公开(公告)号：CN103543292A

公开(公告)日：2014-01-29

申请号：CN201310547838.8

申请日：2013-11-06

Applicant: 中北大学

Inventor： 李孟委 ,  王莉 ,  朱京 ,  王琪 ,  白晓晓 ,  王增跃 ,  刘俊

IPC: G01P15/125 ,  B81B7/02

Abstract: 本发明公开了一种基于电容效应和隧道效应的复合式加速度计，包括：键合基板、垫衬框体、支撑框体、悬臂梁、质量块、质量块下表面中心设置有隧尖。本发明的有益效果在于采用电容检测与隧道效应检测集成的方式，兼具电容检测与隧道检测的优点，可实现加速度的低检测阈值、宽范围、高灵敏检测；同时可用于已知加速度值环境的加速度精确测量，采用一体化设计，结构合理，灵敏度高,检测电路简单，使用方便、可靠性好、适合微型化。

公开(公告)号：CN102633227B

公开(公告)日：2014-07-23

申请号：CN201210071296.7

申请日：2012-03-16

Applicant: 中北大学

Inventor： 李孟委 ,  王莉 ,  刘俊 ,  王增跃 ,  褚伟航 ,  杜康 ,  白晓晓 ,  王琪 ,  李锡广 ,  崔敏

IPC: B81B7/02 ,  B81B3/00

Abstract: 一种MEMS惯性传感器结构压膜阻尼可调装置，主要由阻尼帽、键合衬底、二氧化硅层、氮化硅层、键合金属层、电阻正极、电阻负极、上极板电极、下极板电极、固定基座、硅弹性膜、凹腔、上极板金属层、下极板金属层、上极板金属层引出线、下极板金属层引出线、环形电阻、环形电阻正极引出线、环形电阻负极引出线组成，在键合衬底上制作有2组加热环形电阻和1对静电金属极板，可使待调器件的压膜阻尼系数减小或增加1-2个数量级，从实现对MEMS传感器Q值的封装后调制，此装置结构设计紧凑、巧妙，操作方便、响应迅速、可调精度高。

公开(公告)号：CN102638753B

公开(公告)日：2014-05-21

申请号：CN201210071272.1

申请日：2012-03-16

Applicant: 中北大学

Inventor： 李孟委 ,  王莉 ,  杜康 ,  刘俊 ,  李锡广 ,  白晓晓 ,  王增跃 ,  王琪

IPC: H04R19/04 ,  H04R19/01

Abstract: 一种基于石墨烯的MEMS声学传感器，主要结构由由上层结构、下层结构及石墨烯组成，上层结构上制作有集音腔、间隙腔、通孔板、拾音孔、上层金属层、上层绝缘层、上层金属连接位、上层键合金属层，下层结构层上制作有通孔板、间隙腔、阻尼孔、阻尼腔、下层金属层、下层绝缘层、下层金属连接位、石墨烯连接位、下层金属键合层、上层金属焊盘、下层金属焊盘、上层金属连接孔、下层金属连接孔、石墨烯连接孔，上层绝缘层和下层绝缘层中夹有石墨烯层，单碳原子层厚度的石墨烯材料具有优异的机械特性和电学特性，以石墨烯为振动膜的声学传感器将会实现更高的灵敏度、分辨率，使声音的检测数据翔实、精准、可靠。

公开(公告)号：CN203606385U

公开(公告)日：2014-05-21

申请号：CN201320697910.0

申请日：2013-11-06

Applicant: 中北大学

Inventor： 李孟委 ,  王莉 ,  朱京 ,  王琪 ,  白晓晓 ,  王增跃 ,  刘俊

IPC: G01P15/125 ,  B81B7/02

Abstract: 本实用新型公开了一种基于电容效应和隧道效应的复合式加速度计，包括：键合基板、垫衬框体、支撑框体、悬臂梁、质量块、质量块下表面中心设置有隧尖。本实用新型的有益效果在于采用电容检测与隧道效应检测集成的方式，兼具电容检测与隧道检测的优点，可实现加速度的低检测阈值、宽范围、高灵敏检测；同时可用于已知加速度值环境的加速度精确测量，采用一体化设计，结构合理，灵敏度高，检测电路简单，使用方便、可靠性好、适合微型化。