半导体装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN109891579B

    公开(公告)日:2023-06-20

    申请号:CN201780066212.1

    申请日:2017-10-19

    Abstract: 在半导体装置(101)中,散热部件(200)连接于功率模块(100)。在金属部件(4)中形成有多个凹部或凸部的任意一者,在散热部件(200)中形成有多个凹部或凸部的任意另一者。金属部件(4)和散热部件(200)在多个凹部和多个凸部接触的多个凹凸部处成为一体。多个凹凸部的一部分即第1凹凸部(C1、V1)与多个凹凸部中的第1凹凸部(C1、V1)之外的第2凹凸部(C2、V2)相比,高度方向的尺寸大。第1凹凸部(C1、V1)的壁面包含具有相对于高度方向的第1倾斜角度的第1壁面部分、和具有与第1倾斜角度不同的第2倾斜角度的第2壁面部分。

    导热系数测量装置以及导热系数测量方法

    公开(公告)号:CN108351313A

    公开(公告)日:2018-07-31

    申请号:CN201680062672.2

    申请日:2016-10-21

    Abstract: 导热系数测量装置包括:第1夹持构件,所述第1夹持构件具有与测量对象物接触的接触端面以及位于接触端面的相反侧的远端面;第2夹持构件,所述第2夹持构件具有与测量对象物接触的接触端面以及位于接触端面的相反侧的远端面,所述第2夹持构件与第1夹持构件共同夹持测量对象物;加热构件,所述加热构件具有与第1夹持构件的远端面抵接的抵接端面以及位于抵接端面的相反侧的远端面,所述加热构件对第1夹持构件进行加热;冷却构件,所述冷却构件具有与第2夹持构件的远端面抵接的抵接端面以及位于抵接端面的相反侧的远端面,所述冷却构件对第2夹持构件进行冷却;多个温度传感器,所述多个温度传感器设置于第1夹持构件以及第2夹持构件;以及按压力施加机构,所述按压力施加机构对第1夹持构件、第2夹持构件以及测量对象物施加按压力,第1夹持构件的远端面、第2夹持构件的远端面、加热构件的抵接端面、加热构件的远端面、冷却构件的抵接端面以及冷却构件的远端面中的至少一者具有凸型的弯曲形状。

    导热系数测量装置以及导热系数测量方法

    公开(公告)号:CN108351313B

    公开(公告)日:2020-09-01

    申请号:CN201680062672.2

    申请日:2016-10-21

    Abstract: 导热系数测量装置包括:第1夹持构件,所述第1夹持构件具有与测量对象物接触的接触端面以及位于接触端面的相反侧的远端面;第2夹持构件,所述第2夹持构件具有与测量对象物接触的接触端面以及位于接触端面的相反侧的远端面,所述第2夹持构件与第1夹持构件共同夹持测量对象物;加热构件,所述加热构件具有与第1夹持构件的远端面抵接的抵接端面以及位于抵接端面的相反侧的远端面,所述加热构件对第1夹持构件进行加热;冷却构件,所述冷却构件具有与第2夹持构件的远端面抵接的抵接端面以及位于抵接端面的相反侧的远端面,所述冷却构件对第2夹持构件进行冷却;多个温度传感器,所述多个温度传感器设置于第1夹持构件以及第2夹持构件;以及按压力施加机构,所述按压力施加机构对第1夹持构件、第2夹持构件以及测量对象物施加按压力,第1夹持构件的远端面、第2夹持构件的远端面、加热构件的抵接端面、加热构件的远端面、冷却构件的抵接端面以及冷却构件的远端面中的至少一者具有凸型的弯曲形状。

    热传导率测定装置及热传导率测定方法

    公开(公告)号:CN110168356A

    公开(公告)日:2019-08-23

    申请号:CN201780082743.X

    申请日:2017-12-27

    Abstract: 包括:第二夹持构件,与第一夹持构件一起夹持测定对象物;加热构件,具有夹着第一轴校正构件与第一夹持构件的远位端面抵接的抵接端面和位于抵接端面的相反侧的远位端面,并加热第一夹持构件,所述第一轴校正构件具有相向的两个面;冷却构件,具有夹着第二轴校正构件与第二夹持构件的远位端面抵接的抵接端面和位于抵接端面的相反侧的远位端面,并冷却第二夹持构件,所述第二轴校正构件具有相向的两个面;多个温度传感器,设置于第一夹持构件及第二夹持构件;及推压力施加机构,在加热构件与冷却构件之间施加推压力,第一轴校正构件及第二轴校正构件的至少一个面是凸形弯曲形状的弯曲面,其他面是平坦面。

    热传导率测定装置及热传导率测定方法

    公开(公告)号:CN110168356B

    公开(公告)日:2022-08-02

    申请号:CN201780082743.X

    申请日:2017-12-27

    Abstract: 包括:第二夹持构件,与第一夹持构件一起夹持测定对象物;加热构件,具有夹着第一轴校正构件与第一夹持构件的远位端面抵接的抵接端面和位于抵接端面的相反侧的远位端面,并加热第一夹持构件,所述第一轴校正构件具有相向的两个面;冷却构件,具有夹着第二轴校正构件与第二夹持构件的远位端面抵接的抵接端面和位于抵接端面的相反侧的远位端面,并冷却第二夹持构件,所述第二轴校正构件具有相向的两个面;多个温度传感器,设置于第一夹持构件及第二夹持构件;及推压力施加机构,在加热构件与冷却构件之间施加推压力,第一轴校正构件及第二轴校正构件的至少一个面是凸形弯曲形状的弯曲面,其他面是平坦面。

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