：2021-12-17
申请号：CN202111113443.8
申请日：2021-09-23
Applicant: 华东光电集成器件研究所
Abstract: 本发明涉及一种高精度闭环霍尔电流传感器电路，其特征在于：包括双路闭环式差分电流处理电路和静磁干扰判断电路；全气隙磁芯和半气隙磁芯中的有霍尔传感器分别连接一个闭环式差分电流处理电路；静磁干扰判断电路包括差分电路，差分电路的输入端分别连接全气隙磁芯相连的闭环式差分处理电路和半气隙磁芯相连的闭环式差分处理电路，差分电路一个输出端连接比较器，比较器输出端连接锁存器，锁存器输出端分别连接第一继电器线圈和第二继电器线圈，差分电路的另外两个输出端分别连接第一继电器触点开关和第二继电器触点开关；锁存器还连接按键及相连的伪线圈。本发明的有益效果是，能够自动判断工作环境有无静磁干扰，并自动获取对应工作模式下的实测电流，提高电流采集精度。
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公开(公告)号：CN114136510B
公开(公告)日：2024-01-23
申请号：CN202111479212.9
申请日：2021-12-07
Applicant: 华东光电集成器件研究所
Abstract: 一种基于SOI敏感芯片的小型压力传感器，衬底硅（10）微腔中设有感压膜片（4），衬底硅背面制有围堰（1），感压膜片区域制有敏感桥阻R1—R4和互连线（2），其两端分别与敏感桥阻的连接，感压膜片区域内分别制有互连线（6）与对应的敏感桥阻另一端连接，围堰上连接的背封玻璃（50）中设有微凹腔（51）构成压力参考腔，电极插针伸入到对应的敏感芯片中的通孔（52）中，电极插针（53）与焊盘（3）电学连接。本发明具有如下优点：具有较高的线性压阻灵敏度正/反向对称一致性、高压力量程的宽泛覆盖和高过载能力；传感器为最小型化和轻量化，无管座封装使传感器固有频率接近芯片固有频率，兼容静/动
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公开(公告)号：CN114113667A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202111479819.7
申请日：2021-12-07
Applicant: 华东光电集成器件研究所
IPC: G01P3/44
Abstract: 本发明涉及一种基于霍尔元件的齿轮正交输出测速装置，骨架两端分别连接的安装座及封装外壳，骨架中设有永磁体及相对应的霍尔元件，霍尔元件的输出分别连接两个运算放大器，运算放大器分别依次连接滤波器、施密特触发器，施密特触发器输出连接到驱动门电路。使得霍尔IC在工作气隙范围内具备极佳的对径向振动的抗干扰性，又通过对共模信号的检测，利用芯片滤波环节的不同频带参数消除了系统稳态磁场和系统失调，将不需要的失调信号在频域中与磁场电压分离，随后的解调将磁场电压恢复至基带，同时直流失调被调制成为高频信号。磁场电压可以通过后续的低通滤波器，而经调制的失调电压则被抑制，使得具备极强的抗干扰能力。
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