运输装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1654288A

    公开(公告)日:2005-08-17

    申请号:CN200410049206.X

    申请日:2004-06-02

    CPC classification number: F16C29/025 F16C32/0603 F16C32/0666

    Abstract: 一种运输装置,其可利用空气轴承水平地运输载体,所述空气轴承相对于基座表面保持旋转自由度。所述运输装置可沿着基座表面活动,并且包括:设置在基座上的空气轴承;连接器,其连接到空气轴承上部并在其中心设置有支撑件,所述支撑件具有允许空气轴承相对于基座自由转动的弯曲铰链结构;以及载体,所述载体由连接器的支撑件支撑以被运输,同时相对于基座表面保持水平。利用这种构造,空气轴承的移动不会影响载体,从而提高运输装置的精度和可靠性。

    光学器件的检测装置及检测方法

    公开(公告)号:CN100443959C

    公开(公告)日:2008-12-17

    申请号:CN200610007307.X

    申请日:2006-02-07

    Abstract: 本发明涉及光学器件的检测装置及检测方法。依据本发明所提供的光学器件的检测装置,包含:用于向所述光学器件射出光的激光器;通过对所述激光器射出光的相位进行变更而消除干扰的相位变更部;用于将通过所述光学器件的光按特定方向偏振的偏振部;用于集中所偏振光的集光部;用于将所集中的光变换为电信号的光二极管;用于处理所述电信号的信号处理部。据此提供可以测定板状光学器件的双折射和厚度变形程度的光学器件的检测装置及检测方法。

    利用纳米压印的微细图案形成方法

    公开(公告)号:CN101085580A

    公开(公告)日:2007-12-12

    申请号:CN200610121809.5

    申请日:2006-08-24

    Abstract: 本发明提供一种利用纳米压印以简单的工艺形成同时具有亲水性和疏水性的微细图案的方法。本发明利用刻着具有疏水性的微细结构物的模具在亲水性抗蚀涂层的表面转印所述模具的微细结构物。转印所述微细结构物包含步骤:使所述模具的微细结构物接触所述亲水性抗蚀涂层并施加预定压力;通过加热或照射紫外线使所述亲水性抗蚀涂层硬化之后将所述模具移开。

    图案形成方法和图案形成装置

    公开(公告)号:CN1970306A

    公开(公告)日:2007-05-30

    申请号:CN200610080940.1

    申请日:2006-05-23

    Abstract: 本发明涉及一种图案形成方法和图案形成装置。依据本发明所提供的图案形成方法包含步骤:将图案形成对象安放到安放部;通过对软模的背面施加压力使所述软模的中央部分向所述图案形成对象突出;从所述中央部分开始将所述软模紧贴到所述图案形成对象;在所述软模与所述图案形成对象紧贴的状态下,将所述软模的图案转印到所述图案形成对象上;分离所述软模与所述图案形成对象。由此得到可以以低成本形成高品质图案的图案形成方法。

    图案形成方法和图案形成装置

    公开(公告)号:CN100594137C

    公开(公告)日:2010-03-17

    申请号:CN200610080940.1

    申请日:2006-05-23

    Abstract: 本发明涉及一种图案形成方法和图案形成装置。依据本发明所提供的图案形成方法包含步骤:将图案形成对象安放到安放部;通过对软模的背面施加压力使所述软模的中央部分向所述图案形成对象突出;从所述中央部分开始将所述软模紧贴到所述图案形成对象;在所述软模与所述图案形成对象紧贴的状态下,将所述软模的图案转印到所述图案形成对象上;分离所述软模与所述图案形成对象。由此得到可以以低成本形成高品质图案的图案形成方法。

    光学器件的检测装置及检测方法

    公开(公告)号:CN1904674A

    公开(公告)日:2007-01-31

    申请号:CN200610007307.X

    申请日:2006-02-07

    Abstract: 本发明涉及光学器件的检测装置及检测方法。依据本发明所提供的光学器件的检测装置,包含:用于向所述光学器件射出光的激光器;对于所述激光器射出光的相位进行变更的相位变更部;用于将通过所述光学器件的光按特定方向偏振的偏振部;用于集中所偏振光的集光部;用于将所集中的光变换为电信号的光二极管;用于处理所述电信号的信号处理部。据此提供可以测定板状光学器件的双折射和厚度变形程度的光学器件的检测装置及检测方法。

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