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公开(公告)号:CN119626971A
公开(公告)日:2025-03-14
申请号:CN202410334684.2
申请日:2024-03-22
IPC: H01L21/683 , H01L21/67
Abstract: 本发明涉及静电吸盘制造方法,更详细地,涉及将温度偏差最小化的静电吸盘的制造方法。本发明包括:步骤(S10),在包括陶瓷原材料且上部具有ESC电极的底座的下部沉积金属形成金属层;以及步骤(S20),利用光刻工序在上述金属层形成图案来形成加热器电极。本发明具有可均匀地加热晶片的效果,并且,具有在制造成成品之前中间产品阶段中可执行电阻测定的效果。
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公开(公告)号:CN110400764B
公开(公告)日:2024-06-07
申请号:CN201910091001.4
申请日:2019-01-30
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 提供了气体注射器和晶圆处理设备,所述气体注射器包括:第一气体引入通道和第二气体引入通道,分别在第一方向上朝向处理室的中心轴延伸;第一旁路通道,在第二方向上从第一气体引入通道延伸,第二方向与第一方向基本垂直;第二旁路通道,在与第二方向相反的方向上从第二气体引入通道延伸;第一分流通道,在第一方向上与第一旁路通道分离,并且在与第二方向相反的方向上从第一旁路通道的出口延伸;第二分流通道,在第一方向上与第二旁路通道分离,并且在第二方向上从第二旁路通道的出口延伸;以及多个喷射孔,位于第一分流通道和第二分流通道的外表面中并且被造成喷射工艺气体。
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公开(公告)号:CN101049224A
公开(公告)日:2007-10-10
申请号:CN200610160571.7
申请日:2006-11-23
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: A47L15/16
CPC classification number: F16L37/23 , A47L15/0015 , A47L15/4234 , A47L15/4278 , A47L15/50 , A47L15/508 , A47L2601/04 , B05B1/20 , F16L37/086
Abstract: 一种一起使用蒸汽和水的蒸汽/水混合洗碗机,并且,更具体地,一种通过将蒸汽直接喷到盘碟上而改进清洗性能和效率的洗碗机以及洗碗方法。该洗碗机包括:包含洗碗柜的主体;布置在所述洗碗柜中以将盘碟容纳在其中的至少一个盘碟筐;通过加热洗涤水以产生蒸汽的蒸汽产生器;和喷射由所述蒸汽产生器产生的蒸汽的蒸汽喷嘴。所述洗碗方法包括通过开启一定数量的多个控制阀将水从一定数量的多个蒸汽喷嘴喷射,以由此保持从蒸汽产生器产生的蒸汽的喷射压力。
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公开(公告)号:CN110400764A
公开(公告)日:2019-11-01
申请号:CN201910091001.4
申请日:2019-01-30
Applicant: 三星电子株式会社
Abstract: 提供了气体注射器和晶圆处理设备,所述气体注射器包括:第一气体引入通道和第二气体引入通道,分别在第一方向上朝向处理室的中心轴延伸;第一旁路通道,在第二方向上从第一气体引入通道延伸,第二方向与第一方向基本垂直;第二旁路通道,在与第二方向相反的方向上从第二气体引入通道延伸;第一分流通道,在第一方向上与第一旁路通道分离,并且在与第二方向相反的方向上从第一旁路通道的出口延伸;第二分流通道,在第一方向上与第二旁路通道分离,并且在第二方向上从第二旁路通道的出口延伸;以及多个喷射孔,位于第一分流通道和第二分流通道的外表面中并且被造成喷射工艺气体。
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公开(公告)号:CN101664295A
公开(公告)日:2010-03-10
申请号:CN200910178636.4
申请日:2006-11-23
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: A47L15/16
CPC classification number: F16L37/23 , A47L15/0015 , A47L15/4234 , A47L15/4278 , A47L15/50 , A47L15/508 , A47L2601/04 , B05B1/20 , F16L37/086
Abstract: 一种洗碗机的洗碗方法,所述洗碗机包括主体、容纳在所述主体中的洗碗柜、容纳在所述洗碗柜中以产生蒸汽的蒸汽产生器、喷射由所述蒸汽产生器产生的蒸汽的多个蒸汽喷嘴、控制蒸汽流进入各个蒸汽喷嘴的多个控制阀,所述洗碗方法包括以下步骤:从多个蒸汽喷嘴喷射蒸汽包括开启多个控制阀,以保持由所述蒸汽产生器产生的蒸汽的喷射压力。
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