公开(公告)号：CN105742412A

公开(公告)日：2016-07-06

申请号：CN201610273996.2

申请日：2016-04-28

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 韩安军 ,  柳效辉 ,  黄勇亮 ,  王宪 ,  吴敏 ,  孟凡英 ,  刘正新

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/0216 ,  H01L31/032

CPC classification number: Y02P70/521 ,  H01L31/18 ,  H01L31/02168 ,  H01L31/0322 ,  H01L31/0323

Abstract: 本发明提供一种薄膜太阳能电池吸收层碱金属掺入方法，所述掺入方法至少包括：提供待处理的薄膜太阳能电池吸收层，配置含有碱金属离子的溶液，采用非真空镀膜的方法将所述碱金属离子溶液沉积于所述吸收层表面，并将所述吸收层放置于热处理炉中，往所述热处理炉中通入惰性气体或硒化氢和惰性气体的混合气体，升温至设定的温度，以使碱金属离子扩散进所述吸收层。本发明的碱金属掺入方法可在吸收层表面产生原子排空，促进缓冲层CdS中的Cd原子扩散进吸收层表面形成浅埋PN结，减少载流子在吸收层/缓冲层的界面层复合，提高开路电压，提高电池转换效率。本发明所提供的制备方法简单可控，无需昂贵的真空镀膜设备，与常规艺兼容性好，碱金属材料利用率高，成本低。

公开(公告)号：CN105914262A

公开(公告)日：2016-08-31

申请号：CN201610390568.8

申请日：2016-06-03

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 柳效辉 ,  韩安军 ,  王宪 ,  黄勇亮 ,  孟凡英 ,  刘正新

IPC: H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521 ,  H01L31/186 ,  H01L31/1864

Abstract: 本发明提供一种薄膜太阳能电池缓冲层后处理工艺，包括：提供表面形成有吸收层的薄膜太阳能电池，配置反应溶液，采用化学水浴法将所述反应溶液沉积于所述吸收层表面形成缓冲层，之后将所述缓冲层置于水溶液中进行浸泡处理，最后取出，用氮气吹干。本发明缓冲层后处理工艺可以改善缓冲层表面平整度，减少缓冲层表面絮状物，增加与上层窗口层的接触面积与晶格匹配，减少载流子在缓冲层/窗口层界面的复合，可提高薄膜太阳能电池的短路电流密度1.0?2.0mA/cm2，提高电池转换效率绝对值1?3％。由于浸泡处理所采用的氨水、异丙醇、醋酸铵等本身为常规试剂，可重复利用，工艺成本低、设备简单可靠、操作安全、适用于工业化生产。