本发明公开了一种稀土抛光粉的制备方法，包括：制备稀土元素镧、铈、钐、钇的氟碳酸稀土，氟的加入量为REO的5％～10％；氟碳酸稀土的焙烧和粒度分级制得稀土抛光粉。本发明还公开了一种稀土抛光粉，包括氧化铈和氧化钇，氧化铈的稀土氧化物总量占比CeO2/TREO＝45w％～85w％，氧化钇的稀土氧化物总量占比Y2O3/TREO＝1w％～10w％，摩尔比REO：Y2O3＝1：0.015～0.15。本发明通过精确计算Y2O3的加入量使CeO2晶格常数变小，形成氧空位，增强了抛光粉的耐磨性、研削力、反应活性。