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公开(公告)号：CN102200667B
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201110120151.7
申请日：2011-05-06
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G02F1/21
Abstract: 一种体硅可调谐光学滤波器由体硅调谐腔，高掺杂的体硅电阻加热器，下悬臂梁、上悬臂梁，表面高掺杂的左悬臂梁、表面高掺杂的右悬臂梁，金属导线、应力平衡金属导线、左引线区域，右引线区域和支撑SOI硅基底11构成。其采用高电阻率的SOI硅片并利用体硅加工工艺制作获得。包括：(a)SOI硅片器件层表面制作高掺杂区域；(b)硅片器件层表面溅射金属并制作金属结构；(c)硅片器件层表面制作体硅调谐腔和各悬臂梁结构；(d)从硅片下表面衬底层释放体硅调谐腔及悬臂梁结构；(e)在体硅调谐腔上下表面制作高反射膜，形成光学F-P干涉腔体。所制作的该滤波器具有很好的光学性能，且工艺制作简单，结构可靠性高。
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公开(公告)号：CN102225739A
公开(公告)日：2011-10-26
申请号：CN201110095547.0
申请日：2011-04-15
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种基于MEMS技术的可调FP光学滤波器的制作方法，其特征在于：采用两次光刻制作出所有图形的刻蚀窗口；采用一次等离子体硅刻蚀完成中间FP空气腔体及可动硅反射镜面结构的制作；采用一次硅-硅键合、等离子体干法刻蚀、HF酸腐蚀二氧化硅层释放工艺制造硅膜可动反射镜；采用硬模板选择蒸镀的方法制作FP腔内两反射镜的高反膜及增透膜；采用一次硅-玻璃键合形成最终的FP腔滤波器。极大地简化了工艺流程，保证了FP腔镜面光洁度和平行度，提高了所制造的FP滤波器的光学技术指标和芯片成品率。与现有的同类产品制作工艺相比具有更好的工艺兼容性及可操作性，驱动电压更低，具有较好的光学调谐重复性和稳定性。可广泛应用于光通信WDM系统。
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公开(公告)号：CN1278920C
公开(公告)日：2006-10-11
申请号：CN200410053563.3
申请日：2004-08-06
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种微机电系统扭转镜面驱动器、制作方法及应用。其特征在于所述的扭转微镜面位于上电极和下电极构成的隔离空间内，其扭转的角度随驱动器的上电极和下电极施加的电压调节。其制作方法是首先在硅片背面上制作出扭转镜面的上电极与下电极隔离空间，构成扭转镜面的扭转空间，然后在玻璃上制作铝的下电极，接着把硅片背面和玻璃套准后键合在一起，把键合好的硅玻璃键合片进行硅片减薄，最后在减薄的硅片层上制作出扭转镜面的两端固定的细梁、驱动器的上电极和扭转微镜面，对硅片进行划片后，得到单个的静电镜面驱动的驱动器；具有体积小、工艺简单、驱动电压低、可靠性高，响应速度快和利于集成的优点。
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公开(公告)号：CN103086316A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201110335464.4
申请日：2011-10-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明提供一种MEMS垂直梳齿微镜面驱动器的制作方法，包括：提供具有双层硅器件层的SOI硅结构；在第一衬底层的表面制作第一划片图形；去除第二衬底层；在第二埋层氧化层上制作双层掩膜；利用双层掩膜，制作出高梳齿结构、低梳齿结构以及微镜面结构；将双抛硅片与SOI硅结构进行硅硅键合；在双抛硅片的表面制作第二划片图形；去除第一衬底层并显露出第一埋层氧化层；以第一埋层氧化层作为掩膜，刻蚀第一硅器件层，释放可动梳齿结构、可动微镜面结构和固定梳齿结构；去除第一埋层氧化层；在微镜面区域和引线区域形成薄膜金属层。相较于现有技术，本发明技术方案能制作出具有自对准高低梳齿结构的垂直梳齿微镜面驱动器，具有制作简单和成品率高的优点。
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公开(公告)号：CN101587240A
公开(公告)日：2009-11-25
申请号：CN200910051003.7
申请日：2009-05-12
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种大角度扭转镜面驱动器及其在光开关中的应用。其特征在于所述的大角度扭转微镜面驱动器由扭转梁(1)、扭转梁(2)、微镜面(3)、倾斜下电极(4)，倾斜面(5)、倾斜面(6)、硅基底材料(7)构成；其中，扭转梁(1)和扭转梁(2)与微镜面(3)相连且对称排列于微镜面(3)的两侧，微镜面(3)兼作驱动器的上电极，倾斜下电极(4)制作在倾斜面(5)上，与微镜面(3)构成倾斜电极静电驱动器，倾斜面(5)和倾斜面(6)之间有一定夹角，两者均制作在基底材料(7)上。作为光开关的应用是采用TO管壳的封装形式，由所述的驱动器、多光纤准直器、TO封装底座和对应管壳构成，制作成的光开关具有体积小、工艺简单、驱动电压低、可靠性高、响应速度快等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100516951C
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：CN200510110330.7
申请日：2005-11-11
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种波导和光纤的耦合方法，其特征在于采用调节架单向调整光纤和波导，利用探测器监控方法确定光纤和波导相对位置，使用一对放电电极释放的放电电弧，熔融光纤和波导，达到低损耗的光纤和波导耦合的方法。其主要在于利用调节架对光纤和波导进行单向调节，采用探测器直接监控光器件输出芯片，避免了采用调节设备进行光纤和波导的双向精密调节，降低了调节难度；并且利用熔融光纤和波导的手段使得光信号达到低损耗耦合，相对粘胶液固定耦合方法，提高了光器件的可靠性和连接强度。本发明提出的光纤和波导耦合的方法也适用于阵列光纤和阵列波导的熔融耦合。
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公开(公告)号：CN100479356C
公开(公告)日：2009-04-15
申请号：CN02136362.5
申请日：2002-08-02
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 一种基于微机电系统技术制作的光分插复用器，其特征在于以MEMS技术为基础，采用其精确的定位技术，在硅片上精确定位四个球透镜、四个光纤及一个带通滤波器件的位置，然后再在相应的位置放置四根光纤、四个球透镜及一个带通滤波器件，且在光纤与球透镜的放置槽之间设有一段比光纤放置槽位置高1-10μ的槽，以此构成一个基本的四端口光分插复用器。本发明其中两端口作为指定波长的上载端与下载端，其它两端口一个作为输入端，一个作为输出端。本发明主要用于密集波分复用系统中的上下载不同波长信号。串接使用本光分插复用器件还可以实现多波长光信号的上载与下载。
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公开(公告)号：CN1844938A
公开(公告)日：2006-10-11
申请号：CN200610026522.4
申请日：2006-05-12
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R19/02
Abstract: 本发明是一种基于微电子机械系统的光学电流传感器，其特征在于采用微机械工艺将MEMS金属线圈制作于MEMS扭转微镜上，非磁性骨架结构的Rogowski线圈和MEMS金属线圈将高压交流电信号以感应电流的形式引入到MEMS扭转微镜的线圈中，在MEMS扭转微镜的背面制作反射镜面，镜面将在电磁力矩的作用下绕轴摆动，采用对角度非常敏感的光束耦合方式能够精确测量出镜面摆动角度，就可以获知电流值。这种光学电流传感器将MEMS技术运用到高压大电流检测中，以感应电流驱动，在高压端无需驱动电源，实现了光电隔离，具有体积小、成本低、可批量生产、抗干扰等优点，具有较高的测试精度和灵敏度，是一种具有应用前景的光学电流传感器。
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公开(公告)号：CN1821052A
公开(公告)日：2006-08-23
申请号：CN200610023321.9
申请日：2006-01-13
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种圆片级微机械器件和光电器件的低温气密性封装方法，其特征在于利用苯并环丁烯(BCB)材料针对经过湿法腐蚀或干法刻蚀的半导体材料或玻璃进行250℃低温圆片级气密性键合，键合压力为1－3×10－5Pa，真空度为10－3Pa；通过BCB键合封装的微机械器件和光电器件封装的气密性，气密性达到2.1～5.9×10－4Pa cm3/s He，优于军用标准一个数量级以上；剪切强度在4.65MPa以上，完全达到了微电子器件的封装标准；本发明提供的封装方法适用于谐振式MEMS器件、微加速度计、微陀螺、微热辐射仪等，可以有效的减小器件的阻尼，提高器件系统的品质因数(Q值)，从而提高传感器件的灵敏度，是微机械器件和微光电器件的有效低温圆片级气密性封装方法。
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公开(公告)号：CN1396738A
公开(公告)日：2003-02-12
申请号：CN02136362.5
申请日：2002-08-02
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 一种基于微机电系统技术制作的光分插复用器，其特征在于以MEMS技术为基础，采用其精确的定位技术，在硅片上精确定位四个球透镜、四个光纤及一个带通滤波器件的位置，然后再在相应的位置放置四根光纤、四个球透镜及一个带通滤波器件，且在光纤与球透镜的放置槽之间设有一段比光纤放置槽位置高1－10μ的槽，以此构成一个基本的四端口光分插复用器。本发明其中两端口作为指定波长的上载端与下载端，其它两端口一个作为输入端，一个作为输出端。本发明主要用于密集波分复用系统中的上下载不同波长信号。串接使用本光分插复用器件还可以实现多波长光信号的上载与下载。
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