公开(公告)号：CN101251693A

公开(公告)日：2008-08-27

申请号：CN200810080545.2

申请日：2008-02-21

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 中堀正树 ,  木村初美 ,  后藤文弘 ,  荒木利夫

IPC: G02F1/1362 ,  H01L27/12 ,  H01L21/84

CPC classification number: H01L29/0657 ,  G02F1/1368 ,  H01L27/124 ,  H01L29/78633

Abstract: 本发明提供一种可靠性、生产性优良并且高分辨率的有源矩阵型液晶显示装置。本发明的液晶显示装置具有形成在透明绝缘衬底(1)上的栅电极布线(2)、覆盖所述栅电极布线(2)的栅极绝缘膜(3)、形成在所述栅极绝缘膜(3)上的半导体层(10)、形成在所述半导体层(10)上的源电极(6b)、源极布线(6a)以及漏电极(7)、与所述漏电极(7)连接的像素电极(9)。在所述半导体层(10)中，构成TFT的TFT部(10b)、形成在所述源极布线(6a)与所述栅电极布线(2)交叉的区域的源极栅极交叉部(10a)、连接所述TFT部(10b)与源极栅极交叉部的连接部(10a)一体地形成，由所述源电极(6b)以及源极布线(6a)覆盖所述半导体层的连接部(10c)的全部以及源极栅极交叉部(10a)连接部(10c)侧的一部分。

公开(公告)号：CN1912738A

公开(公告)日：2007-02-14

申请号：CN200610107794.7

申请日：2006-07-21

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 吉田卓司 ,  木村初美 ,  石贺展昭 ,  山部贵人 ,  荒木利夫

IPC: G03F1/08 ,  G02B5/20 ,  G03F7/00

Abstract: 本发明提供即使在使用具有氧化铬膜的遮光膜时也具有良好蚀刻剖面的带遮光膜基板、彩色滤光片基板及显示装置以及它们的制造方法。本发明一实施方式涉及的带遮光膜基板是具有在基板1上形成的遮光膜10图案的带遮光膜基板，遮光膜10具备含有铬氧化物的第1膜2和含有铬的设置于第1膜2上的第2膜3，遮光膜10的剖面形状具有正锥形。遮光膜10的蚀刻可以使用在硝酸铈铵中至少含有硝酸2.5摩尔/升以上浓度的药液来进行。