光距离测定装置以及加工装置

    公开(公告)号:CN114514409B

    公开(公告)日:2023-07-14

    申请号:CN201980101233.1

    申请日:2019-10-18

    Abstract: 光距离测定装置(101)具有:光路长度计算部(15),其根据第1光学系统(6)接收到的第1反射光和分支部(3)分支出的参照光,计算从第1光学系统的出射面到测定对象物(107)的反射面的第1光路长度,根据被反射部(8)反射且由第2光学系统(7)接收到的第2反射光和分支部(3)分支出的参照光,计算从第2光学系统(7)的出射面到反射部(8)的反射面的第2光路长度;以及距离计算部(16),其根据光路长度计算部(15)测定出的第2光路长度,计算空间(108)的折射率,根据该折射率和光路长度计算部(15)测定出的第1光路长度,计算从第1光学系统(6)的出射面到测定对象物(107)的反射面的距离。

    光距离测定装置以及加工装置

    公开(公告)号:CN114514409A

    公开(公告)日:2022-05-17

    申请号:CN201980101233.1

    申请日:2019-10-18

    Abstract: 光距离测定装置(101)具有:光路长度计算部(15),其根据第1光学系统(6)接收到的第1反射光和分支部(3)分支出的参照光,计算从第1光学系统的出射面到测定对象物(107)的反射面的第1光路长度,根据被反射部(8)反射且由第2光学系统(7)接收到的第2反射光和分支部(3)分支出的参照光,计算从第2光学系统(7)的出射面到反射部(8)的反射面的第2光路长度;以及距离计算部(16),其根据光路长度计算部(15)测定出的第2光路长度,计算空间(108)的折射率,根据该折射率和光路长度计算部(15)测定出的第1光路长度,计算从第1光学系统(6)的出射面到测定对象物(107)的反射面的距离。

    光测定装置
    3.
    发明公开
    光测定装置 审中-实审

    公开(公告)号:CN117769645A

    公开(公告)日:2024-03-26

    申请号:CN202180100807.0

    申请日:2021-08-30

    Abstract: 光测定装置具有:分支部(13;13A),其将从激光光源出射的光分支为测定光和参照光;切换干涉部(41;41A;41B),其在对第1干涉光、第2干涉光和第3干涉光的正交的偏振状态进行了分离的状态下,输出各干涉光,其中,该第1干涉光是使参照光的正交的两个偏振波发生干涉得到的,该第2干涉光是使测定光的来自对象物的反射光的正交的两个偏振波发生干涉得到的,该第3干涉光是使参照光和反射光发生干涉得到的;光电转换部(21),其接收各干涉光,将接收到的干涉光转换为电信号;数字转换部(23),其对电信号进行A/D转换,将A/D转换后的数字信号作为接收信号进行输出;以及计算处理部(30),其将接收信号转换为频谱,得到参照光的正交的两个偏振波之间的光路长度差分、反射光的正交的两个偏振波之间的光路长度差分、以及参照光与测定光之间的光路长度差分。

    光测定装置
    4.
    发明公开
    光测定装置 审中-实审

    公开(公告)号:CN117099013A

    公开(公告)日:2023-11-21

    申请号:CN202180096571.8

    申请日:2021-04-06

    Abstract: 本发明的光测定装置(100)是使用光来测定距对象物(14)的距离的测距装置,具备:分支部(4),其将光分支为参照光和测定光;调整部(9),其将参照光分支为光路长度各不相同的多个参照光;干涉部(9),其从反射光和多个参照光中对两个光进行合波,得到干涉光,该反射光是将测定光照射到对象物(14)而反射的光;以及处理部(13),其根据干涉光的频率计算光路长度差,该光测定装置计算多个参照光的光路长度差,由此,即便在距对象物(14)的距离大幅变动的情况下,也能够测定距对象物(14)的距离。

    测定装置、测定方法、测定程序以及记录介质

    公开(公告)号:CN118525194A

    公开(公告)日:2024-08-20

    申请号:CN202280087949.2

    申请日:2022-01-12

    Abstract: 具备:光出射部(1),其选择性地射出波段各自不同的多个光中的各个光;分配部(3),其将由光出射部(1)选择并射出的波段的光分配为测定光和参照光而射出;光收发部(5A),其向测定对象物(9A)照射来自分配部(3)的测定光,接收该照射的测定光被测定对象物(9A)反射后的反射光;干涉部(6),其对参照光与来自光收发部(9A)的反射光进行合波,将该合波后的合波光分离为正交的两个偏振光,将该两个偏振光转换成两个模拟电信号而输出;模拟/数字转换部(7),其将来自干涉部(6)的两个模拟信号转换成数字电信号,作为两个数字信号而输出;以及计算处理部(8),其针对从光出射部(1)射出的多个光中的各个光,将来自模拟/数字转换部(7)的针对两个偏振光的数字电信号转换成频谱,运算参照光与测定光的光路长度差,得到针对与多个光中的各个光对应的两个偏振光的偏振光相位差,得到偏振光相位差的波长依赖性。

    光传感器装置
    6.
    发明公开
    光传感器装置 审中-实审

    公开(公告)号:CN117460946A

    公开(公告)日:2024-01-26

    申请号:CN202180099312.0

    申请日:2021-06-18

    Abstract: 光传感器装置(1000)中的信号处理装置(9)根据由模拟数字转换器(7)转换成数字信号后的内部接收信号,进一步计算成为针对波长扫描光源(1)输出的光的频率变动的基准的第1频率变动基准信号数据,数字模拟转换器(8)将信号处理装置(9)计算出的第1频率变动基准信号数据转换成模拟信号,由此生成第1频率变动基准信号作为第1时钟信号,模拟数字转换器(7)与数字模拟转换器(8)生成的第1频率变动基准信号同步地,对光外差接收器(6)取得的接收信号进行采样。

    光测定装置
    7.
    发明公开
    光测定装置 审中-实审

    公开(公告)号:CN119998624A

    公开(公告)日:2025-05-13

    申请号:CN202280100768.9

    申请日:2022-10-07

    Abstract: 光测定装置具有:波长扫描光源(1),其输出波长相对于时间连续地变化的扫描光;照射光学系统(3),其将由来自波长扫描光源(1)的扫描光形成的测定用输出光作为测定光朝向测定对象物(8)对空间射出,对由测定对象物(8)将测定光反射得到的反射光进行接收而作为测定反射光输出;环绕光路径(4),其具有环路部,由来自波长扫描光源(1)的扫描光形成的参照用输出光在环路部中环绕N(大于或等于0的整数)圈,输出每圈的环绕参照光;测定信号取得部(5),其将来自照射光学系统(3)的测定用反射光和来自环绕光路径(4)的环绕参照光合波,输出对合波后的干涉光进行光电变换后的精测定用信号,输出由电信号构成的多个粗测定用信号,该多个粗测定用信号是基于扫描光,使用相对于光路具有不同折射率的依赖性的多个圈数测定用光而得到的;以及信号处理部(7),其通过来自测定信号取得部(5)的精测定用信号,得到测定用反射光与环绕参照光的光程长度差,通过来自测定信号取得部(5)的多个粗测定用信号,对得到测定用反射光与环绕参照光的光程长度差的环绕参照光在环绕光路径(4)中的圈数进行识别。

    动态光图案生成装置
    8.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118647918A

    公开(公告)日:2024-09-13

    申请号:CN202280090107.2

    申请日:2022-02-04

    Abstract: 动态光图案生成装置(10)具有:激光光源(12),其射出激光(20);遮挡件(13),其被支承为能够以激光光源(12)的光轴(12a)为旋转中心进行旋转,能够吸收和透过从激光光源(12)射出的激光(20);以及衍射光学元件(15),其在同一平面上具有多个衍射光学元件要素(15a、15),该多个衍射光学元件要素(15a、15)对透过遮挡件(13)后的激光(20)的相位进行变更,分别射出具有生成彼此不同的部分光图案(21、22)的相位分布的衍射光。

    光距离测定装置
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN113677951B

    公开(公告)日:2023-09-15

    申请号:CN201980095001.X

    申请日:2019-04-05

    Abstract: 光距离测定装置(100、100a)具备:分支部(103),其对激光进行分支,作为测定光及参照光输出;测定光分支部(104),其对测定光进行分支,作为第1测定光及第2测定光输出;参照光分支部(105),其对参照光进行分支,作为第1参照光及第2参照光输出;第1光学系统(131),其具有第1瑞利长度,用于向对象物(20)照射第1测定光;第2光学系统(132),其具有与第1瑞利长度不同的第2瑞利长度,用于向对象物20照射第2测定光;第1接收部(141),其接受第1参照光、和第1测定光在对象物20反射后的光即第1反射光,输出表示第1参照光和第1反射光的第1接收信号;以及第2接收部(142),其接受第2参照光、和第2测定光在对象物20反射后的光即第2反射光,输出表示第2参照光和第2反射光的第2接收信号。

    光距离测定装置
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113677951A

    公开(公告)日:2021-11-19

    申请号:CN201980095001.X

    申请日:2019-04-05

    Abstract: 光距离测定装置(100、100a)具备:分支部(103),其对激光进行分支,作为测定光及参照光输出;测定光分支部(104),其对测定光进行分支,作为第1测定光及第2测定光输出;参照光分支部(105),其对参照光进行分支,作为第1参照光及第2参照光输出;第1光学系统(131),其具有第1瑞利长度,用于向对象物(20)照射第1测定光;第2光学系统(132),其具有与第1瑞利长度不同的第2瑞利长度,用于向对象物20照射第2测定光;第1接收部(141),其接受第1参照光、和第1测定光在对象物20反射后的光即第1反射光,输出表示第1参照光和第1反射光的第1接收信号;以及第2接收部(142),其接受第2参照光、和第2测定光在对象物20反射后的光即第2反射光,输出表示第2参照光和第2反射光的第2接收信号。

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