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公开(公告)号:CN114413794B
公开(公告)日:2023-09-22
申请号:CN202210109674.X
申请日:2022-01-29
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01B11/26
Abstract: 本发明公开了一种大口径KDP晶体最佳相位匹配角测量系统及其测量方法,包括依次设置的激光器、整形器、标准镜、凹透镜和CCD相机,激光器出射激光经整形器整形后垂直入射到凹透镜,从而产生从多个角度入射到待测KDP晶体表面的激光,CCD相机用于接收并记录由待测KDP晶体出射的激光;所述测量系统还包括激光自准直仪、晶体自准直仪和图像处理模块,激光自准直仪用于对标准镜及激光器出射激光进行准直,晶体自准直仪用于准直待测KDP晶体,图像处理模块能够读取CCD相机获取的图像并计算出对应的相位匹配角。本发明能够实现KDP晶体相位匹配角度的精确测量,具有自动化程度高,操作方便,测量准确等优点。
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公开(公告)号:CN114011757A
公开(公告)日:2022-02-08
申请号:CN202111287733.4
申请日:2021-11-02
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种光学元件表面清洗系统,包括机架;安装在机架上的电控旋转台,电控旋转台设有用于固定光学元件的夹持机构;通过三维移动机构安装在电控旋转台一侧的清洗座,该清洗座上设有风刀和清洗头接口,并配置有等离子清洗头和液体擦拭清洗头;安装在清洗座上的位置传感器,用于检测与光学元件的距离,并将距离信号输出;以及控制器,能够根据所述距离信号控制三维移动机构、电控旋转台运动,以调整清洗座与光学元件的相对位置,并控制清洗座按预设清洗轨迹对光学元件进行清洗。本发明能够实现光学元件表面的自动清洗,相比人工擦拭清洗,极大提高了清洗效率,保证清洗工艺的稳定性,提高清洗效果。本发明还公开了上述清洗系统的清洗方法。
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公开(公告)号:CN114002805A
公开(公告)日:2022-02-01
申请号:CN202111287753.1
申请日:2021-11-02
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G02B7/185
Abstract: 本发明公开了一种光学元件重力形变抑制装置及抑制方法,包括元件夹持框,所述元件夹持框内部安装有气浮板,所述气浮板上分布有第一气孔和第二气孔,其中,所述第一气孔沿气浮板的周向分布,第二气孔分布在各个所述第一气孔围成的区域内,所述第一气孔连接有压缩空气气源,第二气孔连接有压缩空气气源或真空发生器;所述元件夹持框远离气浮板的一侧具有安装敞口,用于装配光学元件,所述安装敞口的周向侧壁上设有螺纹定位部件。本发明的有益效果是:能够以非接触的方式达到抑制光学元件重力形变的目的,适用于工作反射面朝上水平放置、朝上倾斜放置、朝下水平放置或朝下倾斜放置的任一光学元件,通用性好。
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公开(公告)号:CN112731619A
公开(公告)日:2021-04-30
申请号:CN202011605385.6
申请日:2020-12-30
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G02B7/185
Abstract: 本发明公开了一种面形补偿系统,包括支撑板,所述支撑板上安装有沿径向分布的内密封圈和外密封圈,内密封圈和外密封圈均凸出于支撑板的表面,支撑板在对应内密封圈限定的区域内设有内气孔,在对应内密封圈与外密封圈限定的区域内设有外气孔,所述内气孔通过第一气管连接有第一真空发生器或进气阀门,支撑板在对应内密封圈限定的区域内连接有真空计,所述外气孔通过第二管道连接有第二真空发生器。本发明的有益效果是:通过利用内外气压压差,以内密封圈为支点形成弯矩,实现了元件因重力或其它外力导致的面形形变的补偿。
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公开(公告)号:CN109387951A
公开(公告)日:2019-02-26
申请号:CN201811497646.X
申请日:2018-12-07
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
Abstract: 本发明公开了一种光学器件装校平台及单口径电光开关的装校工艺,支撑架的上端安装有支撑台,支撑台的中部设有具有导向通孔的导向柱,导向通孔的下端安装有调节螺栓,支撑台上设有晶体调节块,晶体调节块的一端设有滑动安装在所述导向通孔内的延伸部;支撑台上还固定安装有沿晶体调节块周向环绕的定位框,将晶体真片放置在晶体调节块上,再将普克尔盒放置在支撑台上,调整所述调节螺栓使晶体真片与普克尔盒平面处于同一平面上,并锁紧止锁螺钉,然后在间隙中填充有机弹性硅胶,并固化24小时,固化完成后装配密封圈和玻璃并旋紧金属压框,在填充有机弹性硅胶时晶体真片没有移动,因此不会产生内应力。
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公开(公告)号:CN105729493A
公开(公告)日:2016-07-06
申请号:CN201610243104.4
申请日:2016-04-19
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: B25J15/06
CPC classification number: B25J15/0616
Abstract: 本发明公开了一种用于光学元件的真空吸附抓取机构及其控制方法,包括机械手臂,所述机械手臂通过机械手法兰盘连接于固定盘上表面;在固定盘的下表面上沿边缘线均匀分布有多个朝下的真空吸盘,用于吸附待抓取的光学元件;所述固定盘的四周侧壁固接有至少两个平移气缸;该平移气缸呈纵向设置,在每个平移气缸的活塞杆上均连接有一个夹紧气缸,夹紧气缸的活塞杆呈水平设置并朝向光学元件侧面,平移气缸驱动夹紧气缸纵向运动,通过所述夹紧气缸侧向夹持所述光学元件;所述机械手臂、真空吸盘、平移气缸以及夹紧气缸均连接在控制装置上。本发明能够牢固地抓住光学元件并将其逐步稳妥地装入光学元件的安装框中,快速方便,不会损坏光学元件。
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公开(公告)号:CN108709722B
公开(公告)日:2025-02-18
申请号:CN201810814639.1
申请日:2018-07-23
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01M11/04
Abstract: 本发明公开了一种光学元件三自由度检测装置,包括光学平台,其上正对设置有仪器平台和元件框架,仪器平台通过旋转调整模块可转动地支撑在光学平台上,通过旋转调整模块可以调整仪器平台相对于元件框架的角度,元件框架通过偏摆基座活动支撑在光学平台上,且元件框架与偏摆基座之间设有俯仰调整模块和偏摆调整模块,通过俯仰调整模块和偏摆调整模块能够对元件框架俯仰及偏摆角度进行调整。通过分离式的调整模块,充分利用光学仪器和光学元件的支撑结构,整体结构简单易行,加工速度快捷,其安全可靠性高,可满足激光装置光学元件的大批量、大口径、多样化、高精度、高效率以及高洁净度的快速检测要求。
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公开(公告)号:CN108871737B
公开(公告)日:2023-10-13
申请号:CN201810814027.2
申请日:2018-07-23
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01M11/04
Abstract: 本发明公开了一种多功能光学元件装校平台,包括基架以及设置在该基架上的工作台,工作台上设置有水平装校模块和竖直装校模块,水平装校模块包括四个T形支架,T形支架竖直设置,其上端具有台阶洁净块,其中处于水平装校模块同一长度方向的两个台阶洁净块的台阶正对设置;竖直装校模块包括两个正对设置的竖直支架,竖直支架具有上下敞口的凹槽,凹槽的底壁上设有侧面洁净块,凹槽的两侧侧壁上下两端均正对设置有竖直锁紧螺钉,竖直锁紧螺钉水平伸入凹槽内,其前端具有洁净胶头。可完成多种规格光学元件的移动、装卡及调校功能,提高了装卡安全性,保持装校环境洁净,有利于提高装校精度,整体构思巧妙,结构易行、实施安装操作方便。
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公开(公告)号:CN108572061B
公开(公告)日:2023-10-13
申请号:CN201810813087.2
申请日:2018-07-23
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种全口径谐波转换效率测量系统及其测量方法,其中测量系统包括1053nm激光器以及沿其出射激光架设的测量光路,设置在测量光路上的倍频晶体运动控制装置,以及用于晶体准直的晶体自准直仪和光路准直的激光自准直仪、至少四个用于测量激光能量的卡计,测量方法主要采用测量系统并按如下步骤进行,激光光路准直、激光传输系数标定、待测晶体准直、待测二倍频晶体最佳匹配位置测量、待测三倍频晶体最大转换效率测量、平移测量和全口径三倍频最大转换效率测量七步。采用以上方案,实现对倍频转换效率的快速离线测量,且测量系统光路紧凑,空间占用小,成本较低,其测量精度高,操作方便可行,省时高效。
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公开(公告)号:CN116625642A
公开(公告)日:2023-08-22
申请号:CN202310588935.5
申请日:2023-05-23
Applicant: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种光路装调监测系统及方法,涉及光路装调监测领域,该系统包括:第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜、反射镜组、第一CCD相机、第二CCD相机、装调监测光源和哈特曼传感器;第一反射镜设置在高能光源的发射光路上,第二反射镜设置在第一反射镜的反射光路上,反射镜组设置在第二反射镜的反射光路上,第三反射镜设置在反射镜组的反射光路上,第四反射镜设置在第三反射镜的反射光路上。本发明通过装调监测光源、第一CCD相机和第二CCD相机能够保证光路指向精准,当光路指向变化时第一CCD相机和第二CCD相机能够提前预警;装调监测光源和哈特曼传感器能够对反射镜的波前进行实时测量,进而保证光束质量。
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