公开(公告)号：CN119998624A

公开(公告)日：2025-05-13

申请号：CN202280100768.9

申请日：2022-10-07

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 山内隆典 ,  小竹论季 ,  后藤广树 ,  今城胜治 ,  园直树

IPC: G01C3/06 ,  G01S17/34 ,  G01N21/17 ,  G01B9/02004 ,  G01B11/00

Abstract: 光测定装置具有：波长扫描光源(1)，其输出波长相对于时间连续地变化的扫描光；照射光学系统(3)，其将由来自波长扫描光源(1)的扫描光形成的测定用输出光作为测定光朝向测定对象物(8)对空间射出，对由测定对象物(8)将测定光反射得到的反射光进行接收而作为测定反射光输出；环绕光路径(4)，其具有环路部，由来自波长扫描光源(1)的扫描光形成的参照用输出光在环路部中环绕N(大于或等于0的整数)圈，输出每圈的环绕参照光；测定信号取得部(5)，其将来自照射光学系统(3)的测定用反射光和来自环绕光路径(4)的环绕参照光合波，输出对合波后的干涉光进行光电变换后的精测定用信号，输出由电信号构成的多个粗测定用信号，该多个粗测定用信号是基于扫描光，使用相对于光路具有不同折射率的依赖性的多个圈数测定用光而得到的；以及信号处理部(7)，其通过来自测定信号取得部(5)的精测定用信号，得到测定用反射光与环绕参照光的光程长度差，通过来自测定信号取得部(5)的多个粗测定用信号，对得到测定用反射光与环绕参照光的光程长度差的环绕参照光在环绕光路径(4)中的圈数进行识别。