器件失效定位分析方法
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN112285611B

    公开(公告)日:2024-06-18

    申请号:CN202010983672.4

    申请日:2020-09-18

    Abstract: 本申请涉及失效分析技术领域,具体公开一种器件失效分析定位方法,包括:对扫描探头进行校准,获取校准数据;控制扫描探头对待测器件进行扫描,并获得第一参数信息,第一参数信息用于表征待测器件扫描高度平面的电磁场信息;根据第一参数信息和校准数据,确定待测器件目标高度平面的电磁场信息;根据待测器件目标高度平面的电磁场信息,确定待测器件表面的电学分布;根据待测器件表面的电学分布,确定待测器件的失效位置。基于电磁注入和探测的原理,结合待测器件表面的电磁场信息实现对待测器件的失效位置的分析,相对于传统的失效分析方法而言,成本较低,且无需对待测器件进行破坏,整体失效定位方法可靠性较高。

    差分磁场探头
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109655770B

    公开(公告)日:2023-05-23

    申请号:CN201910092916.7

    申请日:2019-01-30

    Abstract: 本申请涉及一种差分磁场探头,包括中层介质板、第一磁场探测部以及第二磁场探测部;中层介质板夹设于第一磁场探测部与第二磁场探测部之间,且第一磁场探测部中设有磁场探测线的端部、第二磁场探测部中设有磁场探测线的端部分别与中层介质板机械连接;其中,第一磁场探测部用于感应外界磁场产生第一电信号,并将第一电信号输出;第二磁场探测部用于感应外界磁场产生第二电信号,并将第二电信号输出;第一电信号和第二电信号组成差分信号,采用差分共模抑制设计,对应产生并输出组成差分信号的第一信号和第二信号,利用差分信号滤除在探测磁场过程中的干扰信号,从而提高了差分磁场探头的电场抑制比。

    电磁场复合探头和探测系统

    公开(公告)号:CN112526221B

    公开(公告)日:2023-04-14

    申请号:CN202011154645.2

    申请日:2020-10-26

    Abstract: 本发明涉及电磁检测技术领域,公开了一种电磁场复合探头和探测系统。所述电磁场复合探头,包括设有若干屏蔽接地通孔的PCB板,所述PCB板包括信号探测部和信号传输部;所述信号探测部包括硅基探头,所述硅基探头上设置有一探测线圈,所述探测线圈与所述信号传输部相连接构成一探测环路,所述探测环路用于探测待测件的电磁场得到得到射频信号;所述信号传输部,与所述信号探测部相连接,用于将得到的所述射频信号以预设特性阻抗的形式传输出去。由于所述硅基探头上能够设计尺寸很小的探测环路,因而能够较好地提高所述电磁场复合探头的探测灵敏度,同时还能提高所述电磁场复合探头的空间分辨率。

Patent Agency Ranking