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公开(公告)号:CN112062146A
公开(公告)日:2020-12-11
申请号:CN202010835590.5
申请日:2020-08-19
Applicant: 包头天骄清美稀土抛光粉有限公司
IPC: C01F17/218 , C01F17/206 , C01F17/10
Abstract: 本发明公开了一种CMP用铈钇研磨材料及其制备方法,制备方法包括:将铈、钇的可溶性盐分别溶解,混合后得到钇铈混合溶液,采用均相共沉淀法制得氢氧化铈钇;将氢氧化铈钇中的低价铈氧化成高价铈,反应物过滤后将滤饼放入高压反应釜中,水热反应得到作为铈钇研磨材料的铈、钇的氧化物。本发明制备的铈钇抛光浆料纯度高,金属钠离子含量小于0.5ppm,分散性好、颗粒均匀、研磨效率高。
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公开(公告)号:CN118978866A
公开(公告)日:2024-11-19
申请号:CN202411072024.8
申请日:2024-08-06
Applicant: 包头天骄清美稀土抛光粉有限公司 , 中国北方稀土(集团)高科技股份有限公司
IPC: C09G1/02
Abstract: 本发明公开了一种含氟稀土抛光粉及其制备方法和抛光组合物。该含氟稀土抛光粉的制备方法包括如下步骤:将氟碳酸稀土在400~600℃下焙烧0.5~3h,得到一次焙烧物;将一次焙烧物在600~850℃下焙烧0.5~3h,得到二次焙烧物;将二次焙烧物在850~1200℃下焙烧1~8h,得到三次焙烧物;将三次焙烧物粉碎,得到含氟稀土抛光粉。本发明的制备方法能够提高含氟稀土抛光粉的研削力,降低含氟稀土抛光粉的划伤率。
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公开(公告)号:CN116873967A
公开(公告)日:2023-10-13
申请号:CN202310236021.2
申请日:2020-08-19
Applicant: 包头天骄清美稀土抛光粉有限公司
IPC: C01F17/218 , C01F17/206 , C01F17/10 , C09G1/02
Abstract: 本发明公开了一种CMP用铈钇研磨材料的制备方法,包括:将铈、钇的可溶性盐分别溶解,混合后得到钇铈混合溶液,采用均相共沉淀法制得氢氧化铈钇;将氢氧化铈钇中的低价铈氧化成高价铈,反应物过滤后将滤饼放入高压反应釜中,水热反应得到作为铈钇研磨材料的铈、钇的氧化物。本发明制备的铈钇抛光浆料纯度高,金属钠离子含量小于0.5ppm,分散性好、颗粒均匀、研磨效率高。
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公开(公告)号:CN112080207B
公开(公告)日:2022-04-15
申请号:CN202010835858.5
申请日:2020-08-19
Applicant: 包头天骄清美稀土抛光粉有限公司
Abstract: 本发明公开了一种稀土抛光粉的制备方法,包括:制备稀土元素镧、铈、钐、钇的氟碳酸稀土,氟的加入量为REO的5%~10%;氟碳酸稀土的焙烧和粒度分级制得稀土抛光粉;稀土抛光粉包括:氧化镧、氧化铈、氧化钐和氧化钇。本发明通过精确计算Y2O3的加入量使CeO2晶格常数变小,形成氧空位,增强了抛光粉的耐磨性、研削力、反应活性。
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公开(公告)号:CN112080207A
公开(公告)日:2020-12-15
申请号:CN202010835858.5
申请日:2020-08-19
Applicant: 包头天骄清美稀土抛光粉有限公司
IPC: C09G1/02
Abstract: 本发明公开了一种稀土抛光粉的制备方法,包括:制备稀土元素镧、铈、钐、钇的氟碳酸稀土,氟的加入量为REO的5%~10%;氟碳酸稀土的焙烧和粒度分级制得稀土抛光粉。本发明还公开了一种稀土抛光粉,包括氧化铈和氧化钇,氧化铈的稀土氧化物总量占比CeO2/TREO=45w%~85w%,氧化钇的稀土氧化物总量占比Y2O3/TREO=1w%~10w%,摩尔比REO:Y2O3=1:0.015~0.15。本发明通过精确计算Y2O3的加入量使CeO2晶格常数变小,形成氧空位,增强了抛光粉的耐磨性、研削力、反应活性。
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