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公开(公告)号：CN117769645A
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202180100807.0
申请日：2021-08-30
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 光测定装置具有：分支部(13；13A)，其将从激光光源出射的光分支为测定光和参照光；切换干涉部(41；41A；41B)，其在对第1干涉光、第2干涉光和第3干涉光的正交的偏振状态进行了分离的状态下，输出各干涉光，其中，该第1干涉光是使参照光的正交的两个偏振波发生干涉得到的，该第2干涉光是使测定光的来自对象物的反射光的正交的两个偏振波发生干涉得到的，该第3干涉光是使参照光和反射光发生干涉得到的；光电转换部(21)，其接收各干涉光，将接收到的干涉光转换为电信号；数字转换部(23)，其对电信号进行A/D转换，将A/D转换后的数字信号作为接收信号进行输出；以及计算处理部(30)，其将接收信号转换为频谱，得到参照光的正交的两个偏振波之间的光路长度差分、反射光的正交的两个偏振波之间的光路长度差分、以及参照光与测定光之间的光路长度差分。
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公开(公告)号：CN114730097A
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN201980102344.4
申请日：2019-11-28
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 光图案生成装置(100)具有：激光光源(1)，其射出激光；光扫描仪(4)，其使激光光源(1)射出的激光偏转；以及衍射光学元件部(7)，其由多个衍射光学元件要素(10)构成，多个衍射光学元件要素(10)分别对由光扫描仪(4)偏转后的激光的相位分布和强度分布中的至少一方进行调制，以使通过后的激光在像面(9)上形成规定的光图案，光扫描仪(4)能够变更使激光光源(1)射出的激光偏转的偏转方向，以使激光光源(1)射出的激光朝向多个衍射光学元件要素(10)中的任意衍射光学元件要素偏转。
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公开(公告)号：CN118525194A
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN202280087949.2
申请日：2022-01-12
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 具备：光出射部(1)，其选择性地射出波段各自不同的多个光中的各个光；分配部(3)，其将由光出射部(1)选择并射出的波段的光分配为测定光和参照光而射出；光收发部(5A)，其向测定对象物(9A)照射来自分配部(3)的测定光，接收该照射的测定光被测定对象物(9A)反射后的反射光；干涉部(6)，其对参照光与来自光收发部(9A)的反射光进行合波，将该合波后的合波光分离为正交的两个偏振光，将该两个偏振光转换成两个模拟电信号而输出；模拟/数字转换部(7)，其将来自干涉部(6)的两个模拟信号转换成数字电信号，作为两个数字信号而输出；以及计算处理部(8)，其针对从光出射部(1)射出的多个光中的各个光，将来自模拟/数字转换部(7)的针对两个偏振光的数字电信号转换成频谱，运算参照光与测定光的光路长度差，得到针对与多个光中的各个光对应的两个偏振光的偏振光相位差，得到偏振光相位差的波长依赖性。
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公开(公告)号：CN118647918A
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202280090107.2
申请日：2022-02-04
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 动态光图案生成装置(10)具有：激光光源(12)，其射出激光(20)；遮挡件(13)，其被支承为能够以激光光源(12)的光轴(12a)为旋转中心进行旋转，能够吸收和透过从激光光源(12)射出的激光(20)；以及衍射光学元件(15)，其在同一平面上具有多个衍射光学元件要素(15a、15)，该多个衍射光学元件要素(15a、15)对透过遮挡件(13)后的激光(20)的相位进行变更，分别射出具有生成彼此不同的部分光图案(21、22)的相位分布的衍射光。
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