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公开(公告)号：CN119626971A
公开(公告)日：2025-03-14
申请号：CN202410334684.2
申请日：2024-03-22
IPC: H01L21/683 , H01L21/67
Abstract: 本发明涉及静电吸盘制造方法，更详细地，涉及将温度偏差最小化的静电吸盘的制造方法。本发明包括：步骤(S10)，在包括陶瓷原材料且上部具有ESC电极的底座的下部沉积金属形成金属层；以及步骤(S20)，利用光刻工序在上述金属层形成图案来形成加热器电极。本发明具有可均匀地加热晶片的效果，并且，具有在制造成成品之前中间产品阶段中可执行电阻测定的效果。
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