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公开(公告)号：CN112236688B
公开(公告)日：2024-03-22
申请号：CN201880094330.8
申请日：2018-06-12
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G01S17/34 , G01S7/4913
Abstract: 将光测距装置(3)构成为如下：设置光干涉部(21)和偏振波旋转部(25)，光干涉部将反射光分离为第一偏振波的反射光和第二偏振波的反射光，从第一偏振波的反射光与参考光的干涉光抽取相互正交的第一及第二分量，从第二偏振波的反射光与参考光的干涉光抽取相互正交的第三及第四分量，偏振波旋转部通过使具有第一及第二分量的第一复信号的偏振波角度和具有第三及第四分量的第二复信号的偏振波角度旋转，取得偏振波的水平分量及垂直分量中的一个以上的分量，距离计算部(27)根据由偏振波旋转部(25)取得的分量计算反射光的频率与参考光的频率的差分，根据差分计算直至测定对象物(1)为止的距离。
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公开(公告)号：CN112262292A
公开(公告)日：2021-01-22
申请号：CN201880094509.3
申请日：2018-06-19
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 将光测距装置(3)构成为：设置有具有接收从光干涉部(31)输出的干涉光并输出干涉光的检测信号的PD(32－1)～(32－N)的光检测器(32)、以及从自PD(32－1)～(32－N)输出的检测信号之中选择任意一个检测信号的开关(33)，距离计算部(35)根据由开关(33)选择出的检测信号，计算直至测定对象物(1)为止的距离。
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公开(公告)号：CN117769645A
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202180100807.0
申请日：2021-08-30
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 光测定装置具有：分支部(13；13A)，其将从激光光源出射的光分支为测定光和参照光；切换干涉部(41；41A；41B)，其在对第1干涉光、第2干涉光和第3干涉光的正交的偏振状态进行了分离的状态下，输出各干涉光，其中，该第1干涉光是使参照光的正交的两个偏振波发生干涉得到的，该第2干涉光是使测定光的来自对象物的反射光的正交的两个偏振波发生干涉得到的，该第3干涉光是使参照光和反射光发生干涉得到的；光电转换部(21)，其接收各干涉光，将接收到的干涉光转换为电信号；数字转换部(23)，其对电信号进行A/D转换，将A/D转换后的数字信号作为接收信号进行输出；以及计算处理部(30)，其将接收信号转换为频谱，得到参照光的正交的两个偏振波之间的光路长度差分、反射光的正交的两个偏振波之间的光路长度差分、以及参照光与测定光之间的光路长度差分。
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公开(公告)号：CN117099013A
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202180096571.8
申请日：2021-04-06
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G01S7/481
Abstract: 本发明的光测定装置(100)是使用光来测定距对象物(14)的距离的测距装置，具备：分支部(4)，其将光分支为参照光和测定光；调整部(9)，其将参照光分支为光路长度各不相同的多个参照光；干涉部(9)，其从反射光和多个参照光中对两个光进行合波，得到干涉光，该反射光是将测定光照射到对象物(14)而反射的光；以及处理部(13)，其根据干涉光的频率计算光路长度差，该光测定装置计算多个参照光的光路长度差，由此，即便在距对象物(14)的距离大幅变动的情况下，也能够测定距对象物(14)的距离。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112771348A
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN201980064312.X
申请日：2019-09-17
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G01B11/24
Abstract: 机床具备对工件(3)的加工面(3a)供给切削油而对加工面(3a)进行加工的加工部(10)，机床被构成为具备：光传感器主体部(22)，将从扫频光源(31a)输出的光分为照射于工件(3)的照射光和参照光，将照射光照射于工件(3)，并且检测作为被工件(3)反射的照射光的反射光与参照光的干涉光的峰值频率，基于峰值频率测定从机床至加工面(3a)的距离，其中该扫频光源(31a)输出频率周期性变化的光；以及形状计算部(75)，基于由光传感器主体部(22)测定出的距离计算工件(3)的形状。
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公开(公告)号：CN119234128A
公开(公告)日：2024-12-31
申请号：CN202280096346.9
申请日：2022-06-02
Applicant: 三菱电机株式会社
Inventor： 后藤广树
IPC: G01B11/30 , B23Q17/24 , G01B9/02004
Abstract: 具有：频率扫描光输出部(421)，其输出频率扫描光；光分支部(422)，其将由频率扫描光输出部(421)输出的频率扫描光分支成参照光和照射光；传感器头部(41)，其朝向加工后的被加工物(10)的加工面(101)照射由光分支部(422)得到的照射光，接收基于加工面(101)的反射光；光干涉部(423)，其根据由光分支部(422)得到的参照光和由传感器头部(41)接收的反射光，生成该参照光与该反射光的干涉光并将该干涉光转换成电信号；A/D转换器(424)，其将由光干涉部(423)得到的电信号从模拟信号转换成数字信号；距离信息计算部(425)，其根据由A/D转换器(424)得到的数字信号，计算与从传感器头部(41)的末端到加工后的被加工物(10)的加工面(101)的距离有关的信息；以及粗糙度测定部(426)，其根据距离信息计算部(425)的计算结果，测定加工后的被加工物(10)的加工面(101)的表面粗糙度。
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公开(公告)号：CN118525194A
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN202280087949.2
申请日：2022-01-12
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 具备：光出射部(1)，其选择性地射出波段各自不同的多个光中的各个光；分配部(3)，其将由光出射部(1)选择并射出的波段的光分配为测定光和参照光而射出；光收发部(5A)，其向测定对象物(9A)照射来自分配部(3)的测定光，接收该照射的测定光被测定对象物(9A)反射后的反射光；干涉部(6)，其对参照光与来自光收发部(9A)的反射光进行合波，将该合波后的合波光分离为正交的两个偏振光，将该两个偏振光转换成两个模拟电信号而输出；模拟/数字转换部(7)，其将来自干涉部(6)的两个模拟信号转换成数字电信号，作为两个数字信号而输出；以及计算处理部(8)，其针对从光出射部(1)射出的多个光中的各个光，将来自模拟/数字转换部(7)的针对两个偏振光的数字电信号转换成频谱，运算参照光与测定光的光路长度差，得到针对与多个光中的各个光对应的两个偏振光的偏振光相位差，得到偏振光相位差的波长依赖性。
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公开(公告)号：CN112236688A
公开(公告)日：2021-01-15
申请号：CN201880094330.8
申请日：2018-06-12
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: G01S17/34 , G01S7/4913
Abstract: 将光测距装置(3)构成为如下：设置光干涉部(21)和偏振波旋转部(25)，光干涉部将反射光分离为第一偏振波的反射光和第二偏振波的反射光，从第一偏振波的反射光与参考光的干涉光抽取相互正交的第一及第二分量，从第二偏振波的反射光与参考光的干涉光抽取相互正交的第三及第四分量，偏振波旋转部通过使具有第一及第二分量的第一复信号的偏振波角度和具有第三及第四分量的第二复信号的偏振波角度旋转，取得偏振波的水平分量及垂直分量中的一个以上的分量，距离计算部(27)根据由偏振波旋转部(25)取得的分量计算反射光的频率与参考光的频率的差分，根据差分计算直至测定对象物(1)为止的距离。
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