公开(公告)号：CN1908685A

公开(公告)日：2007-02-07

申请号：CN200610007929.2

申请日：2006-02-21

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李秀浩 ,  安德烈·尤莎科夫 ,  任洵圭 ,  闵敬善 ,  郑敬锡

IPC: G01R31/00 ,  G01R31/28 ,  H01L21/66

Abstract: 本发明涉及一种基板检测装置及其控制方法，依据本发明所提供的基板检测装置包含：用于检测所述基板的检测单元；设置在所述检测单元入口区域并具有多个供应台架和供应驱动部的供应单元，该多个供应台架支持至少一个所述基板而向所述检测单元依次供应所述基板，该供应驱动部对应于所述检测单元的入口侧而移动多个所述供应台架；设置在所述检测单元出口区域并具有多个排出台架和排出驱动部的排出单元，该多个排出台架支持从所述检测单元依次排出的至少一个所述基板，该排出驱动部对应所述检测单元的出口侧而移动多个所述排出台架。由此提供可以较迅速、简单地检测基板的基板检测装置及其控制方法。

公开(公告)号：CN100570381C

公开(公告)日：2009-12-16

申请号：CN200610007929.2

申请日：2006-02-21

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 李秀浩 ,  安德烈·尤莎科夫 ,  任洵圭 ,  闵敬善 ,  郑敬锡

IPC: G01R31/00 ,  G01R31/28 ,  H01L21/66

Abstract: 本发明涉及一种基板检测装置及其控制方法，依据本发明所提供的基板检测装置包含：用于检测所述基板的检测单元；设置在所述检测单元入口区域并具有多个供应台架和供应驱动部的供应单元，该多个供应台架支持至少一个所述基板而向所述检测单元依次供应所述基板，该供应驱动部对应于所述检测单元的入口侧而移动多个所述供应台架；设置在所述检测单元出口区域并具有多个排出台架和排出驱动部的排出单元，该多个排出台架支持从所述检测单元依次排出的至少一个所述基板，该排出驱动部对应所述检测单元的出口侧而移动多个所述排出台架。由此提供可以较迅速、简单地检测基板的基板检测装置及其控制方法。